一種驅(qū)動裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種驅(qū)動裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)。該驅(qū)動裝置用于驅(qū)動磁控管轉(zhuǎn)動，包括：動力帶動機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)，動力帶動機(jī)構(gòu)包括動力源和軸，動力源連接軸，且動力源用于帶動軸轉(zhuǎn)動；齒輪箱機(jī)構(gòu)連接動力帶動機(jī)構(gòu)，且齒輪箱機(jī)構(gòu)能在軸的帶動下轉(zhuǎn)動，齒輪箱機(jī)構(gòu)包括動密封件，動力帶動機(jī)構(gòu)包括密封保護(hù)件，密封保護(hù)件與動密封件相對應(yīng)設(shè)置，用于在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動時(shí)對齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。該驅(qū)動裝置通過設(shè)置密封保護(hù)件，能在齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動下轉(zhuǎn)動時(shí)，使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，從而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動時(shí)能夠確保對齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
【專利說明】
_種驅(qū)動裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種驅(qū)動裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在磁控濺射系統(tǒng)中，通常需要通過控制磁控管轉(zhuǎn)動形成轉(zhuǎn)動的磁場，以便在鍍膜過程中提高磁控濺射的濺射率。
[0003]現(xiàn)有磁控管的轉(zhuǎn)動主要是通過如圖1中的驅(qū)動裝置來進(jìn)行驅(qū)動。圖1中驅(qū)動裝置的安裝方式為:小同步帶輪8安裝在電機(jī)7的軸上，電機(jī)7安裝在電機(jī)支架71上，大帶輪9安裝在軸11上，同步帶10安裝在小同步帶輪8與大帶輪9上，軸11穿過上軸承座15，向心軸承16、支撐件17、軸承18，上軸承座15，向心軸承16、支撐件17、軸承18依次安裝到軸11上，軸承座19安裝到上電極上蓋20上，齒輪箱裝配23安裝在軸承座19上，使第一齒輪24與軸承座19嚙合，將鍵25安裝到軸11上，軸11穿過軸承座19與齒輪箱裝配23用鎖緊螺母鎖緊，磁控管裝配26安裝到第三齒輪27上。
[0004]現(xiàn)有驅(qū)動裝置的驅(qū)動過程:電機(jī)7將轉(zhuǎn)動的動能傳遞給同步帶10，并帶動大帶輪9與軸11轉(zhuǎn)動，由于軸11與下箱體28之間有鍵25定位，導(dǎo)致軸11會帶動下箱體28轉(zhuǎn)動，軸承座19與上電極上蓋20固定，軸承座19與第一齒輪24有鍵與鍵槽嚙合，也相對固定，在下箱體28轉(zhuǎn)動時(shí)，軸承座19與第一齒輪24是靜止的，導(dǎo)致第二齒輪29會圍繞第一齒輪24轉(zhuǎn)動，同時(shí)第三齒輪27會圍繞第二齒輪29轉(zhuǎn)動，會形成下箱體28圍繞軸11轉(zhuǎn)動，第三齒輪27帶動磁控管裝配26轉(zhuǎn)動，在下箱體28轉(zhuǎn)動時(shí)會使星形圈30與軸承座19摩擦。
[0005]圖1中驅(qū)動裝置的密封方式為:腔體33內(nèi)充滿水，齒輪箱裝配23內(nèi)為大氣，無水。如圖2所示，驅(qū)動裝置通過軸11與密封圈34之間的靜密封以及軸承座19與星形圈30之間的動密封從而防止腔體33內(nèi)的水進(jìn)入到齒輪箱裝配23內(nèi)部。
[0006]當(dāng)軸11帶動齒輪箱裝配23轉(zhuǎn)動時(shí)，星形圈30相對軸承座19轉(zhuǎn)動，通過星形圈30與軸承座19之間的緊密接觸使水不能滲到齒輪箱裝配23內(nèi)部，但由于軸承座19與星形圈30始終在摩擦，軸承座19通常采用金屬材料，星形圈30采用橡膠材質(zhì)，長時(shí)間的非金屬與金屬摩擦，金屬件表面無法達(dá)到鏡面，使密封圈持續(xù)的磨損，當(dāng)磨損到一定量的時(shí)候就會出現(xiàn)密封不住的現(xiàn)象。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，提供一種驅(qū)動裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)。該驅(qū)動裝置能在齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動下轉(zhuǎn)動時(shí)，使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，從而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動時(shí)能夠確保對齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
[0008]本實(shí)用新型提供一種驅(qū)動裝置，用于驅(qū)動磁控管轉(zhuǎn)動，包括:動力帶動機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)，所述動力帶動機(jī)構(gòu)包括動力源和軸，所述動力源連接所述軸，且所述動力源用于帶動所述軸轉(zhuǎn)動;所述齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述動力帶動機(jī)構(gòu)，且所述齒輪箱機(jī)構(gòu)能在所述軸的帶動下轉(zhuǎn)動，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)包括動密封件，所述動力帶動機(jī)構(gòu)包括密封保護(hù)件，所述密封保護(hù)件與所述動密封件相對應(yīng)設(shè)置，用于在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動時(shí)對所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。
[0009]優(yōu)選地，所述動力帶動機(jī)構(gòu)還包括第一軸承座和設(shè)置在所述第一軸承座內(nèi)的第一軸承，所述軸與所述第一軸承相適配并配合；
[0010]所述齒輪箱機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置有開口的箱體、設(shè)置在所述箱體內(nèi)對應(yīng)所述箱體開口位置的第二軸承座和設(shè)置在所述第二軸承座內(nèi)的第二軸承，所述軸穿過所述箱體開口與所述第二軸承相適配并配合；
[0011]所述動密封件包括第一密封圈，所述密封保護(hù)件包括陶瓷環(huán)，所述第一密封圈設(shè)置在所述箱體開口的側(cè)壁上，所述陶瓷環(huán)設(shè)置在所述第一軸承座的背對所述軸的外側(cè)面上，所述第一密封圈和所述陶瓷環(huán)相面對并貼合，所述第一密封圈能在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動時(shí)與所述陶瓷環(huán)相對滑動，以對轉(zhuǎn)動的所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。
[0012]優(yōu)選地，所述陶瓷環(huán)的表面粗糙度范圍為0.2-0.4μπι。
[0013]優(yōu)選地，所述第一密封圈包括星形密封圈。
[0014]優(yōu)選地，所述第二軸承座與所述第一軸承座的端部對接，且所述第二軸承座與所述第一軸承座的對接的端部通過第一連接件連接。
[0015]優(yōu)選地，所述第一軸承座的與其對接端相對的一端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第一凸臺，所述第二軸承座的對接端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第二凸臺，所述第一凸臺和所述第二凸臺相對，且所述第一凸臺和所述第二凸臺圍設(shè)形成的空間內(nèi)用于容置所述陶瓷環(huán)。
[0016]優(yōu)選地，所述第一凸臺和所述第二凸臺之間的間距等于所述陶瓷環(huán)的環(huán)面的寬度。
[0017]優(yōu)選地，所述第一凸臺的面對所述第二凸臺的臺面上開設(shè)有第一凹槽，所述第一凹槽內(nèi)設(shè)置有第二密封圈，所述第二密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。
[0018]優(yōu)選地，所述第二凸臺的面對所述第一凸臺的臺面上開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽內(nèi)設(shè)置有第三密封圈，所述第三密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。
[0019]本實(shí)用新型還提供一種磁控設(shè)備，包括上述驅(qū)動裝置，還包括磁控管，所述驅(qū)動裝置中的齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述磁控管，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動所述磁控管轉(zhuǎn)動。
[0020]本實(shí)用新型還提供一種磁控濺射系統(tǒng)，包括上述磁控設(shè)備。
[0021]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型所提供的驅(qū)動裝置，通過設(shè)置密封保護(hù)件，當(dāng)齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動下轉(zhuǎn)動時(shí)，該密封保護(hù)件和動密封件能通過相互之間的緊密接觸和相對摩擦轉(zhuǎn)動從而對齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封，也即能使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，進(jìn)而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動時(shí)能夠確保對齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
[0022]本實(shí)用新型所提供的磁控設(shè)備，通過采用上述驅(qū)動裝置，提高了該磁控設(shè)備的密封性能，從而提高了該磁控設(shè)備運(yùn)行的可靠性。
[0023]本實(shí)用新型所提供的磁控濺射系統(tǒng)，通過采用上述磁控設(shè)備，不僅提高了該磁控濺射系統(tǒng)的濺射率，而且提高了該磁控濺射系統(tǒng)運(yùn)行的可靠性。
【附圖說明】
[0024]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0025]圖2為對圖1中的I部分放大后的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0026]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1中驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0027]圖4為對圖3中動力帶動機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)連接處的密封保護(hù)件和動密封件放大后的結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0028]其中的附圖標(biāo)記說明:
[0029]1.動力帶動機(jī)構(gòu)；11.軸；100.磁控管；12.第一軸承座；121.第一凸臺；2.齒輪箱機(jī)構(gòu);21.箱體;210.開口；22.第二軸承座;221.第二凸臺；31.第一密封圈；32.陶瓷環(huán);4.第一連接件;5.第二密封圈;6.第三密封圈;7.電機(jī);71.電機(jī)支架;8.小同步帶輪;9.大帶輪;10.同步帶；15.上軸承座；16.向心軸承；17.支撐件；18.軸承；19.軸承座；20.上電極上蓋;23.齒輪箱裝配;24.第一齒輪;25.鍵;26.磁控管裝配;27.第三齒輪;28.下箱體;29.第二齒輪；30.星形圈；33.腔體;34.密封圈。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型所提供的一種驅(qū)動裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0031]實(shí)施例1:
[0032]本實(shí)施例提供一種驅(qū)動裝置，如圖3和圖4所示，用于驅(qū)動磁控管100轉(zhuǎn)動，包括:動力帶動機(jī)構(gòu)I和齒輪箱機(jī)構(gòu)2，動力帶動機(jī)構(gòu)I包括動力源(圖中未示出)和軸11，動力源連接軸11，且動力源用于帶動軸11轉(zhuǎn)動；齒輪箱機(jī)構(gòu)2連接動力帶動機(jī)構(gòu)I，且齒輪箱機(jī)構(gòu)2能在軸11的帶動下轉(zhuǎn)動，齒輪箱機(jī)構(gòu)2包括動密封件，動力帶動機(jī)構(gòu)I包括密封保護(hù)件，密封保護(hù)件與動密封件相對應(yīng)設(shè)置，用于在齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11轉(zhuǎn)動時(shí)對齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成密封。
[0033]本實(shí)施例中的密封保護(hù)件和動密封件指的是當(dāng)齒輪箱機(jī)構(gòu)2在軸11的帶動下轉(zhuǎn)動時(shí)，該密封保護(hù)件和動密封件能通過相互之間的緊密接觸和相對摩擦轉(zhuǎn)動從而對齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成密封，也即能使齒輪箱機(jī)構(gòu)2外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部，進(jìn)而在齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11轉(zhuǎn)動時(shí)能夠確保對齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成很好的密封。
[0034]需要說明的是，動力源可以以任何形式帶動軸11轉(zhuǎn)動。如動力源為電機(jī)，電機(jī)能夠通過皮帶帶動軸11轉(zhuǎn)動，即電機(jī)的軸連接一個皮帶輪，軸11的一端連接另一個皮帶輪，兩個皮帶輪之間通過皮帶連接，電機(jī)的軸轉(zhuǎn)動時(shí)，能帶動其連接的皮帶輪轉(zhuǎn)動，從而帶動皮帶轉(zhuǎn)動，繼而帶動連接在軸11一端上的皮帶輪轉(zhuǎn)動，最后帶動軸11轉(zhuǎn)動。當(dāng)然，動力源也可以直接與軸11連接，并帶動軸11轉(zhuǎn)動。
[0035]本實(shí)施例中，動力帶動機(jī)構(gòu)I還包括第一軸承座12和設(shè)置在第一軸承座12內(nèi)的第一軸承(圖中未示出)，軸11與第一軸承相適配并配合。第一軸承座12和第一軸承的設(shè)置，能使軸11與動力源很好地連接，從而使軸11能夠在動力源的帶動下轉(zhuǎn)動。齒輪箱機(jī)構(gòu)2還包括設(shè)置有開口 210的箱體21、設(shè)置在箱體21內(nèi)對應(yīng)箱體開口 210位置的第二軸承座22和設(shè)置在第二軸承座22內(nèi)的第二軸承(圖中未示出)，軸11穿過箱體開口210與第二軸承相適配并配合。第二軸承座22和第二軸承的設(shè)置，能使軸11與齒輪箱機(jī)構(gòu)2很好地連接，從而使齒輪箱機(jī)構(gòu)2能夠在軸11的帶動下轉(zhuǎn)動。動密封件包括第一密封圈31，密封保護(hù)件包括陶瓷環(huán)32，第一密封圈31設(shè)置在箱體開口 210的側(cè)壁上，陶瓷環(huán)32設(shè)置在第一軸承座12的背對軸11的外側(cè)面上，第一密封圈31和陶瓷環(huán)32相面對并貼合，第一密封圈31能在齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11轉(zhuǎn)動時(shí)與陶瓷環(huán)32相對滑動，以對轉(zhuǎn)動的齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成密封。由于第一密封圈31與陶瓷環(huán)32相互貼合，且在轉(zhuǎn)動時(shí)二者也緊密貼合，所以能夠?qū)X輪箱機(jī)構(gòu)2的箱體21內(nèi)部形成動密封，從而防止箱體21外部的介質(zhì)滲入到箱體21內(nèi)部。
[0036]需要說明的是，陶瓷環(huán)32采用陶瓷材質(zhì)，陶瓷材質(zhì)的陶瓷環(huán)32具有較好的耐磨性，能夠使與其相互貼合并相對滑動摩擦的第一密封圈31不容易被磨損，從而確保了第一密封圈31良好的密封效果。
[0037]本實(shí)施例中，陶瓷環(huán)32的表面粗糙度范圍為0.2-0.4μπι。該粗糙度的陶瓷環(huán)32表面非常光滑，能夠進(jìn)一步減小陶瓷環(huán)32與第一密封圈31之間的相對摩擦，從而進(jìn)一步減小第一密封圈31的摩擦損耗，進(jìn)而確保第一密封圈31對齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部的密封效果。
[0038]本實(shí)施例中，第一密封圈31采用星形密封圈。星形密封圈也稱X形密封圈，指密封圈的縱切面呈X形。星形密封圈能夠減少密封圈與陶瓷環(huán)32的接觸面積，從而減小二者之間的相對摩擦阻力，進(jìn)而不僅能夠?qū)X輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成很好的密封，而且還能使齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11更加省力地轉(zhuǎn)動，最大程度地減小摩擦損耗，節(jié)約動力帶動機(jī)構(gòu)I的能量。
[0039]另外需要說明的是，箱體開口210的側(cè)壁上開設(shè)有凹槽，第一密封圈31鑲嵌在該凹槽中。如此設(shè)置，能使第一密封圈31的位置固定，以便與陶瓷環(huán)32相面對并貼合。
[0040]箱體21內(nèi)部用來容納齒輪，箱體21內(nèi)部的介質(zhì)為大氣，箱體21外部的介質(zhì)為水，第一密封圈31和陶瓷環(huán)32的設(shè)置能夠防止水滲入到箱體21內(nèi)部，對齒輪的運(yùn)轉(zhuǎn)造成故障或損壞。
[0041 ]本實(shí)施例中，第二軸承座22與第一軸承座12的端部對接，且第二軸承座22與第一軸承座12的對接的端部通過第一連接件4連接。如此設(shè)置，能夠確保動力帶動機(jī)構(gòu)I和齒輪箱機(jī)構(gòu)2緊密貼合，以防止箱體21外部的水通過第二軸承滲入到箱體21內(nèi)部；同時(shí)還能確保動力帶動機(jī)構(gòu)I和齒輪箱機(jī)構(gòu)2的連接更加牢固，從而使軸11能夠更加穩(wěn)固地帶動齒輪箱機(jī)構(gòu)2轉(zhuǎn)動。
[0042]其中，第一連接件4采用螺釘或螺栓，第二軸承座22和第一軸承座12的對接的端部開設(shè)有螺孔，螺釘或螺栓貫穿在螺孔中，從而實(shí)現(xiàn)對第二軸承座22和第一軸承座12的連接固定。
[0043]本實(shí)施例中，第一軸承座12的與其對接端相對的一端向遠(yuǎn)離軸11方向延伸形成第一凸臺121，第二軸承座22的對接端向遠(yuǎn)離軸11方向延伸形成第二凸臺221，第一凸臺121和第二凸臺221相對，且第一凸臺121和第二凸臺221圍設(shè)形成的空間內(nèi)用于容置陶瓷環(huán)32。如此設(shè)置，能夠避免第一密封圈31與第一軸承座12相貼合，從而避免第一密封圈31與第一軸承座12之間產(chǎn)生相對滑動摩擦，進(jìn)而避免第一密封圈31與金屬材質(zhì)的第一軸承座12相互摩擦，導(dǎo)致第一密封圈31摩擦受損，密封不良。
[0044]其中，第一凸臺121和第二凸臺221之間的間距等于陶瓷環(huán)32的環(huán)面的寬度。如此設(shè)置，能使陶瓷環(huán)32恰好容納于由第一凸臺121和第二凸臺221圍設(shè)形成的空間內(nèi)，同時(shí)，第一凸臺121和第二凸臺221能夠?qū)⑻沾森h(huán)32夾緊固定，從而使陶瓷環(huán)32的位置不會發(fā)生移動，進(jìn)而確保第一密封圈31能夠始終保持與陶瓷環(huán)32位置相對應(yīng)并緊密貼合。
[0045]本實(shí)施例中，第一凸臺121的面對第二凸臺221的臺面上開設(shè)有第一凹槽，第一凹槽內(nèi)設(shè)置有第二密封圈5，第二密封圈5用于阻止齒輪箱機(jī)構(gòu)2外部的介質(zhì)滲入到齒輪箱機(jī)構(gòu)2的內(nèi)部。第二密封圈5的設(shè)置，能夠進(jìn)一步加強(qiáng)對齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部的密封效果。
[0046]本實(shí)施例中，第二凸臺221的面對第一凸臺121的臺面上開設(shè)有第二凹槽，第二凹槽內(nèi)設(shè)置有第三密封圈6，第三密封圈6用于阻止齒輪箱機(jī)構(gòu)2外部的介質(zhì)滲入到齒輪箱機(jī)構(gòu)2的內(nèi)部。第三密封圈6的設(shè)置，能夠進(jìn)一步加強(qiáng)對齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部的密封效果。
[0047]實(shí)施例1的有益效果:實(shí)施例1中所提供的驅(qū)動裝置，通過設(shè)置密封保護(hù)件，當(dāng)齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動下轉(zhuǎn)動時(shí)，該密封保護(hù)件和動密封件能通過相互之間的緊密接觸和相對摩擦轉(zhuǎn)動從而對齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封，也即能使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，進(jìn)而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動時(shí)能夠確保對齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
[0048]實(shí)施例2:
[0049]本實(shí)施例提供一種磁控設(shè)備，包括實(shí)施例1中的驅(qū)動裝置，還包括磁控管，驅(qū)動裝置中的齒輪箱機(jī)構(gòu)連接磁控管，齒輪箱機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動磁控管轉(zhuǎn)動。
[0050]具體地，齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部的齒輪與磁控管連接，齒輪箱機(jī)構(gòu)能在驅(qū)動裝置中的動力帶動機(jī)構(gòu)的帶動下轉(zhuǎn)動，從而帶動磁控管轉(zhuǎn)動。磁控管轉(zhuǎn)動能夠形成轉(zhuǎn)動的磁場，該磁場用于在磁控濺射過程中提高濺射率。
[0051]通過采用實(shí)施例1中的驅(qū)動裝置，提高了該磁控設(shè)備的密封性能，從而提高了該磁控設(shè)備運(yùn)行的可靠性。
[0052]實(shí)施例3:
[0053]本實(shí)施例提供一種磁控濺射系統(tǒng)，包括實(shí)施例2中的磁控設(shè)備。
[0054]通過采用實(shí)施例2中的磁控設(shè)備，不僅提高了該磁控濺射系統(tǒng)的濺射率，而且提高了該磁控濺射系統(tǒng)運(yùn)行的可靠性。
[0055]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種驅(qū)動裝置，用于驅(qū)動磁控管轉(zhuǎn)動，包括:動力帶動機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)，所述動力帶動機(jī)構(gòu)包括動力源和軸，所述動力源連接所述軸，且所述動力源用于帶動所述軸轉(zhuǎn)動;所述齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述動力帶動機(jī)構(gòu)，且所述齒輪箱機(jī)構(gòu)能在所述軸的帶動下轉(zhuǎn)動，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)包括動密封件，其特征在于，所述動力帶動機(jī)構(gòu)包括密封保護(hù)件，所述密封保護(hù)件與所述動密封件相對應(yīng)設(shè)置，用于在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動時(shí)對所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述動力帶動機(jī)構(gòu)還包括第一軸承座和設(shè)置在所述第一軸承座內(nèi)的第一軸承，所述軸與所述第一軸承相適配并配合； 所述齒輪箱機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置有開口的箱體、設(shè)置在所述箱體內(nèi)對應(yīng)所述箱體開口位置的第二軸承座和設(shè)置在所述第二軸承座內(nèi)的第二軸承，所述軸穿過所述箱體開口與所述第二軸承相適配并配合； 所述動密封件包括第一密封圈，所述密封保護(hù)件包括陶瓷環(huán)，所述第一密封圈設(shè)置在所述箱體開口的側(cè)壁上，所述陶瓷環(huán)設(shè)置在所述第一軸承座的背對所述軸的外側(cè)面上，所述第一密封圈和所述陶瓷環(huán)相面對并貼合，所述第一密封圈能在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動時(shí)與所述陶瓷環(huán)相對滑動，以對轉(zhuǎn)動的所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述陶瓷環(huán)的表面粗糙度范圍為0.2-0.4μπιο4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一密封圈包括星形密封圈。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第二軸承座與所述第一軸承座的端部對接，且所述第二軸承座與所述第一軸承座的對接的端部通過第一連接件連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一軸承座的與其對接端相對的一端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第一凸臺，所述第二軸承座的對接端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第二凸臺，所述第一凸臺和所述第二凸臺相對，且所述第一凸臺和所述第二凸臺圍設(shè)形成的空間內(nèi)用于容置所述陶瓷環(huán)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一凸臺和所述第二凸臺之間的間距等于所述陶瓷環(huán)的環(huán)面的寬度。8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一凸臺的面對所述第二凸臺的臺面上開設(shè)有第一凹槽，所述第一凹槽內(nèi)設(shè)置有第二密封圈，所述第二密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第二凸臺的面對所述第一凸臺的臺面上開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽內(nèi)設(shè)置有第三密封圈，所述第三密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。10.—種磁控設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的驅(qū)動裝置，還包括磁控管，所述驅(qū)動裝置中的齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述磁控管，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動所述磁控管轉(zhuǎn)動。11.一種磁控濺射系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求10所述的磁控設(shè)備。
【文檔編號】C23C14/35GK205529014SQ201620284296
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年4月7日
【發(fā)明人】王濤
【申請人】北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司