金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種電阻加熱器。
【背景技術(shù)】
[0002]金屬有機(jī)化學(xué)氣象沉積法(MetalOrganic Chemical Vapor Deposit1n，簡稱MOCVD)，是在基板上成長半導(dǎo)體薄膜的一種方法，實(shí)際應(yīng)用中基板可以是發(fā)光二極管外延片或者芯片。M0CVD的外延工藝速度快，產(chǎn)量高，適用于高亮度發(fā)光二極管的外延成膜。M0CVD成膜設(shè)備如圖1所示為一氣相沉積爐，其包括一反應(yīng)室1，其內(nèi)為一反應(yīng)腔2，反應(yīng)腔中安裝有一加熱器3，加熱器3上面置有一承載盤4。成長薄膜時，待成膜基板5放在承載盤4上，通過加熱器3將待成膜基板5加熱，然后通過載流氣體將反應(yīng)源氣體流經(jīng)反應(yīng)腔，反應(yīng)源氣體在加熱后的待成膜基板上面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，沉積生長薄膜。
[0003]已知用于氣相沉積爐的加熱器，如中國臺灣專利公告第303485號所述的加熱器，其包括四層環(huán)形金屬板，如圖2所示，自上而下分別為第一反射板301、第一基座302、第二反射板303和第二基座304 ;以及安裝在四層環(huán)形金屬板上面的一加熱體。第一反射板301和第二反射板303用于將加熱體產(chǎn)生的熱量反射至承載盤4。其中第一反射板301為一片整體金屬板，在氣相沉積設(shè)備中，長期處在劇烈的高低溫變化下，容易變形，一方面造成反射效果降低，另一方面容易出現(xiàn)短路現(xiàn)象，嚴(yán)重縮短加熱器使用壽命。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問題，目的在于提供一種反射板不易變形，使用壽命得以延長的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器。
[0005]本實(shí)用新型的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器包括:
[0006]四層環(huán)形金屬板，上下平行設(shè)置，分別具有對應(yīng)的沿螺旋線排列的若干圓孔，自上而下分別為第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座，所述第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座互相由若干固定組件和若干定位件連接固定；
[0007]一加熱體，包括呈螺旋線狀鋪設(shè)在所述第一反射板上的加熱線圈，所述加熱線圈由穿設(shè)在所述若干圓孔中的若干支撐件支撐；
[0008]所述第一反射板分為三段，其中每一段相比于現(xiàn)有技術(shù)中未分段的整個環(huán)形反射板受熱面積要小，相對不容易變形。
[0009]本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，第一反射板和第一基座之間的間隙固定有若干陶瓷絕緣件，用于固定所述若干支撐件以及絕緣。
[0010]本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，所述加熱體還包括沿螺旋線等距分布的穿設(shè)在所述若干圓孔中的若干對第一連接件和兩第二連接件；所述加熱線圈由若干等長的加熱電阻絲通過所述若干對第一連接件連接而成；所述加熱線圈成一通路，兩端分別在所述四層環(huán)形金屬板外側(cè)和內(nèi)側(cè)并分別通過一所述第二連接件連通電源。所述若干加熱電阻絲長度適中，不僅便于安裝，而且出現(xiàn)燒斷情況時也只需更換一根，簡便節(jié)約。
[0011]本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，所述第一反射板每段之間留有2毫米的間隙并通過所述固定組件固定，以此避免受熱膨脹而產(chǎn)生擠壓變形。
[0012]本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，所述第一反射板厚度為1.5?6毫米，所述第二反射板厚度為0.1?3毫米。因第一反射板離所述加熱電阻絲最近，接收熱量最大，為避免變形需具備一定厚度，同時為避免吸熱過多又不能太厚；而所述第二反射板接收的熱量相對要少，厚度相對要薄
[0013]本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，所述四層環(huán)形金屬板的材質(zhì)為鉬、鎢鉬合金或者鉬鑭合金，優(yōu)選更耐高溫的鉬鑭合金，可進(jìn)一步延長使用壽命。加熱電阻絲材質(zhì)為鎢或者鉬，優(yōu)選加熱效果更好的鎢。
[0014]綜上，與相比，所述第一反射板等分為三段，每一段相對于現(xiàn)有技術(shù)的一整個環(huán)形金屬板面積變小，在劇烈的高低溫變化下更不易變形，加上所訴四塊環(huán)形金屬板所用材質(zhì)更耐高溫，本實(shí)用新型的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器的使用壽命得以有效延長。
[0015]以下將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的構(gòu)思、具體結(jié)構(gòu)及產(chǎn)生的技術(shù)效果作進(jìn)一步說明，以充分地了解本實(shí)用新型的目的、特征和效果。
【附圖說明】
[0016]圖1為M0CVD成膜設(shè)備示意圖。
[0017]圖2為M0CVD成膜設(shè)備中現(xiàn)有的加熱器示意圖。
[0018]圖3為本實(shí)用新型的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器立體圖。
[0019]圖4為本實(shí)用新型的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器俯視圖。
[0020]圖5為本實(shí)用新型的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器側(cè)視圖。
[0021]圖6為圖5的局部放大圖。
[0022]圖7為圖3中四層環(huán)形金屬板立體圖。
[0023]圖8為圖7的局部放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面舉出較佳實(shí)施例，并結(jié)合附圖來更清楚完整地說明本實(shí)用新型。
[0025]本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0026]如圖3所示為本實(shí)用新型的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器的立體圖，包括四層環(huán)形金屬板31，一加熱體32。
[0027]四層環(huán)形金屬板31材質(zhì)為鉬鑭合金，設(shè)有上下對應(yīng)的沿螺旋線排列的若干圓孔310，并由垂直的若干固定組件315和若干定位件316連接固定，自上而下平行設(shè)置分別為第一反射板311、第一基座312、第二反射板313和第二基座314，如圖5?8所示；第一反射板311厚度為1.5?6毫米，等分為三段扇形，相鄰兩段之間留有2毫米的間隙，每個間隙內(nèi)設(shè)有兩固定組件315 ;第二反射板的厚度為0.1?3毫米；
[0028]加熱體32中，若干對第一連接件323沿螺旋線等距分布，穿設(shè)在若干圓孔310中，若干支撐件322穿設(shè)在剩余的若干圓孔310中，第一反射板和第一基座之間的間隙固定有若干陶瓷絕緣件325，用于固定若干支撐件322 ;如圖4所示，材質(zhì)為鎢的等長的若干條加熱電阻絲321呈螺旋線狀鋪設(shè)若干支撐件322上，并由若干對第一連接件323連接成一通路，通路兩端分別在四層環(huán)形金屬板31外側(cè)和內(nèi)側(cè)并分別通過一第二連接件324連通電源。
[0029]第一反射板311等分為三段，且間隙處有固定組件315固定，每段面積相比于整個環(huán)形金屬板面積小很多，每段第一反射板311受熱膨脹得到有效分散，不易出現(xiàn)翹起或下凹現(xiàn)象，加上材質(zhì)為耐高溫的鉬鑭合金，高低溫劇烈變化環(huán)境下也不易出現(xiàn)變形，進(jìn)而延長金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器的使用壽命。
[0030]以上詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的一較佳具體實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員無需創(chuàng)造性勞動就可以根據(jù)本實(shí)用新型的構(gòu)思作出諸多修改和變化。因此，凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本實(shí)用新型的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書所確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其包括: 四層環(huán)形金屬板，上下平行設(shè)置，分別具有對應(yīng)的沿螺旋線排列的若干圓孔，自上而下分別為第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座，所述第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座互相由若干固定組件和若干定位件連接固定； 一加熱體，包括呈螺旋線狀鋪設(shè)在所述第一反射板上的加熱線圈，所述加熱線圈由穿設(shè)在所述若干圓孔中的若干支撐件支撐； 其特征在于，所述第一反射板分為三段。2.如權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述加熱體還包括沿螺旋線等距分布的穿設(shè)在所述若干圓孔中的若干對第一連接件和兩第二連接件；所述加熱線圈由若干等長的加熱電阻絲通過所述若干對第一連接件連接而成；所述加熱線圈成一通路，兩端分別在所述四層環(huán)形金屬板外側(cè)和內(nèi)側(cè)并分別通過一所述第二連接件連通電源。3.如權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述第一反射板每段之間留有2毫米的間隙并通過所述固定組件固定。4.如權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述第一反射板厚度為1.5?6毫米。5.如權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述第二反射板厚度為0.1?3毫米。6.如權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述四層環(huán)形金屬板材質(zhì)為鉬、鎢鉬合金或者鉬鑭合金。7.如權(quán)利要求6所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述四層環(huán)形金屬板材質(zhì)為鉬鑭合金。8.如權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述加熱電阻絲材質(zhì)為鎢或者鉬。9.如權(quán)利要求8所述的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其特征在于:所述加熱電阻絲材質(zhì)為鎢。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器，其包括：四層環(huán)形金屬板，上下平行設(shè)置，分別具有對應(yīng)的沿螺旋線排列的若干圓孔，自上而下分別為第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座，所述第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座互相由若干固定組件和若干定位件連接固定；一加熱體，包括呈螺旋線狀鋪設(shè)在所述第一反射板上的加熱線圈，所述加熱線圈由穿設(shè)在所述若干圓孔中的若干支撐件支撐；所述第一反射板分為三段，在劇烈的高低溫變化下也不易變形，所述金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積電阻加熱器的使用壽命得以有效延長。
【IPC分類】C23C16/46
【公開號】CN204959033
【申請?zhí)枴緾N201520769447
【發(fā)明人】權(quán)永德
【申請人】上海荷緣光電科技有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年9月29日