一種pecvd工件架的電極板擋板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種PECVD工件架的電極板擋板，特別涉及一種非晶硅薄膜太陽能電池在制作過程中所用到的PECVD工件架的電極板擋板。
【背景技術(shù)】
[0002]21世紀(jì)初之前，太陽能電池主要以硅系太陽能電池為主，超過89%的光伏市場由硅系列太陽能電池所占領(lǐng)，但近年以來，晶體硅太陽能電池的主要原料多晶硅價(jià)格快速上漲，因此，業(yè)內(nèi)人士自熱而然將目光轉(zhuǎn)向了成本較低的薄膜電池。薄膜太陽電池可以使用在價(jià)格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨，金屬片等不同材料當(dāng)基板來制造，形成可產(chǎn)生電壓的薄膜厚度僅需數(shù)微米，目前轉(zhuǎn)換效率最高可達(dá)13%以上。在生產(chǎn)非晶硅薄膜電池中，通常會用到等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣體沉積法PECVD在基板上度設(shè)非晶硅層(p-1-n層)，在該工序中需要用到PECVD工件架來進(jìn)行非晶硅薄膜層的鍍設(shè)。
[0003]現(xiàn)有的PECVD工件架設(shè)有若干個(gè)電極板，中間裝載有TCO基片，電極板兩端之間的長度一般要大于TCO基片的長度，電極板與TCO基板配合時(shí)電極板與TCO基板貼合的部分稱為電極板工作段，而電極板兩端裸露在外的部分稱為電極板裸露段，每次沉積完成后電極板裸露段都會被鍍上薄膜，若不及時(shí)處理經(jīng)多次鍍膜后膜層脫落將產(chǎn)生硅粉。硅粉飄落于基片表面，使鍍膜過程形成針孔，進(jìn)而導(dǎo)致鍍膜時(shí)金屬電極與基片短路，造成電池低功率。目前實(shí)用新型201420076271.0公開了《一種PECVD工件架及其電極板》，該實(shí)用新型包括用于形成電極板工作段的電極板本體、設(shè)置于電極板本體的前后兩端且用于形成電極板裸露段的本體端件，本體端件與電極板本體通過可拆裝的螺釘緊固連接，這樣就可以定期拆除電極板本體端件來清除表面鍍上的膜層，清除較徹底，但是這樣就增加了 PECVD工件架的制造成本，不適合大規(guī)模的普及使用，且對現(xiàn)有PECVD工件架存在的薄膜問題沒法進(jìn)行很好的解決。因此如何能夠徹底且方便地除去電極板兩端的膜層是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種PECVD工件架的電極板擋板，目的旨在解決PECVD工件架的電極板裸露邊緣經(jīng)多次鍍膜后產(chǎn)生硅粉的問題，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0005]為了達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型采取的方案如下:
[0006]—種PECVD工件架的電極板擋板，所述的電極板擋板呈U型，所述的電極板擋板和P電極板前后兩端形成過渡配合；所述電極板擋板的高度和電極板的高度一致；所述電極板擋板U型內(nèi)槽兩側(cè)的側(cè)面積不小于電極板兩側(cè)裸露段的面積。
[0007]保養(yǎng)時(shí)對上述電極片擋板拆卸后進(jìn)行打磨清洗即可再次使用，若電極片擋板鍍膜層加厚無法打磨時(shí)則浸泡在NaOH溶液中進(jìn)行浸泡清潔。
[0008]用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有以下的有益效果:
[0009](I)提高了清潔效率的同時(shí)節(jié)省了人力，僅需要將電極片擋板從電極板拆下打磨或浸泡在NaOH溶液中進(jìn)行浸泡清潔，降低了人力維護(hù)成本。
[0010](2)減少了電極板邊緣硅粉的產(chǎn)生，繼而減少PECVD鍍膜針孔透空的形成，提高了非晶硅薄膜轉(zhuǎn)化效率。
[0011](3)減少了對PECVD工件架大保養(yǎng)的次數(shù)，使設(shè)備的使用壽命延長，提高了生產(chǎn)產(chǎn)會K。
【附圖說明】
[0012]為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中
[0013]圖1是本實(shí)用新型PECVD工件架電極板擋板組裝示意圖；
[0014]圖2是本實(shí)用新型PECVD工件架電極板的示意圖；
[0015]圖中:1、電極板擋板；2、電極板；21、電極板裸露段；22、電極板工作段；3、正極板正面擋板；4、正極板反面擋板；5、負(fù)極板正面擋板；6、負(fù)極板反面擋板；
[0016]L31、正極板正面擋板高度；L32、正極板正面擋板高長度；L41、正極板反面擋板高度；L42、正極板反面擋板高長度；L51、負(fù)極板正面擋板高度；L52、負(fù)極板正面擋板長度；L61、負(fù)極板反面擋板高度；L62、負(fù)極板反面擋板長度。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明技術(shù)方案作進(jìn)一步說明:
[0018]一種PECVD工件架的電極板擋板，所述的電極板擋板I呈U型，所述的電極板擋板I連接在PECVD工件架的電極板2前后兩端；所述的電極板擋板I的U型內(nèi)槽和電極板2形成過渡配合；所述電極板擋板I的高度和電極板2的高度一致；所述電極板擋板I的U型內(nèi)槽兩側(cè)的側(cè)面積不小于電極板2兩側(cè)的電極板裸露段21的面積。
[0019]所述的電極板擋板包括正極板正面擋板3、正極板反面擋板4、負(fù)極板正面擋板5和負(fù)極板反面擋板6。所述的電極板擋板的厚度為0.6mm ;所述的電極板擋板的U型內(nèi)槽寬度為6mm。所述的正極板正面擋板3的高度L31為638mm，所述正極板正面擋板3的長度L32為21mm ;所述的正極板反面擋板4的高度L41為631mm，所述正極板反面擋板4的長度L42為16mm ;所述的負(fù)極板正面擋板5的高度L51為638mm，所述負(fù)極板反面擋板5的長度L52為Ilmm ;所述的負(fù)極板反面擋板6的高度L61為638mm，所述負(fù)極板反面擋板6的長度L62 為 11mnin
[0020]以上所述的具體實(shí)施例，對本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種PECVD工件架的電極板擋板，其特征在于:所述的電極板擋板⑴呈U型，所述的電極板擋板(I)和電極板(2)前后兩端形成過渡配合；所述的電極板擋板(I)包括正極板正面擋板(3)、正極板反面擋板(4)、負(fù)極板正面擋板(5)和負(fù)極板反面擋板￠);所述正極板正面擋板(3)的長度(L32)為21mm ;所述正極板反面擋板(4)的長度(L42)為16mm ;所述負(fù)極板正面擋板(5)的長度(L52)為Ilmm ;所述負(fù)極板反面擋板￠)的長度(L62)為Ilmm02.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極板擋板，其特征在于:所述電極板擋板(I)的U型內(nèi)槽兩側(cè)的側(cè)面積不小于電極板(2)兩側(cè)的電極板裸露段(21)的面積；所述電極板擋板(I)的高度和電極板(2)的高度一致；所述的電極板擋板(I)厚度為0.5?1mm。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種PECVD工件架的電極板擋板，所述的電極板擋板呈U型，所述的電極板擋板和電極板前后兩端形成過渡配合；所述電極板擋板的高度和電極板的高度一致；所述電極板擋板U型內(nèi)槽兩側(cè)的側(cè)面積不小于電極板兩側(cè)電極板裸露段的面積。采用本實(shí)用新型的PECVD工件架保養(yǎng)時(shí)只需對上述電極片擋板拆卸后進(jìn)行打磨清洗即可再次使用，若電極片擋板鍍膜層加厚無法打磨時(shí)則浸泡在NaOH溶液中進(jìn)行浸泡清潔，提高了清潔效率，減少了電極板邊緣硅粉的產(chǎn)生，繼而減少PECVD鍍膜針孔透空的形成，提高了非晶硅薄膜轉(zhuǎn)化效率；另一方面也節(jié)省了人力，減少了對PECVD工件架大保養(yǎng)的次數(shù)，使設(shè)備的使用壽命延長，提高了生產(chǎn)產(chǎn)能。
【IPC分類】C23C16/458
【公開號】CN205115596
【申請?zhí)枴緾N201520384491
【發(fā)明人】陸亮亮, 田振超, 郭必玉
【申請人】江蘇武進(jìn)漢能光伏有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2015年6月4日