一種研磨壓力檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及機械領(lǐng)域，具體涉及一種研磨壓力檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶片作為成像設(shè)備的一種透光器材，在加工過程中需要對晶片的表面進行研磨拋光處理，在對晶片進行研磨拋光處理時，從而達到所需的光潔度要求，而在對晶片進行研磨拋光的過程中，對于研磨盤的研磨壓力不容易得到精確的控制，從而在對晶片進行研磨的過程中，很容易提尚晶片不合格率的廣量，從而提尚生廣成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種研磨壓力檢測裝置，能夠?qū)ρ心毫Χ鹊玫骄_直接的控制，結(jié)構(gòu)簡單、操作簡便、調(diào)節(jié)方便、有效的提高了產(chǎn)品的合格率。
[0004]為解決上述現(xiàn)有的技術(shù)問題，本實用新型采用如下方案:一種研磨壓力檢測裝置，包括推進升降氣缸、設(shè)在升降氣缸下端的研磨盤，所述升降氣缸與研磨盤之間設(shè)有一個壓力檢測裝置，所述壓力檢測裝置包括安裝在升降氣缸活塞桿上的安裝座、通過螺釘固定在安裝座上的壓力傳感器、設(shè)在壓力傳感器一側(cè)與壓力傳感器配合使用的壓力顯示器，所述研磨盤安裝在壓力檢測裝置下端。
[0005]作為優(yōu)選，所述研磨盤與壓力檢測裝置之間通過螺桿固定連接，結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)節(jié)簡便、安裝方便，在連接的過程中，只需通過螺桿就能將研磨盤與壓力檢測裝置連接固定在一起，使結(jié)構(gòu)更加簡便、成本更低，當(dāng)需要對研磨盤的高度進行調(diào)整時，調(diào)節(jié)更加簡便。
[0006]作為優(yōu)選，所述螺桿包括與壓力檢測裝置上的壓力傳感器固定連接的上段螺桿、與研磨盤連接的直徑大于上段螺桿的下段螺桿，所述所述上端螺桿的頂端設(shè)有一個固定螺母、所述下段螺桿上設(shè)有一個調(diào)節(jié)螺母，結(jié)構(gòu)簡單、固定牢固，螺桿分上下兩部分進行分別連接，當(dāng)上段螺桿旋轉(zhuǎn)到頂后再通過固定螺母進行固定，在使用過程中，由于上段螺桿直徑小于下段螺桿，從而形成一個階梯型平臺，上段螺桿能夠通過固定螺母與下段螺桿對壓力傳感器進行夾緊固定，從而防止在使用的過程中上段螺桿發(fā)生旋轉(zhuǎn)現(xiàn)象，使固定更加牢固，通過旋轉(zhuǎn)研磨盤在下段螺桿的位置，能夠?qū)ρ心ケP的高度進行適當(dāng)?shù)奈⒘空{(diào)整，使調(diào)節(jié)更加精確，調(diào)節(jié)更加簡便，當(dāng)調(diào)節(jié)完成后，通過調(diào)節(jié)螺母與研磨盤進行對頂，從而達到對將研磨盤精確的固定在下段螺桿上，有效的避免了在研磨的過程中研磨盤上移的現(xiàn)象發(fā)生。
[0007]有益效果:
[0008]本實用新型采用上述技術(shù)方案提供一種研磨壓力檢測裝置，在通過升降氣缸對研磨盤進行施壓研磨加工時，根據(jù)壓力傳感器感應(yīng)到研磨盤在研磨的過程中晶片對研磨盤的支撐力，然后壓力傳感器將感應(yīng)到的信號傳輸?shù)綁毫︼@示器上進行壓力的數(shù)據(jù)顯示，從而使工作人員能夠直接的了解當(dāng)前的研磨壓力，從而根據(jù)所得的數(shù)據(jù)對研磨盤的研磨壓力進行有效的控制，以達到所需的研磨壓力，使晶片在研磨時更加精確，對不同厚度的晶片可以及時調(diào)節(jié)不同研磨壓力，在對薄片進行加工時，合格率更高，能夠?qū)ρ心毫Χ鹊玫骄_直接的控制，結(jié)構(gòu)簡單、操作簡便、調(diào)節(jié)方便、有效的提高了產(chǎn)品的合格率。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實用新型螺桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]如圖1和圖2所示，一種研磨壓力檢測裝置，包括推進升降氣缸6、設(shè)在升降氣缸6下端的研磨盤1，所述升降氣缸6與研磨盤I之間設(shè)有一個壓力檢測裝置8，所述壓力檢測裝置8包括安裝在升降氣缸6活塞桿上的安裝座5、通過螺釘固定在安裝座5上的壓力傳感器7、設(shè)在壓力傳感器7 —側(cè)與壓力傳感器7配合使用的壓力顯示器9，所述研磨盤I安裝在壓力檢測裝置8下端。所述研磨盤I與壓力檢測裝置8之間通過螺桿2固定連接所述螺桿2包括與壓力檢測裝置8上的壓力傳感器7固定連接的上段螺桿11、與研磨盤I連接的直徑大于上段螺桿11的下段螺桿10，所述所述上端螺桿11的頂端設(shè)有一個固定螺母4、所述下段螺桿10上設(shè)有一個調(diào)節(jié)螺母3。
[0012]實際工作時，通過升降氣缸控制壓力檢測裝置8與研磨盤I整體一起向下移動，從而使研磨盤I對晶片進行研磨處理，在研磨的過程中，根據(jù)研磨盤I對研磨壓力的大小通過壓力傳感器7進行檢測并傳送到壓力顯示器9上進行直觀的顯示，從而使工作人員根據(jù)壓力顯示器9上的數(shù)據(jù)控制升降氣缸6對研磨盤的研磨壓力進行適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)，從而達到所需的研磨壓力要求，當(dāng)需要對不同厚度的晶片進行研磨時，控制更加簡便，尤其是在加工相對較薄的晶片時，通過及時的調(diào)整研磨壓力，晶片的合格率更高。
[0013]本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型精神作舉例說明。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種研磨壓力檢測裝置，其特征在于:包括推進升降氣缸￠)、設(shè)在升降氣缸(6)下端的研磨盤(I)，所述升降氣缸(6)與研磨盤(I)之間設(shè)有一個壓力檢測裝置(8)，所述壓力檢測裝置(8)包括安裝在升降氣缸(6)活塞桿上的安裝座(5)、通過螺釘固定在安裝座(5)上的壓力傳感器(7)、設(shè)在壓力傳感器(7) —側(cè)與壓力傳感器(7)配合使用的壓力顯示器(9)，所述研磨盤(I)安裝在壓力檢測裝置(8)下端。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨壓力檢測裝置，其特征在于:所述研磨盤(I)與壓力檢測裝置⑶之間通過螺桿⑵固定連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種研磨壓力檢測裝置，其特征在于:所述螺桿(2)包括與壓力檢測裝置(8)上的壓力傳感器(7)固定連接的上段螺桿(11)、與研磨盤(I)連接的直徑大于上段螺桿(11)的下段螺桿(10)，所述所述上端螺桿(11)的頂端設(shè)有一個固定螺母(4)、所述下段螺桿(10)上設(shè)有一個調(diào)節(jié)螺母(3)。
【專利摘要】本實用新型提供一種研磨壓力檢測裝置，包括推進升降氣缸、設(shè)在升降氣缸下端的研磨盤，所述升降氣缸與研磨盤之間設(shè)有一個壓力檢測裝置，所述壓力檢測裝置包括安裝在升降氣缸活塞桿上的安裝座、通過螺釘固定在安裝座上的壓力傳感器、設(shè)在壓力傳感器一側(cè)與壓力傳感器配合使用的壓力顯示器，所述研磨盤安裝在壓力檢測裝置下端。能夠?qū)ρ心チΧ鹊玫骄_直接的控制，結(jié)構(gòu)簡單、操作簡便、調(diào)節(jié)方便、有效的提高了產(chǎn)品的合格率。
【IPC分類】B24B37/005
【公開號】CN204893685
【申請?zhí)枴緾N201520500873
【發(fā)明人】陳時興, 舒靖文, 宋衡, 陳林
【申請人】嘉興百盛光電有限公司, 嘉興海盛電子有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2015年7月10日