一種真空鍍膜機的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領域，更具體地說，涉及一種具有加熱機構(gòu)的真空鍍膜機，該加熱機構(gòu)能夠有效提高抽真空的效率。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜是指在真空環(huán)境下，將某種金屬或金屬化合物以氣相的形式沉積到材料表面，形成導電膜。在真空鍍膜過程中，進口室與出口室由于經(jīng)常與大氣接觸，在反復抽真空放大氣的過程中，在抽氣管道端部容易出現(xiàn)結(jié)冰的現(xiàn)象，影響到抽真空的效率，甚至堵塞了抽氣管道。
[0003]—般的，在真空鍍膜的進口室與出口室布滿類似鍍膜主室的加熱絲，在真空鍍膜過程中，啟動加熱絲的加熱功能，使加熱絲自身產(chǎn)生熱量，并將熱量傳遞給與加熱絲接觸的進口室與出口室，使進口室與出口室的溫度升高，在抽真空放大氣過程所排出的氣體不會使進口室與出口室因溫度低而結(jié)冰，提高了抽真空的效率。
[0004]但是，在進口室與出口室設置加熱絲，加熱絲的功率較高，會造成能源的浪費；且加熱絲加熱電壓較高，有安全隱患。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有加熱絲功率較高、浪費能源，有安全隱患的問題，提供一種真空鍍膜機，通過在抽真空裝置的抽氣管道端部設置一個電磁加熱機構(gòu)，使抽真空裝置的抽氣管道端部在其進口室與出口室的溫度升高，使抽真空放大氣過程中所排出的水氣不會冷凍抽真空裝置抽氣管道端部的進口室與出口室，從而提高了抽真空效率。
[0006]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:提供一種真空鍍膜機，包括真空鍍膜室、用于對真空鍍膜室進行抽真空的抽真空裝置、用于將薄膜材料加熱蒸發(fā)的蒸發(fā)加熱裝置、用于夾持待真空鍍膜樣品的樣品夾具;所述抽真空裝置通過真空管道與真空鍍膜室連通，所述蒸發(fā)加熱裝置設置在真空鍍膜室的底部，所述樣品夾具設置在真空鍍膜室的頂部;該真空鍍膜機還包括用于提高抽真空效率的電磁加熱機構(gòu)，所述電磁加熱機構(gòu)設置在抽真空裝置與真空鍍膜室之間的真空管道上，該電磁加熱機構(gòu)包括管體、空氣循環(huán)裝置以及至少一個電磁線圈；所述管體的管徑大于所述真空管道的管徑，管體套設在抽真空裝置與真空鍍膜室之間的真空管道上，管體內(nèi)壁與真空管道外壁之間形成空腔;所述空氣循環(huán)裝置設置在空腔的一端;所述電磁線圈包覆在管體的外側(cè)壁上，并與電源氣路電氣連接。
[0007]本實用新型所述的真空鍍膜機中，所述空氣循環(huán)裝置包括電機和與電機電性連接的風機，所述風機的出風口與所述空腔的一端連接。
[0008]本實用新型所述的真空鍍膜機中，所述電磁加熱機構(gòu)還包括用于圍蔽電磁線圈的保護罩，所述保護罩將所述管體包覆在內(nèi)。
[0009]本實用新型所述的真空鍍膜機中，所述保護罩上設置有散熱通道，所述散熱通道為通孔。
[0010]本實用新型所述的真空鍍膜機中，所述抽真空裝置包括機械栗、增壓栗和油擴散栗，所述機械栗與油擴散栗相連，所述機械栗、增壓栗和油擴散栗分別與四向密封閥相連，四向密封閥通過真空管道與真空鍍膜室的內(nèi)部相連通。
[0011]實施本實用新型的真空鍍膜機，具有以下有益效果:
[0012](I)通過在真空鍍膜機的抽真空裝置的真空管道上設置有電磁加熱裝置，通過電磁加熱將熱量傳遞給與之接觸的真空管道端部，使抽真空裝置的真空管道端部在其進口室與出口室的溫度升高，使抽真空放大氣過程中所排出的水氣不會冷凍抽真空裝置抽氣管道端部的進口室與出口室，從而提尚了抽真空效率；
[0013](2)此外，相對于現(xiàn)有技術(shù)中的電加熱而言，本實用新型的電磁加熱機構(gòu)具有熱量損耗小、易于控制、加熱速度快并且有利于節(jié)約能源的作用；
[0014](3)通過在電磁加熱機構(gòu)上設置空氣循環(huán)裝置，通過風機將熱能均勻的分散在空腔內(nèi)，穩(wěn)定了加熱的溫度，保證了抽真空裝置的安全性；
[0015](4)通過保護罩設置的散熱通道，保證了電磁線圈工作的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0016]下面將結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中:
[0017]圖1是本實用新型較佳實施例的真空鍍膜機的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2是本實用新型較佳實施例的電磁加熱機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3是本實用新型較佳實施例的抽真空裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]其中，1、真空鍍膜室;2、抽真空裝置;21、機械栗;22、增壓栗;23、油擴散栗;24、四向密封閥；3、蒸發(fā)加熱裝置;4、樣品夾具;5、電磁加熱機構(gòu);51、管體;52、空氣循環(huán)裝置;53、電磁線圈；54、保護罩。
【具體實施方式】
[0021]下面，結(jié)合附圖以及【具體實施方式】，對本實用新型做進一步描述:
[0022]如圖1-3所示，一種真空鍍膜機，包括真空鍍膜室1、用于對真空鍍膜室進行抽真空的抽真空裝置2、用于將薄膜材料加熱蒸發(fā)的蒸發(fā)加熱裝置3、用于夾持待真空鍍膜樣品的樣品夾具4;所述抽真空裝置2通過真空管道與真空鍍膜室I連通，所述蒸發(fā)加熱裝置3設置在真空鍍膜室I的底部，所述樣品夾具4設置在真空鍍膜室I的頂部;該真空鍍膜機還包括用于提高抽真空效率的電磁加熱機構(gòu)5，所述電磁加熱機構(gòu)5設置在抽真空裝置2與真空鍍膜室I之間的真空管道上。
[0023]所述電磁加熱機構(gòu)5包括管體51、空氣循環(huán)裝置52以及至少一個電磁線圈53、用于圍蔽電磁線圈的保護罩54;所述管體51的管徑大于所述真空管道的管徑，管體51套設在抽真空裝置與真空鍍膜室之間的真空管道上，管體內(nèi)壁與真空管道外壁之間形成空腔;所述空氣循環(huán)裝置52設置在空腔的一端;所述電磁線圈53包覆在管體的外側(cè)壁上，并與電源氣路電氣連接;所述保護罩54將所述管體包覆在內(nèi)，保護罩54上設置有散熱通道，所述散熱通道為通孔。通過保護罩設置的散熱通道，保證了電磁線圈工作的穩(wěn)定性。
[0024]其中，所述空氣循環(huán)裝置52包括電機和與電機電性連接的風機，所述風機的出風口與所述空腔的一端連接。通過在電磁加熱機構(gòu)上設置空氣循環(huán)裝置，通過風機將熱能均勻的分散在空腔內(nèi)，穩(wěn)定了加熱的溫度，保證了抽真空裝置的安全性。
[0025]所述抽真空裝置2包括機械栗21、增壓栗22和油擴散栗23，所述機械栗21與油擴散栗23相連，所述機械栗、增壓栗和油擴散栗分別與四向密封閥24相連，四向密封閥通過真空管道與真空鍍膜室的內(nèi)部相連通。
[0026]本實用新型通過在真空鍍膜機的抽真空裝置的真空管道上設置有電磁加熱裝置，通過電磁加熱將熱量傳遞給與之接觸的真空管道端部，使抽真空裝置的真空管道端部在其進口室與出口室的溫度升高，使抽真空放大氣過程中所排出的水氣不會冷凍抽真空裝置抽氣管道端部的進口室與出口室，從而提高了抽真空效率。同時，相對于現(xiàn)有技術(shù)中的電加熱而言，本實用新型的電磁加熱機構(gòu)具有熱量損耗小、易于控制、加熱速度快并且有利于節(jié)約能源的作用。
[0027]對本領域的技術(shù)人員來說，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應該屬于本實用新型權(quán)利要求的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種真空鍍膜機，其特征在于，包括真空鍍膜室、用于對真空鍍膜室進行抽真空的抽真空裝置、用于將薄膜材料加熱蒸發(fā)的蒸發(fā)加熱裝置、用于夾持待真空鍍膜樣品的樣品夾具;所述抽真空裝置通過真空管道與真空鍍膜室連通，所述蒸發(fā)加熱裝置設置在真空鍍膜室的底部，所述樣品夾具設置在真空鍍膜室的頂部;所述真空鍍膜機還包括用于提高抽真空效率的電磁加熱機構(gòu)，所述電磁加熱機構(gòu)設置在抽真空裝置與真空鍍膜室之間的真空管道上，該電磁加熱機構(gòu)包括管體、空氣循環(huán)裝置以及至少一個電磁線圈;所述管體的管徑大于所述真空管道的管徑，管體套設在抽真空裝置與真空鍍膜室之間的真空管道上，管體內(nèi)壁與真空管道外壁之間形成空腔;所述空氣循環(huán)裝置設置在空腔的一端;所述電磁線圈包覆在管體的外側(cè)壁上，并與電源氣路電氣連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述空氣循環(huán)裝置包括電機和與電機電性連接的風機，所述風機的出風口與所述空腔的一端連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述電磁加熱機構(gòu)還包括用于圍蔽電磁線圈的保護罩，所述保護罩將所述管體包覆在內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述保護罩上設置有散熱通道，所述散熱通道為通孔。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述抽真空裝置包括機械栗、增壓栗和油擴散栗，所述機械栗與油擴散栗相連，所述機械栗、增壓栗和油擴散栗分別與四向密封閥相連，四向密封閥通過真空管道與真空鍍膜室的內(nèi)部相連通。
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空鍍膜機，包括真空鍍膜室、用于對真空鍍膜室進行抽真空的抽真空裝置、用于將薄膜材料加熱蒸發(fā)的蒸發(fā)加熱裝置、用于夾持待真空鍍膜樣品的樣品夾具；所述抽真空裝置通過真空管道與真空鍍膜室連通，所述蒸發(fā)加熱裝置設置在真空鍍膜室的底部，所述樣品夾具設置在真空鍍膜室的頂部；該真空鍍膜機還包括用于提高抽真空效率的電磁加熱機構(gòu)，所述電磁加熱機構(gòu)設置在抽真空裝置與真空鍍膜室之間的真空管道上。通過在抽真空裝置的真空管道上設置一個電磁加熱機構(gòu)，使抽真空裝置的進口室與出口室的溫度升高，使抽真空放大氣過程中所排出的水氣不會冷凍抽真空裝置抽氣管道端部的進口室與出口室，從而提高了抽真空效率。
【IPC分類】C23C14/24
【公開號】CN205313657
【申請?zhí)枴緾N201620075227
【發(fā)明人】邱海峰
【申請人】邱海峰
【公開日】2016年6月15日
【申請日】2016年1月27日