一種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體薄膜制備設(shè)備中，負載模塊需要用真空栗頻繁抽氣至預(yù)定壓力，現(xiàn)有的傳片模塊與真空栗單獨連通，真空栗只針對傳片模塊使用，導(dǎo)致傳片模塊所配備的真空栗利用率較低，為合理利用設(shè)備資源，需要一種新型快速抽氣結(jié)構(gòu)，可減少抽氣時間，提高設(shè)備產(chǎn)能。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實用新型以解決上述問題為目的，提供了一種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)可將控制傳片模塊的真空栗與控制上負載模塊及下負載模塊的真空栗聯(lián)合利用，可減少抽氣時間，提高設(shè)備產(chǎn)能。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用下述技術(shù)方案:
[0005]—種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊，上負載模塊，下負載模塊，角閥A，真空栗A，角閥B，角閥C，真空栗B，角閥D ;所述傳片模塊分別與上負載模塊、下負載模塊通過螺栓相連接，上負載模塊置于下負載模塊上方；傳片模塊與所述角閥D的一端通過管路相連接，角閥D的另一端與角閥C的一端及真空栗B通過管路相連接，上負載模塊與角閥A的一端通過管路相連接，下負載模塊3與角閥B的一端通過管路相連接，同時，角閥A的另一端與角閥B的另一端通過管路連通后再與所述角閥C的另一端及真空栗A通過管路相連接。
[0006]本實用新型的有益效果及特點在于:
[0007]1、本實用新型的抽氣結(jié)構(gòu)簡單實用，增加抽氣速率，提高產(chǎn)能；
[0008]2、本實用新型有效利用現(xiàn)有的設(shè)備，不需要額外增加購置設(shè)備，成本較低。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0010]下面結(jié)合實施例進一步對本實用新型進行詳細說明，但實用新型保護內(nèi)容不局限于所述實施例:
[0011]如圖1所示，一種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊1，上負載模塊2，下負載模塊3，角閥A4，真空栗A5，角閥B6，角閥C7，真空栗B8，角閥D9 ;所述傳片模塊1分別與上負載模塊2、下負載模塊3通過螺栓相連接，上負載模塊2置于下負載模塊3上方；傳片模塊1與所述角閥D9的一端通過管路相連接，角閥D9的另一端與角閥C7的一端及真空栗B8通過管路相連接，上負載模塊2與角閥A4的一端通過管路相連接，下負載模塊3與角閥B6的一端通過管路相連接，同時，角閥A4的另一端與角閥B6的另一端通過管路連通后再與所述角閥C7的另一端及真空栗A5通過管路相連接。
[0012]當(dāng)上負載模塊2需要抽真空時，關(guān)閉角閥D9和角閥B6，打開角閥C7和角閥A4，開啟真空栗B8和真空栗A5，與常用結(jié)構(gòu)相比，則該結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)對上負載模塊2的快速抽氣；同理，當(dāng)下負載模塊3需要抽真空時，關(guān)閉角閥D9和角閥A4，打開角閥C7和角閥B6，開啟真空栗B8和真空栗A5實現(xiàn)對下負載模塊3的快速抽氣。
[0013]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊，上負載模塊，下負載模塊，角閥A，真空栗A，角閥B，角閥C，真空栗B，角閥D ;所述傳片模塊分別與上負載模塊、下負載模塊通過螺栓相連接，上負載模塊置于下負載模塊上方；傳片模塊與所述角閥D的一端通過管路相連接，角閥D的另一端與角閥C的一端及真空栗B通過管路相連接，上負載模塊與角閥A的一端通過管路相連接，下負載模塊3與角閥B的一端通過管路相連接，同時，角閥A的另一端與角閥B的另一端通過管路連通后再與所述角閥C的另一端及真空栗A通過管路相連接。
【專利摘要】一種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，主要解決現(xiàn)有半導(dǎo)體薄膜制備設(shè)備中傳片模塊所配備的真空泵利用率較低及設(shè)備產(chǎn)能低等問題，本實用新型提供一種新型負載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊，上負載模塊，下負載模塊，角閥A，真空泵A，角閥B，角閥C，真空泵B，角閥D。本實用新型的抽氣結(jié)構(gòu)簡單實用，不需要額外增加購置設(shè)備，成本較低，并且可增加抽氣速率，提高產(chǎn)能。
【IPC分類】C23C14/56
【公開號】CN205077135
【申請?zhí)枴緾N201520829090
【發(fā)明人】杜廣宇, 廉杰, 方仕彩
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月23日