用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩堝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍。作為蒸鍍材料的載體，能有效提高蒸鍍材料預(yù)熔后結(jié)構(gòu)密度，從而改善產(chǎn)品質(zhì)量。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，真空蒸鍍系統(tǒng)所使用的蒸鍍材料的載體環(huán)形坩禍，其環(huán)形主體是一個(gè)空心的圓環(huán)體，圓環(huán)體內(nèi)部開一道通冷卻水的環(huán)槽，環(huán)槽內(nèi)外圈靠?jī)蓷l氟橡膠密封圈和底板通過(guò)螺栓連接，形成由兩條密封圈間水冷卻循環(huán)結(jié)構(gòu)。由于環(huán)形主體是一個(gè)空心圓，冷卻水槽的冷卻量有限，導(dǎo)致膜料在電子束轟擊熔化時(shí)不能夠迅速冷卻，從而容易出現(xiàn)空穴現(xiàn)象，最終導(dǎo)致在產(chǎn)品鍍制過(guò)程中出現(xiàn)蒸鍍速率不穩(wěn)定情況而影響產(chǎn)品的性能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服普通環(huán)形坩禍在真空蒸鍍?nèi)哿线^(guò)程出現(xiàn)空穴情況，本實(shí)用新型提供了一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，能有效提高蒸鍍材料在電子束轟擊熔料過(guò)程中材料的結(jié)構(gòu)密度，解決蒸鍍過(guò)程速率不穩(wěn)定的情況。
[0004]本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所使用的技術(shù)方案是:
[0005]—種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，包括環(huán)形主體、水流分流板、底板、冷卻水導(dǎo)管、旋轉(zhuǎn)主軸，環(huán)形主體的中心通過(guò)螺絲固定水流分流板，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板通過(guò)固定螺栓與固定水流分流板相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管為所述中空腔體提供冷卻水。
[0006]所述的環(huán)形主體進(jìn)一步設(shè)有上蓋板，用于為防止蒸鍍過(guò)程對(duì)固定螺栓的污染。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:由于水冷面積大能夠最大限度保證蒸鍍材料由顆粒狀熔化液體后變?yōu)楣腆w時(shí)的結(jié)構(gòu)密度，防止了在蒸鍍過(guò)程中因出現(xiàn)材料空穴造成成膜速率跳動(dòng)而影響成膜質(zhì)量問(wèn)題。最終能夠節(jié)約蒸鍍材料，延長(zhǎng)燒坑時(shí)間，提高膜層穩(wěn)定性。增大水冷卻面積后可以避免蒸鍍材料在預(yù)熔料過(guò)程中出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)密度問(wèn)題，能有效減少預(yù)熔次數(shù)節(jié)約蒸鍍材料穩(wěn)定蒸鍍速率。
【附圖說(shuō)明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0009]圖1為本實(shí)用新型的一種爆炸圖；
[0010]其中，環(huán)形主體1、水流分流板2、底板3、固定螺栓4、上蓋板5、冷卻水導(dǎo)管6、旋轉(zhuǎn)主軸7，氟橡膠圈為標(biāo)準(zhǔn)件圖中未標(biāo)出；
[0011 ]圖2為本實(shí)用新型的一種裝配后的剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]本實(shí)用新型將將傳統(tǒng)的蒸鍍材料載體環(huán)形坩禍的環(huán)形主體由原來(lái)的空心圓環(huán)體，加工成一個(gè)表面看起來(lái)是整個(gè)圓環(huán)而內(nèi)部大面積中空的結(jié)構(gòu)，并增加一個(gè)水流分流板，此分流板水流固定于環(huán)形主體內(nèi)部，故環(huán)形主體與底板的密封由原來(lái)兩道變?yōu)橐坏?。這種結(jié)構(gòu)增加了環(huán)形坩禍的冷卻面積有效增大冷卻量，從而克服常規(guī)環(huán)形坩禍熔料中出現(xiàn)的材料結(jié)構(gòu)密度不一致問(wèn)題。
[0013]—種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，包括環(huán)形主體1、水流分流板2、底板3、冷卻水導(dǎo)管6、旋轉(zhuǎn)主軸7，環(huán)形主體I的中心通過(guò)螺絲固定水流分流板2，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板3通過(guò)固定螺栓4與固定水流分流板2相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸7上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管6為所述中空腔體提供冷卻水。
[0014]所述的環(huán)形主體I進(jìn)一步設(shè)有上蓋板5，用于為防止蒸鍍過(guò)程對(duì)固定螺栓的污染。當(dāng)然對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)也可以采用其它方式來(lái)防止該污染，圖中僅示出有蓋板5的情形。
[0015]實(shí)施例
[0016]如圖1所示，將氟橡膠圈放入環(huán)形主體I中，注意先將橡膠圈清潔后涂一層真空潤(rùn)滑脂，以防損壞密封圈。環(huán)形主體I與水流分流板2通過(guò)M3螺絲固定，然后將底板3與通過(guò)固定螺栓4連為一體，插入冷卻水導(dǎo)管6，將連接好的主體通過(guò)外六角螺栓(此螺栓尾部一般需帶有密封圈槽)固定到旋轉(zhuǎn)主軸7上完成連接，蓋板5主要是為防止蒸鍍過(guò)程對(duì)外六角螺栓的污染。
[0017]裝配后的剖面圖如圖2所示。
[0018]其中，環(huán)形主體I由無(wú)氧銅材料加工成型，水流分流板2由SUS304板加工，底板3由SUS304材料加工。
[0019]所述環(huán)形坩禍，環(huán)形主體I設(shè)有的矩形槽道放置蒸鍍材料由高壓電子槍產(chǎn)生電子束對(duì)材料進(jìn)行預(yù)熔，環(huán)形主體I與底板3之間充滿冷卻循環(huán)水對(duì)蒸鍍材料預(yù)熔后迅速冷卻保證了預(yù)熔材料凝固時(shí)結(jié)構(gòu)密度，由調(diào)速電機(jī)帶動(dòng)環(huán)形坩禍轉(zhuǎn)動(dòng)完成材料預(yù)熔。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩禍，其特征是:包括環(huán)形主體(I)、水流分流板(2)、底板(3)、冷卻水導(dǎo)管(6)、旋轉(zhuǎn)主軸(7)，環(huán)形主體(I)的中心通過(guò)螺絲固定水流分流板(2)，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板(3)通過(guò)固定螺栓(4)與固定水流分流板(2)相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸(7)上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管(6 )為所述中空腔體提供冷卻水。2.根據(jù)權(quán)利要求1的所述環(huán)形坩禍，其特征是:所述的環(huán)形主體I進(jìn)一步設(shè)有上蓋板(5)， 用于為防止蒸鍍過(guò)程對(duì)固定螺栓的污染。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于真空鍍膜系統(tǒng)的環(huán)形坩堝，包括環(huán)形主體、水流分流板、底板、冷卻水導(dǎo)管、旋轉(zhuǎn)主軸，環(huán)形主體的中心通過(guò)螺絲固定水流分流板，外圈設(shè)有氟橡膠密封圈，底板通過(guò)固定螺栓與固定水流分流板相連壓緊氟橡膠密封圈后形成一個(gè)中空腔體為冷卻水提供循環(huán)空間，然后整體固定在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸上，主軸中空，內(nèi)部設(shè)有冷卻水導(dǎo)管為所述中空腔體提供冷卻水。所述的環(huán)形主體進(jìn)一步設(shè)有上蓋板，用于為防止蒸鍍過(guò)程對(duì)固定螺栓的污染。本實(shí)用新型的有益效果是：增大冷卻水冷卻面積后可以避免蒸鍍材料在預(yù)熔料過(guò)程中出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)密度問(wèn)題，能有效減少預(yù)熔次數(shù)節(jié)約蒸鍍材料穩(wěn)定蒸鍍速率。
【IPC分類】C23C14/24
【公開號(hào)】CN205188413
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520920849
【發(fā)明人】謝繼闖
【申請(qǐng)人】合波光電通信科技有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2015年11月18日