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      一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號:10456435閱讀:847來源:國知局
      一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)的制作方法
      【專利說明】
      [技術(shù)領(lǐng)域]
      [0001 ]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜,尤其涉及一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)。
      [【背景技術(shù)】]
      [0002]傳統(tǒng)的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)在基材上真空鍍ZrCN膜或ALN膜,其中ZrCN膜采用多弧離子鍍,ALN膜采用磁控濺射鍍。以上的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)存在以下缺點(diǎn):
      [0003]1.鍍制的ZrCN膜,被人手觸摸之后,手印很難擦拭干凈,同時其膜層會被手汗腐蝕產(chǎn)生變色。
      [0004]2.ZrCN膜層采用多弧離子鍍,鏡面效果的工件采用該工藝時,因等離子體的能量過高,會使鏡面發(fā)麻、發(fā)蒙。
      [0005]3.鍍制ALN膜層的工件暴露在空氣中時,其膜層中的Al很容易被空氣中的氧氣氧化,致膜層產(chǎn)生變色。
      [0006]4.ZrCN與ALN的膜系結(jié)構(gòu),其LAB中的B值不夠小,即顏色不夠艷麗。
      [
      【發(fā)明內(nèi)容】
      ]
      [0007]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種手印容易擦拭、不易變色的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)。
      [0008]為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是,一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),包括基材、藍(lán)色膜和AF透明保護(hù)膜,AF透明保護(hù)膜覆蓋在藍(lán)色膜的頂面;藍(lán)色膜覆蓋在基材的頂面。
      [0009]以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),所述的基材為金屬基材或陶瓷基材。
      [0010]以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),包括Cr底膜和過渡膜,Cr底膜鍍在基材的頂面,過渡膜鍍在Cr底膜的頂面,藍(lán)色膜鍍在過渡膜的頂面,藍(lán)色膜鍍在基材的頂面。
      [0011]以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),所述的藍(lán)色膜是TinO膜。
      [0012]以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),Cr底膜的厚度為0.1-1.Ομπι。
      [0013]以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),過渡膜的厚度為0.1-0.3μπι。
      [0014]以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),AF透明保護(hù)膜的厚度為100-500nm。
      [0015]本實(shí)用新型藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)的手印容易擦除、膜層不易變色。
      [【附圖說明】]
      [0016]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
      [0017]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)的示意圖。
      [0018]圖1中,1-基材,2-Cr底膜,3_Cr_Ti過渡膜,4_TinO藍(lán)色膜,5-AF透明保護(hù)膜。
      [【具體實(shí)施方式】]
      [0019]本實(shí)用新型實(shí)施例藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)如圖1所示,包括基材、Cr底膜、Cr-Ti過渡膜、TinO藍(lán)色膜和AF透明保護(hù)膜?;目梢允墙饘倩幕蛱沾苫摹?br>[0020]本實(shí)用新型實(shí)施例藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),通過以下步驟完成:
      [0021 ] 101、把工件放置到磁控濺射鍍膜機(jī)的真空室中,真空室中充入氬氣;
      [0022]102、采用真空磁控濺射方式在工件的基材表面鍍制Cr底膜;
      [0023]103、采用真空磁控濺射方式在Cr底膜上鍍制Cr-Ti過渡膜;
      [0024]104、采用真空磁控濺射方式在Cr-Ti過渡膜上鍍制TinO藍(lán)色膜;
      [0025]105、采用真空蒸鍍方式在TinO藍(lán)色膜上鍍制AF透明保護(hù)膜。
      [0026]其中,Cr底膜可以增加膜層與基材的結(jié)合力;過渡膜層可增加膜層的結(jié)合力,同時逐步生產(chǎn)的多膜層結(jié)構(gòu),可提高膜層的致密度。
      [0027]TinO藍(lán)色膜顏色的LAB值范圍為:L為35至70,A為-10至3,B為_5至-30。
      [0028]本實(shí)用新型以上實(shí)施例相比于現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):
      [0029]相比單膜系鍍膜,采用多膜層逐層鍍膜的膜系結(jié)構(gòu),使膜層更致密。采用Ti靶鍍制藍(lán)色膜層,其膜層顏色中的B值可以做到-30左右,相對Zr靶與Al靶鍍制的顏色,此顏色更艷麗。在工藝最后階段增加AF膜層,有效保護(hù)藍(lán)色膜層,使復(fù)合膜層具有防指紋、不易變色的特性。
      【主權(quán)項】
      1.一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),包括基材,其特征在于,包括藍(lán)色膜和AF透明保護(hù)膜,AF透明保護(hù)膜覆蓋在藍(lán)色膜的頂面;藍(lán)色膜覆蓋在基材的頂面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),其特征在于,所述的基材為金屬基材或陶瓷基材。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),其特征在于,包括Cr底膜和過渡膜,Cr底膜鍍在基材的頂面,過渡膜鍍在Cr底膜的頂面,藍(lán)色膜鍍在過渡膜的頂面,藍(lán)色膜鍍在基材的頂面。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),其特征在于,所述的藍(lán)色膜是TinO膜。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),其特征在于,Cr底膜的厚度為0.1-1.Ομπι。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),其特征在于,過渡膜的厚度為0.1-0.3μπι。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),其特征在于,AF透明保護(hù)膜的厚度為100-500nmo
      【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu),包括基材,藍(lán)色膜和AF透明保護(hù)膜,AF透明保護(hù)膜覆蓋在藍(lán)色膜的頂面;藍(lán)色膜覆蓋在基材的頂面。本實(shí)用新型藍(lán)色真空鍍膜的藍(lán)色膜層顏色艷麗、手印容易擦除、膜層不易變色。
      【IPC分類】C23C14/14, C23C14/08, C23C28/00
      【公開號】CN205368484
      【申請?zhí)枴緾N201521136626
      【發(fā)明人】石春放, 黃紅勇, 段小燕, 段巧琴
      【申請人】深圳市鑫景源科技有限公司
      【公開日】2016年7月6日
      【申請日】2015年12月31日
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