一種用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種布線結(jié)構(gòu)，特別是，涉及一種用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的電子束蒸發(fā)設(shè)備采用的是隨意無(wú)固定式走線狀態(tài)，該走線方式存在以下幾點(diǎn)缺陷:1、走線隨意容易彎折使其斷裂，增加了熱電偶的損耗;2、走線隨意無(wú)固定容易觸碰附近的加熱燈的接線粧頭，增加了設(shè)備的故障報(bào)警率以及增加了熱電偶的損耗量;3、熱電偶無(wú)保護(hù)的裸露狀態(tài)下，容易受到外力影響使其損壞從而增加了熱電偶的損耗量;這些不僅會(huì)造成熱電偶的損耗，同時(shí)也會(huì)影響到生產(chǎn)，造成工作效率低下。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，且能有效的解決現(xiàn)有技術(shù)中熱電偶裸露的問(wèn)題，有效減少生產(chǎn)過(guò)程中熱電偶的損耗，保證生產(chǎn)的高效進(jìn)行。
[0004]為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下:
[0005]—種用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，包括設(shè)置在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)上的布線管，所述布線管包括用于熱電偶布線的管體和設(shè)置在管體一端用于保護(hù)裸露熱電偶的防護(hù)壁。
[0006]優(yōu)選的，所述管體為中空管，所述防護(hù)壁由中空管沿軸向切削而成。
[0007]優(yōu)選的，所述管體內(nèi)徑為0.4-1.0cm。
[0008]優(yōu)選的，所述布線管為不銹鋼材質(zhì)。
[0009]優(yōu)選的，還包括固定在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)上的固定卡，所述固定卡為U型結(jié)構(gòu)，所述布線管卡扣在固定卡上。
[0010]優(yōu)選的，所述布線管上設(shè)置有與固定卡對(duì)應(yīng)的凹環(huán)。
[0011]優(yōu)選的，所述固定卡通過(guò)螺絲固定在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)上。
[0012]相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0013]1、本實(shí)用新型不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，且能有效的解決現(xiàn)有技術(shù)中熱電偶裸露的問(wèn)題，有效減少生產(chǎn)過(guò)程中熱電偶的損耗，保證生產(chǎn)的高效進(jìn)行。
[0014]2、熱電偶加以布線管保護(hù)固定后，在打掃電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)時(shí)不會(huì)再使其折彎，杜絕了熱電偶因來(lái)回彎曲所造成的斷裂現(xiàn)象；
[0015]3、熱電偶加以布線管保護(hù)固定后，與加熱燈的接線粧頭存在了一定的距離，杜絕了因熱電偶觸碰到加熱接線粧所引起的加熱短路，以及因此燒斷熱電偶的現(xiàn)象；
[0016]4、熱電偶加以布線管保護(hù)固定后，在蒸發(fā)工藝中一旦發(fā)生蒸發(fā)材料飛濺現(xiàn)象的話，飛濺出來(lái)的材料也只會(huì)落到管體上，完全保護(hù)了熱電偶不被飛濺出來(lái)的高溫液態(tài)材料所損害。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型中用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為圖1中用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)的俯視圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型中布線管結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為本實(shí)用新型中固定卡和螺絲結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]其中，I為布線管，101為管體，102為防護(hù)壁、103為凹環(huán)，2為固定卡，201為螺絲，3
為電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)、4為熱電偶。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0023]如圖1-4所示，本實(shí)用新型中用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)3上的布線管1，布線管I包括用于熱電偶4布線的管體101和設(shè)置在管體101 —端用于保護(hù)裸露熱電偶4的防護(hù)壁102。管體101用于保護(hù)保護(hù)內(nèi)部通過(guò)的熱電偶4不受外部環(huán)境干擾，防護(hù)壁102用于保護(hù)裸露的熱電偶4在打掃電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)時(shí)不會(huì)使其折彎。
[0024]在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)3上的不銹鋼材質(zhì)的布線管I，布線管I包括用于熱電偶4布線的管體101和設(shè)置在管體101—端用于保護(hù)裸露熱電偶4的防護(hù)壁102，管體101為中空管，防護(hù)壁102由中空管沿軸向切削而成，管體1I內(nèi)徑為0.4cm，便于熱電偶4穿過(guò)。
[0025]在另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)包括不銹鋼材質(zhì)的布線管I和固定在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)3上的固定卡2，布線管I包括用于熱電偶4布線的管體101和設(shè)置在管體101—端用于保護(hù)裸露熱電偶4的防護(hù)壁102，管體101為中空管，防護(hù)壁102由中空管沿軸向切削而成，管體101內(nèi)徑為1.0cm，便于熱電偶4穿過(guò);固定卡2為U型結(jié)構(gòu)，通過(guò)螺絲201固定在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)3上，布線管I卡扣在固定卡2上，布線管I上設(shè)置有與固定卡2對(duì)應(yīng)的凹環(huán)103。卡扣形式固定，便于布線管I的拆卸，更加便于電子束蒸發(fā)設(shè)備的清理。
[0026]對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括設(shè)置在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)上的布線管，所述布線管包括用于熱電偶布線的管體和設(shè)置在管體一端用于保護(hù)裸露熱電偶的防護(hù)壁。2.如權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述管體為中空管，所述防護(hù)壁由中空管沿軸向切削而成。3.如權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述管體內(nèi)徑為0.4-1.0cm04.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述布線管為不銹鋼材質(zhì)。5.如權(quán)利要求4所述的用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括固定在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)上的固定卡，所述固定卡為U型結(jié)構(gòu)，所述布線管卡扣在固定卡上。6.如權(quán)利要求5所述的用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述布線管上設(shè)置有與固定卡對(duì)應(yīng)的凹環(huán)。7.如權(quán)利要求5所述的用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述固定卡通過(guò)螺絲固定在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)上。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于電子束蒸發(fā)設(shè)備的布線結(jié)構(gòu)，包括設(shè)置在電子束蒸發(fā)設(shè)備平臺(tái)上的布線管，所述布線管包括用于熱電偶布線的管體和設(shè)置在管體一端用于保護(hù)裸露熱電偶的防護(hù)壁。本實(shí)用新型不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，且能有效的解決現(xiàn)有技術(shù)中熱電偶裸露的問(wèn)題，有效減少生產(chǎn)過(guò)程中熱電偶的損耗，保證生產(chǎn)的高效進(jìn)行。
【IPC分類】C23C14/30
【公開號(hào)】CN205241782
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521097484
【發(fā)明人】唐慶余
【申請(qǐng)人】蘇州同冠微電子有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2015年12月24日