一種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，包括自上而下設(shè)置的承載臺(tái)、掩膜底座、掩膜圖版和壓條，所述掩膜底座為一個(gè)中空的方形框架，所述承載臺(tái)嵌套于掩膜底座內(nèi)，所述掩膜底座和掩膜圖版上均設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)槽，所述掩膜底座、掩膜圖版和壓條上均設(shè)置有圓孔，圓孔內(nèi)設(shè)有螺絲將掩膜底座、掩膜圖版和壓條緊固為一體式。本實(shí)用新型采用全金屬材料，不易變形、老化、可反復(fù)使用。本實(shí)用新型的導(dǎo)熱性好，可以通過(guò)鍍膜機(jī)的機(jī)臺(tái)冷卻，保護(hù)樣品不受高溫的影響。當(dāng)掩膜圖形改變時(shí)，僅需要只要重新設(shè)計(jì)掩膜圖版進(jìn)行替換就可，裝置其他部分可以繼續(xù)使用，降低成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)電池技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜 裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 太陽(yáng)電池發(fā)展的方向是低成本、高效率，目前隨著晶體硅太陽(yáng)電池生產(chǎn)成本下降， 硅片的厚度不斷變薄。一方面造成部分?jǐn)U散長(zhǎng)度接近或大于硅片厚度的少數(shù)載流子在電池 背面復(fù)合，另一方面造成基體對(duì)長(zhǎng)波的吸收減少，從而影響電池效率。在電池背面形成鈍化 層或反射層能夠減少背面復(fù)合效應(yīng)同時(shí)提高長(zhǎng)波反射率，因此能夠有效提高太陽(yáng)電池的轉(zhuǎn) 化效率。目前常見(jiàn)的PERL、PERC、SE、LFC高效電池和背面蒸發(fā)鋁等增強(qiáng)背反射工藝技術(shù)都涉 及到背面開(kāi)槽的工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)背面金屬化或局部鋁背場(chǎng)。但激光開(kāi)槽一方面需要額外設(shè)備成 本另一方面激光本身產(chǎn)生對(duì)電池的損傷不可避免。因此在背面鈍化層形成過(guò)程將不需要鍍 膜部分通過(guò)掩膜的手段進(jìn)行遮擋是一種既經(jīng)濟(jì)又不傷電池的手段。通常的掩膜采用在硅片 表面按一定要求涂覆特定的化學(xué)物質(zhì)，在鍍膜厚再將其清洗掉，其工藝較復(fù)雜而且在特定 的物理法鍍膜如熱蒸發(fā)鍍膜、磁控濺射、離子束蒸發(fā)鋁等并不適用。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003] 實(shí)用新型目的：本實(shí)用新型提供了一種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，以解 決現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題。
[0004] 技術(shù)方案:為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：
[0005] -種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，包括自上而下設(shè)置的承載臺(tái)、掩膜底座、 掩膜圖版和壓板，所述掩膜底座為一個(gè)中空的方形框架，所述承載臺(tái)嵌套于掩膜底座內(nèi)，所 述掩膜底座和掩膜圖版上均設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)槽，所述掩膜底座、掩膜圖版和壓板上均設(shè)置有圓 孔，圓孔內(nèi)設(shè)有螺絲將掩膜底座、掩膜圖版和壓板緊固為一體式。
[0006] 進(jìn)一步的，所述掩膜底座四周的邊框上均設(shè)置有掩膜底座圓孔，且其中一組相對(duì) 的兩條側(cè)邊上還設(shè)置有掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽，且這兩條側(cè)邊上均設(shè)置有兩個(gè)掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽。
[0007] 進(jìn)一步的，所述掩膜圖版也是一個(gè)中空的方形框架，且長(zhǎng)寬和形狀均與掩膜底座 相同。
[0008] 進(jìn)一步的，所述掩膜圖版四周的邊框上均設(shè)置有掩膜圖版圓孔，且其中一組相對(duì) 的兩條側(cè)邊上設(shè)置有掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽，且這兩條側(cè)邊上均設(shè)置有掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽。
[0009] 進(jìn)一步的，所述壓板相對(duì)的兩側(cè)邊上均設(shè)置有壓板圓孔。
[0010] 進(jìn)一步的，所述壓板相對(duì)的兩側(cè)邊上通過(guò)6根相互平行的橫條連接。
[0011] 優(yōu)選的，所述承載臺(tái)為銅板，厚度為2.3-2.5mm。
[0012] 優(yōu)選的，所述掩膜底座為不銹鋼板，厚度為2.0-2.3mm〇
[0013] 優(yōu)選的，所述掩膜圖版為不銹鋼板，厚度為1.5-1.8mm。
[0014]優(yōu)選的，所述壓板為不銹鋼板，厚度2.0-2.3mm。
[0015] 有益效果：
[0016] 第一、本實(shí)用新型采用全金屬材料，不易變形、老化、可反復(fù)使用。
[0017] 第二、本實(shí)用新型的導(dǎo)熱性好，可以通過(guò)鍍膜機(jī)的機(jī)臺(tái)冷卻，保護(hù)樣品不受高溫的 影響。
[0018] 第三、當(dāng)掩膜圖形改變時(shí)，僅需要只要重新設(shè)計(jì)掩膜圖版進(jìn)行替換就可，裝置其他 部分可以繼續(xù)使用，降低成本。
【附圖說(shuō)明】
[0019] 圖1為本實(shí)用新型的組裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020] 圖2為本實(shí)用新型中承載臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖3為本實(shí)用新型中掩膜底座的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022] 圖4為本實(shí)用新型中掩膜圖版的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023] 圖5為本實(shí)用新型中壓板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024] 其中：1-承載臺(tái)，2-掩膜底座，21-掩膜底座圓孔，22-掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽，3-掩膜圖 版，31-掩膜圖版圓孔，32-掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽，33-電極位置，4-壓板，41-壓板圓孔，42-橫條。
【具體實(shí)施方式】
[0025] 下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作更進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0026] 如圖1-5所示，一種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，包括自上而下設(shè)置的承載 臺(tái)1、掩膜底座2、掩膜圖版3和壓板4,所述掩膜底座2為一個(gè)中空的方形框架，所述承載臺(tái)1 嵌套于掩膜底座2內(nèi)，所述掩膜底座2和掩膜圖版3上均設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)槽，所述掩膜底座2、掩膜 圖版3和壓板4上均設(shè)置有圓孔，圓孔內(nèi)設(shè)有螺絲將掩膜底座2、掩膜圖版3和壓板4緊固為一 體式。
[0027] 所述掩膜底座2四周的邊框上均設(shè)置有掩膜底座圓孔21，且其中一組相對(duì)的兩條 側(cè)邊上還設(shè)置有掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽22，且這兩條側(cè)邊上均設(shè)置有兩個(gè)掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽22。
[0028] 所述掩膜圖版3也是一個(gè)中空的方形框架，且長(zhǎng)寬和形狀均與掩膜底座2相同。
[0029] 所述掩膜圖版3四周的邊框上均設(shè)置有掩膜圖版圓孔31，且其中一組相對(duì)的兩條 側(cè)邊上設(shè)置有掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽32，且這兩條側(cè)邊上均設(shè)置有掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽32。
[0030] 所述壓板4相對(duì)的兩側(cè)邊上均設(shè)置有壓板圓孔41。
[0031]所述壓板4相對(duì)的兩側(cè)邊上通過(guò)6根相互平行的橫條42連接。
[0032]所述承載臺(tái)1為銅板，厚度為2.3-2.5mm。
[0033] 所述掩膜底座2為不銹鋼板，厚度為2.0-2.3mm。
[0034] 所述掩膜圖版3為不銹鋼板，厚度為1.5-1.8mm。
[0035]所述壓板4為不銹鋼板，厚度2 · 0-2 · 3mm。
[0036] 所述掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽22和掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽32的位置均相互對(duì)應(yīng)，所述掩膜底座圓 孔21、掩膜圖版圓孔31和壓板圓孔41的位置均相互對(duì)應(yīng)，將所有圓孔和對(duì)準(zhǔn)槽均對(duì)齊后，在 圓孔內(nèi)安裝螺釘即可將掩膜底座2、掩膜圖版3和壓板4緊固為一體式。
[0037] 如圖1所示，本實(shí)用新型自下而上包括4個(gè)部分:承載臺(tái)1、掩膜底座2、掩膜圖版3和 壓板4,所述承載臺(tái)1能夠自由移動(dòng)。
[0038] 如圖2所示，所述承載臺(tái)1的材料為銅板，厚度為2.5mm，尺寸為156.3mmX 156.3mm， 待鍍膜電池片鍍膜面朝上放置在承載臺(tái)上。所述承載臺(tái)1的作用為承載待鍍膜電池片。
[0039] 如圖3所示，所述掩膜底座2的材料為不銹鋼板，厚度為2.3mm，外形尺寸為182mm X 182mm，掩膜底座2為中空結(jié)構(gòu)，且四邊有掩膜底座圓孔21及掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽22,掩膜底座2 的中空位置的大小為156.5mm X 156.5mm，恰好能夠使承載臺(tái)1嵌套在內(nèi)部。
[0040] 如圖4所示，所述掩膜圖版3的材料為不銹鋼板，厚度為1.6mm，外形尺寸與掩膜底 座2相同，四邊設(shè)有掩膜圖版圓孔31及掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽32，掩膜圖版3的中間155mm X 155mm 為鏤空結(jié)構(gòu)，非鏤空部掩膜位置，鏤空位置圖形可根據(jù)實(shí)際需要通過(guò)數(shù)控車(chē)床加工，進(jìn)行替 換。圖4中為電極位置33。
[0041 ]如圖5所示，所述壓板4的材料為不銹鋼板，厚度2mm，兩頭設(shè)有壓板圓孔41，可通過(guò) 螺釘與掩膜圖版3和掩膜底座2對(duì)齊后固定，中間6條為2mm X 155mm橫條42,用于壓實(shí)掩膜圖 版中間的圖形，能夠避免掩膜與電池片之間存在間隙，保證掩膜效果。
[0042]本實(shí)用新型實(shí)施效果驗(yàn)證分別采用磁控濺射、熱蒸發(fā)、離子束蒸發(fā)利用上述掩膜 裝置在硅片背后蒸鍍鋁膜30min，鍍膜結(jié)果如下表：
[0043]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出：對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和 潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:包括自上而下設(shè)置的承載臺(tái) (1)、掩膜底座(2)、掩膜圖版(3)和壓板(4)，所述掩膜底座(2)為一個(gè)中空的方形框架，所述 承載臺(tái)（1)嵌套于掩膜底座(2)內(nèi)，所述掩膜底座(2)和掩膜圖版(3)上均設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)槽，所 述掩膜底座(2)、掩膜圖版(3)和壓板(4)上均設(shè)置有圓孔，圓孔內(nèi)設(shè)有螺絲將掩膜底座(2)、 掩膜圖版(3)和壓板(4)緊固為一體式。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:所述掩膜底 座（2)四周的邊框上均設(shè)置有掩膜底座圓孔(21)，且其中一組相對(duì)的兩條側(cè)邊上還設(shè)置有 掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽(22)，且這兩條側(cè)邊上均設(shè)置有兩個(gè)掩膜底座對(duì)準(zhǔn)槽(22)。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:所述掩膜圖 版(3)也是一個(gè)中空的方形框架，且長(zhǎng)寬和形狀均與掩膜底座(2)相同。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:所述掩膜圖 版(3)四周的邊框上均設(shè)置有掩膜圖版圓孔(31)，且其中一組相對(duì)的兩條側(cè)邊上設(shè)置有掩 膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽(32)，且這兩條側(cè)邊上均設(shè)置有掩膜圖版對(duì)準(zhǔn)槽(32)。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于：所述壓板 (4)相對(duì)的兩側(cè)邊上均設(shè)置有壓板圓孔(41)。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于：所述壓板 (4)相對(duì)的兩側(cè)邊上通過(guò)6根相互平行的橫條(42)連接。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:所述承載臺(tái) (1)為銅板，厚度為2.3-2.5mm。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:所述掩膜底 座(2)為不銹鋼板，厚度為2.0-2.3mm。9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:所述掩膜圖 版(3)為不銹鋼板，厚度為1.5-1.8mm。10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)電池背面鍍膜的掩膜裝置，其特征在于:所述壓板 (4)為不銹鋼板，厚度2.0-2.3mm。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK205528994SQ201620055595
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年1月21日
【發(fā)明人】蒲天, 羅旌旺, 吳兢, 芮春保
【申請(qǐng)人】江蘇輝倫太陽(yáng)能科技有限公司