一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，包括間隔設(shè)置的第一槽體、第二槽體、以及用于在所述第一槽體與所述第二槽體之間傳輸硅片的多個(gè)傳輸滾輪，所述傳輸滾輪的上方、分別對(duì)應(yīng)所述第一槽體和所述第二槽體處設(shè)置有兩組噴淋裝置，兩組所述噴淋裝置之間設(shè)置有用于對(duì)在所述傳輸滾輪上傳輸?shù)墓杵M(jìn)行干燥的干燥裝置，所述干燥裝置至少包括海綿滾輪和冷風(fēng)刀，且所述海綿滾輪與所述冷風(fēng)刀沿著硅片的運(yùn)行方向設(shè)置。該鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，能夠徹底清潔硅片表面的化學(xué)液，以防止硅片上攜帶的化學(xué)液進(jìn)入并污染下一個(gè)槽體。
【專利說(shuō)明】
一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在常規(guī)的太陽(yáng)能晶硅電池生產(chǎn)中，鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液方式一般有海綿滾輪、硬質(zhì)滾輪或冷風(fēng)刀幾種，但這幾種方式在單獨(dú)使用時(shí)均不能將硅片表面的化學(xué)液體搟干，從而使得殘留在硅片表面的化學(xué)液被帶入到下一個(gè)槽體中，影響下一個(gè)工序加工。如圖1所示，其為單獨(dú)使用海綿滾輪的一種方式，圖中，該裝置包括用于前一個(gè)工序的第一槽體I，用于后一個(gè)工序的第二槽體2，在第一槽體I和第二槽體2之間設(shè)置有傳輸滾輪3，通過(guò)傳輸滾輪3將硅片從第一槽體I所在位置輸送至第二槽體2所在位置，第一槽體I和第二槽體2的對(duì)應(yīng)的傳輸滾輪3的上方均設(shè)置有噴淋裝置4，在第一槽體I和第二槽體2之間的傳輸滾輪3的上方均設(shè)置有海綿滾輪5，工作時(shí)，硅片在第一槽體I處通過(guò)化學(xué)液加工處理，這會(huì)使得硅片的表面殘留有化學(xué)液，而硅片通過(guò)傳輸滾輪3向著第二槽體2輸送時(shí)，通過(guò)海綿滾輪5則會(huì)將硅片表面的化學(xué)液吸收掉一部分，然而，由于海綿滾輪5本身的吸水特性，其在吸收化學(xué)液后，無(wú)法達(dá)到較大壓力的吸水，因而硅片表面總會(huì)殘留一定量的化學(xué)液。因此，為了確保硅片的潔凈程度，這些搟液方式不僅會(huì)增加下一個(gè)槽體中水或藥液的使用量，還會(huì)增加污水的處理成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提出一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，能夠徹底清潔硅片表面的化學(xué)液，以防止硅片上攜帶的化學(xué)液進(jìn)入并污染下一個(gè)槽體。
[0004]為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，包括間隔設(shè)置的第一槽體、第二槽體、以及用于在所述第一槽體與所述第二槽體之間傳輸硅片的多個(gè)傳輸滾輪，所述傳輸滾輪的上方、分別對(duì)應(yīng)所述第一槽體和所述第二槽體處設(shè)置有兩組噴淋裝置，兩組所述噴淋裝置之間設(shè)置有用于對(duì)在所述傳輸滾輪上傳輸?shù)墓杵M(jìn)行干燥的干燥裝置，所述干燥裝置至少包括海綿滾輪和冷風(fēng)刀，且所述海綿滾輪與所述冷風(fēng)刀沿著硅片的運(yùn)行方向設(shè)置。
[0006]其中，所述第一槽體和所述第二槽體為清洗槽，所述海綿滾輪和所述冷風(fēng)刀設(shè)置于所述第一槽體對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪的上方、或所述第二槽體對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪的上方、或所述第一槽體與所述第二槽體的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪的上方。
[0007]其中，所述第一槽體為清洗槽，所述第二槽體為工藝槽，所述海綿滾輪和所述冷風(fēng)刀設(shè)置于所述第一槽體對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪的上方、或所述第一槽體與所述第二槽體的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪的上方。
[0008]其中，所述第一槽體為工藝槽，所述第二槽體為清洗槽，所述海綿滾輪和所述冷風(fēng)刀設(shè)置于所述第一槽體與所述第二槽體的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪的上方、或所述第二槽體對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪的上方。
[0009]其中，所述海綿滾輪與所述冷風(fēng)刀在同一水平方向上并排設(shè)置，所述海綿滾輪與所述冷風(fēng)刀間隔設(shè)置。
[0010]其中，所述海綿滾輪與所述第一槽體之間的水平距離小于所述冷風(fēng)刀與所述第一槽體之間的水平距離。
[0011]其中，所述海綿滾輪的底部最低點(diǎn)與所述傳輸滾輪的頂部最高點(diǎn)相適應(yīng)，所述冷風(fēng)刀的底端至所述傳輸滾輪的頂部最高點(diǎn)的距離為5?20mm。
[0012]其中，所述冷風(fēng)刀包括冷風(fēng)腔，設(shè)置在所述冷風(fēng)腔的一側(cè)端部的冷風(fēng)接口，及設(shè)置在所述冷風(fēng)腔的底部的冷風(fēng)刀口。
[0013]其中，所述冷風(fēng)刀為長(zhǎng)條狀，且所述冷風(fēng)刀的底部設(shè)置有用于在一定壓力下噴出壓縮空氣的縫隙，所述縫隙對(duì)應(yīng)硅片設(shè)置。
[0014]其中，所述縫隙的寬度為0.01-0.1mm,所述壓縮空氣的壓力為0.1?0.3Mpa。
[0015]本實(shí)用新型的有益效果為:
[0016]本實(shí)用新型的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其在工作時(shí)，硅片在第一槽體處通過(guò)化學(xué)液加工處理之后，硅片通過(guò)傳輸滾輪向著第二槽體輸送，在輸送過(guò)程中，首先通過(guò)海綿滾輪將硅片表面的化學(xué)液吸收掉一部分，然后經(jīng)過(guò)冷風(fēng)刀進(jìn)一步對(duì)硅片表面的殘留的另一部分化學(xué)液進(jìn)行吹干，此時(shí)，硅片表面的化學(xué)液通過(guò)海綿滾輪和冷風(fēng)刀的兩次作用，可以將硅片表面的化學(xué)液清理干凈，然后硅片繼續(xù)被傳輸滾輪輸送至第二槽體，以進(jìn)行下一個(gè)工序的加工;進(jìn)而就可以在第二槽體中無(wú)需增加其中的水或藥液的使用量，也就不會(huì)增加污水的處理成本。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2是本實(shí)用新型的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖中:丨-第一槽體;2-第二槽體;3-傳輸滾輪;4-噴淋裝置;5-海綿滾輪;6-冷風(fēng)刀。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖并通過(guò)【具體實(shí)施方式】來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0021]如圖2所示，一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，包括間隔設(shè)置的第一槽體1、第二槽體2、以及用于在所述第一槽體I與所述第二槽體2之間傳輸硅片的多個(gè)傳輸滾輪3，所述傳輸滾輪3的上方、分別對(duì)應(yīng)所述第一槽體I和所述第二槽體2處設(shè)置有兩組噴淋裝置4，兩組所述噴淋裝置4之間設(shè)置有用于對(duì)在所述傳輸滾輪3上傳輸?shù)墓杵M(jìn)行干燥的干燥裝置，所述干燥裝置至少包括海綿滾輪5和冷風(fēng)刀6，且所述海綿滾輪5與所述冷風(fēng)刀6沿著硅片的運(yùn)行方向設(shè)置。
[0022]因此，在本實(shí)施例中，一組噴淋裝置4對(duì)應(yīng)第一槽體I位于第一槽體I的上方，而另一組噴淋裝置4對(duì)應(yīng)第二槽體2位于第二槽體2的上方。
[0023]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述第一槽體I和所述第二槽體2為清洗槽，這時(shí)，所述海綿滾輪5和所述冷風(fēng)刀6可以同時(shí)設(shè)置于所述第一槽體I對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方、或同時(shí)設(shè)置于所述第二槽體2對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方、或同時(shí)設(shè)置于所述第一槽體I與所述第二槽體2的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方;也可以是海綿滾輪5設(shè)置在所述第一槽體I對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方，而冷風(fēng)刀6設(shè)置在所述第一槽體I與所述第二槽體2的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方;也可以是海綿滾輪5設(shè)置在所述第一槽體I與所述第二槽體2的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方，而冷風(fēng)刀6設(shè)置在所述第二槽體2對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方;也就是說(shuō)，當(dāng)所述第一槽體I和所述第二槽體2均為用作清洗工藝的清洗槽時(shí)，海綿滾輪5和/或冷風(fēng)刀6可以對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述第一槽體I和/或所述第二槽體2的對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方。
[0024]作為本實(shí)用新型的另一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述第一槽體I為清洗槽，所述第二槽體2為工藝槽，這時(shí)，所述海綿滾輪5和所述冷風(fēng)刀6同時(shí)設(shè)置于所述第一槽體I對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方、或同時(shí)設(shè)置于所述第一槽體I與所述第二槽體2的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方。在本實(shí)施例中，由于第二槽體2為工藝槽，因而不能將海綿滾輪5和/或冷風(fēng)刀6直接設(shè)置于工藝槽的上方，以防止干燥裝置破壞硅片上方的水膜保護(hù)層，而造成蝕刻液污染硅片上表面的不良現(xiàn)象。
[0025]作為本實(shí)用新型的再一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述第一槽體I為工藝槽，所述第二槽體2為清洗槽，所述海綿滾輪5和所述冷風(fēng)刀6設(shè)置于所述第一槽體I與所述第二槽體2的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方、或所述第二槽體2對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪3的上方。在本實(shí)施例中，由于第二槽體2為工藝槽，因而不能將海綿滾輪5和/或冷風(fēng)刀6直接設(shè)置于工藝槽的上方，以防止干燥裝置破壞硅片上方的水膜保護(hù)層，而造成蝕刻液污染硅片上表面的不良現(xiàn)象。
[0026]特別地，在本實(shí)用新型中，所述海綿滾輪5與所述冷風(fēng)刀6在同一水平方向上并排設(shè)置，所述海綿滾輪5與所述冷風(fēng)刀6間隔設(shè)置。且，硅片是從第一槽體I傳輸向第二槽體2，因而海綿滾輪5和冷風(fēng)刀6也是沿著第一槽體I向第二槽體2的方向間隔設(shè)置，并且，具體地，海綿滾輪5和冷風(fēng)刀6間隔設(shè)置在第一槽體I和第二槽體2的間隔處對(duì)應(yīng)的傳輸滾輪3的上方，這時(shí)，所述海綿滾輪5與所述第一槽體I之間的水平距離小于所述冷風(fēng)刀6與所述第一槽體I之間的水平距離。因此，可以實(shí)現(xiàn)首先海綿滾輪5吸收化學(xué)液，再用冷風(fēng)刀吹干的兩步操作。
[0027]為了使得海綿滾輪5能夠盡最大能力吸取硅片表面的化學(xué)液，在本實(shí)施例中，所述海綿滾輪5的底部最低點(diǎn)與所述傳輸滾輪3的頂部最高點(diǎn)相適應(yīng)，而同樣地，為了使得冷風(fēng)刀可以在一定距離范圍內(nèi)對(duì)硅片表面進(jìn)行干燥處理，優(yōu)選的，所述冷風(fēng)刀6的底端至所述傳輸滾輪3的頂部最高點(diǎn)的距離為5?20mm。
[0028]在本實(shí)用新型中，作為一種優(yōu)選，所述冷風(fēng)刀6包括冷風(fēng)腔，設(shè)置在所述冷風(fēng)腔的一側(cè)端部的冷風(fēng)接口，及設(shè)置在所述冷風(fēng)腔的底部的冷風(fēng)刀口。通過(guò)冷風(fēng)刀口可以直接面對(duì)硅片，用于吹出冷風(fēng)，實(shí)現(xiàn)干燥。作為另一種優(yōu)選，所述冷風(fēng)刀6為長(zhǎng)條狀，且所述冷風(fēng)刀6的底部設(shè)置有用于在一定壓力下噴出壓縮空氣的縫隙，所述縫隙對(duì)應(yīng)硅片設(shè)置。其中，所述縫隙的寬度為0.0I?0.1mm，所述壓縮空氣的壓力為0.1?0.3Mpa。這樣設(shè)置，可以較好地適應(yīng)硅片的寬度，使得在同一寬度位置處，冷風(fēng)刀可以同時(shí)進(jìn)行吹干處理。
[0029]本實(shí)用新型的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其在工作時(shí)，硅片在第一槽體處通過(guò)化學(xué)液加工處理之后，硅片通過(guò)傳輸滾輪向著第二槽體輸送，在輸送過(guò)程中，首先通過(guò)海綿滾輪將硅片表面的化學(xué)液吸收掉一部分，然后經(jīng)過(guò)冷風(fēng)刀進(jìn)一步對(duì)硅片表面的殘留的另一部分化學(xué)液進(jìn)行吹干，此時(shí)，硅片表面的化學(xué)液通過(guò)海綿滾輪和冷風(fēng)刀的兩次作用，可以將硅片表面的化學(xué)液清理干凈，然后硅片繼續(xù)被傳輸滾輪輸送至第二槽體，以進(jìn)行下一個(gè)工序的加工;進(jìn)而就可以在第二槽體中無(wú)需增加其中的水或藥液的使用量，也就不會(huì)增加污水的處理成本。
[0030]以上結(jié)合具體實(shí)施例描述了本實(shí)用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實(shí)用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制。基于此處的解釋，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動(dòng)即可聯(lián)想到本實(shí)用新型的其它【具體實(shí)施方式】，這些方式都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，包括間隔設(shè)置的第一槽體(1)、第二槽體(2)、以及用于在所述第一槽體(I)與所述第二槽體(2)之間傳輸硅片的多個(gè)傳輸滾輪(3)，其特征在于，所述傳輸滾輪(3)的上方、分別對(duì)應(yīng)所述第一槽體(I)和所述第二槽體(2)處設(shè)置有兩組噴淋裝置(4)，兩組所述噴淋裝置(4)之間設(shè)置有用于對(duì)在所述傳輸滾輪(3)上傳輸?shù)墓杵M(jìn)行干燥的干燥裝置，所述干燥裝置至少包括海綿滾輪(5)和冷風(fēng)刀(6)，且所述海綿滾輪(5)與所述冷風(fēng)刀(6)沿著硅片的運(yùn)行方向設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于， 所述第一槽體(I)和所述第二槽體(2)為清洗槽，所述海綿滾輪(5)和所述冷風(fēng)刀(6)設(shè)置于所述第一槽體(I)對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪(3)的上方、或所述第二槽體(2)對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪(3)的上方、或所述第一槽體(I)與所述第二槽體(2)的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪(3)的上方。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于， 所述第一槽體(I)為清洗槽，所述第二槽體(2)為工藝槽，所述海綿滾輪(5)和所述冷風(fēng)刀(6)設(shè)置于所述第一槽體(I)對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪(3)的上方、或所述第一槽體(I)與所述第二槽體(2)的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪(3)的上方。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于， 所述第一槽體(I)為工藝槽，所述第二槽體(2)為清洗槽，所述海綿滾輪(5)和所述冷風(fēng)刀(6)設(shè)置于所述第一槽體(I)與所述第二槽體(2)的間隔處對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪(3)的上方、或所述第二槽體(2)對(duì)應(yīng)的所述傳輸滾輪(3)的上方。5.根據(jù)權(quán)利要求2至4任一項(xiàng)所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于，所述海綿滾輪(5)與所述冷風(fēng)刀(6)在同一水平方向上并排設(shè)置，所述海綿滾輪(5)與所述冷風(fēng)刀(6)間隔設(shè)置。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于，所述海綿滾輪(5)與所述第一槽體(I)之間的水平距離小于所述冷風(fēng)刀(6)與所述第一槽體(I)之間的水平距離。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于，所述海綿滾輪(5)的底部最低點(diǎn)與所述傳輸滾輪(3)的頂部最高點(diǎn)相適應(yīng)，所述冷風(fēng)刀(6)的底端至所述傳輸滾輪(3)的頂部最高點(diǎn)的距離為5?20mm。8.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于，所述冷風(fēng)刀(6)包括冷風(fēng)腔，設(shè)置在所述冷風(fēng)腔的一側(cè)端部的冷風(fēng)接口，及設(shè)置在所述冷風(fēng)腔的底部的冷風(fēng)刀口。9.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于，所述冷風(fēng)刀(6)為長(zhǎng)條狀，且所述冷風(fēng)刀(6)的底部設(shè)置有用于在一定壓力下噴出壓縮空氣的縫隙，所述縫隙對(duì)應(yīng)硅片設(shè)置。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鏈?zhǔn)轿g刻機(jī)搟液裝置，其特征在于，所述縫隙的寬度為0.01?0.1mm，所述壓縮空氣的壓力為0.1?0.3Mpa。
【文檔編號(hào)】C23F1/08GK205473995SQ201620293256
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年4月8日
【發(fā)明人】周軍, 黨繼東, 劉東續(xù)
【申請(qǐng)人】鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司