真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空鍍膜設(shè)備，具體是一種用于真空鍍膜設(shè)備上的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜設(shè)備一般包括一個(gè)裝片室和兩個(gè)鍍膜室，其中，兩個(gè)鍍膜室分別位于裝片室的兩側(cè)。為了保證工件和靶材在系統(tǒng)各個(gè)真空室之間轉(zhuǎn)運(yùn)，一般要用到磁流體密封傳動(dòng)裝置，但是現(xiàn)有的磁流體密封傳動(dòng)裝置由于各部件之間相互約束較多，容易形成死點(diǎn)，并使滑塊與絲杠之間摩擦力增大，操作時(shí)阻力較大，運(yùn)行不穩(wěn)定，定位不精確。再者，現(xiàn)有的裝置的旋轉(zhuǎn)中心位于端部，這樣，旋轉(zhuǎn)半徑就大，需要真空室的空間也大，而且顯得笨重。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，可以使鍍膜工件及靶材在系統(tǒng)各個(gè)真空室內(nèi)轉(zhuǎn)運(yùn)，且旋轉(zhuǎn)中心位于中間，旋轉(zhuǎn)半徑縮小一半，而且定位精確、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)、移動(dòng)馬達(dá)和機(jī)械手臂，轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)的輸出軸與第一齒輪連接，第一齒輪與第二齒輪嚙合，第二齒輪與磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸下端固定連接，磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸上端固定在擺桿底座上;移動(dòng)馬達(dá)的輸出軸與磁流體動(dòng)密封的中心軸下端連接，磁流體動(dòng)密封的中心軸的上端具有第三齒輪，第三齒輪與第四齒輪嚙合，第四齒輪通過(guò)第一連接桿與第五齒輪連接，第五齒輪與第六齒輪嚙合，所述的第六齒輪固定在滾珠絲杠的一端，滾珠絲杠可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定在擺桿底座上，滾珠絲杠上有滑輪，滑輪與機(jī)械手臂固定。
[0005]本實(shí)用新型利用磁流體動(dòng)密封技術(shù)，使真空機(jī)械手可以在x-y平面內(nèi)作360°旋轉(zhuǎn)，還可以沿X軸或者沿y軸作直線進(jìn)動(dòng)，具體過(guò)程為:
[0006]x-y平面內(nèi)360°旋轉(zhuǎn):由轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)第一齒輪旋轉(zhuǎn)，第一齒輪再帶動(dòng)第二齒輪旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸，聯(lián)動(dòng)擺桿底座一起轉(zhuǎn)動(dòng)，使設(shè)置在擺桿底座上的機(jī)械手臂一起繞磁流體動(dòng)密封的中心軸進(jìn)行360°旋轉(zhuǎn)。
[0007]沿X軸或者沿y軸作直線進(jìn)動(dòng):由移動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)磁流體動(dòng)密封中心軸上端的第三齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，第三齒輪驅(qū)動(dòng)第四齒輪，第四齒輪通過(guò)第一連接桿聯(lián)動(dòng)第五齒輪，來(lái)驅(qū)動(dòng)第六齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪聯(lián)動(dòng)滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)，使?jié)L珠絲杠上的滑輪作直線運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)機(jī)械手臂與滑輪同步移動(dòng)。
[0008]本實(shí)用新型的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置允許用戶在高真空環(huán)境下，通過(guò)手動(dòng)或自動(dòng)電控，精確控制機(jī)械手臂在真空環(huán)境里面的傳動(dòng)走位，定位準(zhǔn)確;滾珠絲杠與滑輪配合，降低阻力，增加運(yùn)行穩(wěn)定性;而且，以磁流體動(dòng)密封的中心軸線為旋轉(zhuǎn)中心，縮小了旋轉(zhuǎn)半徑，適用于多種鍍膜機(jī)的工件傳動(dòng)。
[0009]優(yōu)選地，所述的第三齒輪和第四齒輪均為錐齒輪，齒輪傳動(dòng)的同時(shí)，又改變了運(yùn)動(dòng)方向，縮小了整個(gè)真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置的體積。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0012]真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，如圖1所示，包括轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)14、移動(dòng)馬達(dá)13、磁流體動(dòng)密封10和機(jī)械手臂2，磁流體動(dòng)密封10下端固定有第二連接桿9和第三連接桿16，第二連接桿9下端與馬達(dá)固定架12連接，轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)14和移動(dòng)馬達(dá)13都固定在馬達(dá)固定架12上。轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)14的輸出軸與第一齒輪15連接，第一齒輪15安裝在第三連接桿16下端，第一齒輪15與第二齒輪11嚙合，第二齒輪11與磁流體動(dòng)密封10的旋轉(zhuǎn)軸10-1下端固定連接，磁流體動(dòng)密封10的旋轉(zhuǎn)軸10-1上端固定在擺桿底座17上，所述的擺桿底座17由左側(cè)臂、右側(cè)壁和橫桿組成，大體呈傾倒的J型。所述的磁流體動(dòng)密封10的旋轉(zhuǎn)軸10-1為筒狀;移動(dòng)馬達(dá)13的輸出軸與磁流體動(dòng)密封10的中心軸10-2下端連接，磁流體動(dòng)密封10的中心軸10-2從磁流體動(dòng)密封10的旋轉(zhuǎn)軸10-1中穿出，并在上端安裝第三齒輪8，所述的第三齒輪8為錐齒輪，第三齒輪8與第四齒輪7嚙合，第四齒輪7也為錐齒輪，第四齒輪7通過(guò)第一連接桿6與第五齒輪5連接，第一連接桿6右端穿過(guò)擺桿底座17的右側(cè)臂與第五齒輪5連接，第一連接桿6左端伸入磁流體動(dòng)密封10中與第四齒輪7連接，第五齒輪5與第六齒輪4嚙合，第六齒輪4固定在滾珠絲杠I的一端，滾珠絲杠I可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定在擺桿底座17的左側(cè)臂和右側(cè)臂上，滾珠絲杠I上有兩個(gè)滑輪3，兩個(gè)滑輪3都與固定在機(jī)械手臂2下端。
[0013]本實(shí)施例的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置在使用時(shí)的步驟為:
[0014]通過(guò)手動(dòng)或自動(dòng)程序精確控制旋轉(zhuǎn)馬達(dá)14，控制機(jī)械手臂2轉(zhuǎn)動(dòng)到取件位置;然后控制移動(dòng)馬達(dá)13，驅(qū)動(dòng)機(jī)械手臂2沿著滾珠絲杠I前進(jìn)到取件位置;取件后，再次控制移動(dòng)馬達(dá)13，驅(qū)動(dòng)機(jī)械手臂2沿著滾珠絲杠I后退到原始位置;然后控制旋轉(zhuǎn)馬達(dá)14，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械手臂2到“送工件”位置;再次控制移動(dòng)馬達(dá)13，驅(qū)動(dòng)機(jī)械手臂2前進(jìn)到送件位置;送件后，控制移動(dòng)馬達(dá)13，驅(qū)動(dòng)機(jī)械手臂2后退到原始位置，即完成一次“取件”、“送件”過(guò)程。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)、移動(dòng)馬達(dá)和機(jī)械手臂，其特征在于:轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)的輸出軸與第一齒輪連接，第一齒輪與第二齒輪嚙合，第二齒輪與磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸下端固定連接，磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸上端固定在擺桿底座上;移動(dòng)馬達(dá)的輸出軸與磁流體動(dòng)密封的中心軸下端連接，磁流體動(dòng)密封的中心軸的上端具有第三齒輪，第三齒輪與第四齒輪嚙合，第四齒輪通過(guò)第一連接桿與第五齒輪連接，第五齒輪與第六齒輪嚙合，所述的第六齒輪固定在滾珠絲杠的一端，滾珠絲杠可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定在擺桿底座上，滾珠絲杠上有滑輪，滑輪與機(jī)械手臂固定。2.如權(quán)利要求1所述的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的第三齒輪和第四齒輪均為錐齒輪。3.如權(quán)利要求1或2所述的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)和移動(dòng)馬達(dá)都固定在馬達(dá)固定架上。4.如權(quán)利要求1或2所述的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，其特征在于:磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸為筒狀，磁流體動(dòng)密封的中心軸從磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸中穿出。5.如權(quán)利要求1或2所述的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的擺桿底座左側(cè)臂、右側(cè)壁和橫桿組成，大體呈傾倒的J型，第一連接桿右端穿過(guò)右側(cè)臂與第五齒輪連接，第一連接桿左端伸入磁流體動(dòng)密封中與第四齒輪連接。6.如權(quán)利要求1或2所述的真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的磁流體動(dòng)密封下端固定有第二連接桿和第三連接桿，第二連接桿下端與第一齒輪連接，第二連接桿下端與馬達(dá)固定架連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空機(jī)械手傳動(dòng)裝置，包括磁流體動(dòng)密封、機(jī)械手臂及齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)第一齒輪、第二齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，聯(lián)動(dòng)磁流體動(dòng)密封的旋轉(zhuǎn)軸，帶動(dòng)擺桿底座轉(zhuǎn)動(dòng)；通過(guò)移動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)聯(lián)動(dòng)磁流體動(dòng)密封的中心軸上端的第三齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，間接驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)，來(lái)驅(qū)動(dòng)機(jī)械手臂移動(dòng)；實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中，通過(guò)手動(dòng)或自動(dòng)精確控制轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)或移動(dòng)馬達(dá)，來(lái)實(shí)現(xiàn)機(jī)械手臂的精確定位，可以使鍍膜工件和靶材在系統(tǒng)各個(gè)真空室之間轉(zhuǎn)運(yùn)，且旋轉(zhuǎn)中心位于中間，旋轉(zhuǎn)半徑縮小一半，適用于多種鍍膜機(jī)的工件傳運(yùn)。
【IPC分類】C23C14/50, C23C14/34
【公開(kāi)號(hào)】CN205275695
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521142076
【發(fā)明人】房如楓, 郭祖華, 劉海, 葛懷慶, 孫嵩泉
【申請(qǐng)人】蚌埠雷諾真空技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2015年12月31日