一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，包括鋁制真空箱體；在真空箱體內(nèi)部的豎直方向上平行的設(shè)置若干鋁制電極板，在豎直方向上鋁制電極板按照陽(yáng)極、陰極間隔設(shè)置且兩端最外側(cè)的鋁制電極板均為陽(yáng)極；在真空箱體內(nèi)部的水平方向上平行的設(shè)置若干層鋁制電極板，每一層均為陽(yáng)極；水平方向上的鋁制電極板和豎直方向上的鋁制電極板形成若干治具間；在每個(gè)治具間的水平方向上的鋁制電極板上設(shè)有治具絕緣支架，治具絕緣支架上固定有載板；在真空箱體的頂部設(shè)有電極饋入接頭，其穿過(guò)真空箱體與其內(nèi)部作為陰極的鋁制電極板相連，本實(shí)用新型能批量處理待處理的產(chǎn)品，并且同時(shí)能夠保證產(chǎn)品處理效果和均勻性，操作簡(jiǎn)單，提高了產(chǎn)能。
【專利說(shuō)明】
一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于電路板等離子清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，業(yè)界常見(jiàn)的真空等離子清洗機(jī)采用的電極為水平式，多層，陰極和陽(yáng)極對(duì)稱型，這種結(jié)構(gòu)的電極在處理金屬引線框架(Metal lead frame)、電路板(PCB/FPC)、IC載板(IC substrate)時(shí)，通常采用兩種方式:一種是在電極之間加一層托架，然后依靠人工把產(chǎn)品單片放置在托架上進(jìn)行處理，優(yōu)點(diǎn)是處理效果和均勻性都好，缺點(diǎn)是取放時(shí)間長(zhǎng)，員工操作頻繁，產(chǎn)能低；另一種是把需要處理的產(chǎn)品裝在料盒(治具)里面，料盒放在兩層電極之間，料盒與電極絕緣，這種處理的優(yōu)點(diǎn)是取放時(shí)間短，員工操作方便，產(chǎn)能高，缺點(diǎn)是放在料盒中間的產(chǎn)品處理效果不好，尤其是均勻性很差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)現(xiàn)有的水平式電極不適合整批處理料盒，產(chǎn)能低下的不足，本實(shí)用新型提供一種組合柜式電極，該結(jié)構(gòu)的電極不僅能夠多批次處理料盒，而且能保證產(chǎn)品處理效果和均勾性，提尚廣能。
[0004]本實(shí)用新型的上述技術(shù)問(wèn)題主要是通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決的:
[0005]本實(shí)用新型的一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，包括鋁制真空箱體;在真空箱體內(nèi)部的豎直方向上平行的設(shè)置若干鋁制電極板，在豎直方向上鋁制電極板按照陽(yáng)極、陰極間隔設(shè)置且兩端最外側(cè)的鋁制電極板均為陽(yáng)極;在真空箱體內(nèi)部的水平方向上平行的設(shè)置若干層鋁制電極板，每一層均為陽(yáng)極;水平方向上的鋁制電極板和豎直方向上的鋁制電極板形成若干治具間；在每個(gè)治具間的水平方向上的鋁制電極板上設(shè)有治具絕緣支架，治具絕緣支架上固定有載板;在真空箱體的頂部設(shè)有電極饋入接頭，其穿過(guò)真空箱體與其內(nèi)部作為陰極的鋁制電極板相連。
[0006]作為優(yōu)選，所述電極饋入接頭外包裹有絕緣材料，將其與鋁制真空箱體隔開(kāi)。
[0007]作為優(yōu)選，所述電極饋入接頭的數(shù)量至少為兩個(gè)。
[0008]作為優(yōu)選，作為陽(yáng)極的鋁制電極板與作為陰極的鋁制電極板相互接觸的部分通過(guò)絕緣材料隔開(kāi)。
[0009]作為優(yōu)選，所述絕緣材料為陶瓷或特氟隆。
[0010]作為優(yōu)選，所述鋁制電極板上設(shè)有排列規(guī)則的孔洞。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型能夠批量處理待處理的產(chǎn)品，并且同時(shí)能夠保證產(chǎn)品處理效果和均勻性，操作簡(jiǎn)單，提高了產(chǎn)能。
【附圖說(shuō)明】
[0012]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型的截面圖；
[0015]圖3為本實(shí)用新型內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0017]如圖1至圖3所示，一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，包括鋁制真空箱體I;在真空箱體I內(nèi)部的豎直方向上平行的設(shè)置若干鋁制電極板2，在豎直方向上鋁制電極板2按照陽(yáng)極、陰極間隔設(shè)置且兩端最外側(cè)的鋁制電極板2均為陽(yáng)極，即相鄰的兩個(gè)鋁制電極板2的極性相反，并且兩邊最外側(cè)的鋁制電極板2均作為陽(yáng)極(作為陽(yáng)極或者陰極的鋁制電極板2均采用相同的材質(zhì)和結(jié)構(gòu)，只是由于所接電位不同分為陰極、陽(yáng)極)；例如，可以根據(jù)需要在豎直方向上設(shè)置三層鋁制電極板2，按照“陽(yáng)-陰-陽(yáng)”的順序排列，也可以設(shè)置五層鋁制電極板2，按照“陽(yáng)-陰-陽(yáng)-陰-陽(yáng)”的順序排列，以此類推。在真空箱體I內(nèi)部的水平方向上平行的設(shè)置若干層鋁制電極板2，每一層均為陽(yáng)極;水平方向上的鋁制電極板2和豎直方向上的鋁制電極板2形成若干治具間3;在每個(gè)治具間3的水平方向上的鋁制電極板2上設(shè)有治具絕緣支架4，治具絕緣支架4上固定有載板5;在真空箱體I的頂部設(shè)有電極饋入接頭6，其穿過(guò)真空箱體I與其內(nèi)部作為陰極的鋁制電極板2相連(電極饋入接頭6在真空箱體的內(nèi)部與所有的作為陰極的鋁制電極板相連)，作為陽(yáng)極的鋁制電極板2與作為陰極的鋁制電極板2在真空箱體I內(nèi)相互之間以及與框架等處的接觸點(diǎn)均用絕緣材料隔開(kāi)。
[0018]進(jìn)一步的，所述電極饋入接頭6外包裹有絕緣材料，將其與鋁制真空箱體I隔開(kāi)。
[0019]進(jìn)一步的，所述絕緣材料為陶瓷或特氟隆。
[0020]進(jìn)一步的，所述鋁制電極板2上設(shè)有排列規(guī)則的孔洞。
[0021]使用的時(shí)候，通過(guò)設(shè)在真空箱體I內(nèi)部的抽真空管道8(該管道與外部連通)將真空箱體I內(nèi)部抽真空，將產(chǎn)品治具7(該產(chǎn)品治具7為料盒，需要處理的產(chǎn)品放在其中)放到載板5上，將電極饋入接頭6接入射頻，即將所有作為陰極的鋁制電極板2接射頻，作為陽(yáng)極的鋁制電極板2均接地，利用等離子轟擊的原理對(duì)產(chǎn)品治具7中的待處理產(chǎn)品(待處理產(chǎn)品可以是金屬引線框架、PCB/FPC、IC載板等)進(jìn)行處理，其特點(diǎn)是轟擊的離子能量越大越好，而離子能量受到鞘層偏壓的影響，鞘層偏壓與電極面積和結(jié)構(gòu)密切相關(guān)，本實(shí)用新型提供的電極由于陰極(接射頻，電極饋入)的面積小于陽(yáng)極(地極)面積，使得兩個(gè)電極附近的射頻鞘層是非對(duì)稱的，即陰極(接射頻，電極饋入)鞘層上的瞬時(shí)電壓大于陽(yáng)極(地極)鞘層上的瞬時(shí)電壓，鞘層電勢(shì)能加速單能離子，提高了離子轟擊的能量，同時(shí)相對(duì)獨(dú)立的電極結(jié)構(gòu)保證了同一批次的待處理產(chǎn)品的處理的均勻性好。
[0022]以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何不經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性勞動(dòng)想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)所限定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，其特征在于:包括鋁制真空箱體(I);在真空箱體(I)內(nèi)部的豎直方向上平行的設(shè)置若干鋁制電極板(2 )，在豎直方向上鋁制電極板(2 )按照陽(yáng)極、陰極間隔設(shè)置且兩端最外側(cè)的鋁制電極板(2)均為陽(yáng)極;在真空箱體(I)內(nèi)部的水平方向上平行的設(shè)置若干層鋁制電極板(2)，每一層均為陽(yáng)極;水平方向上的鋁制電極板(2 )和豎直方向上的鋁制電極板(2 )形成若干治具間(3 );在每個(gè)治具間(3 )的水平方向上的鋁制電極板(2)上設(shè)有治具絕緣支架(4)，治具絕緣支架(4)上固定有載板(5);在真空箱體(I)的頂部設(shè)有電極饋入接頭(6)，其穿過(guò)真空箱體(I)與其內(nèi)部作為陰極的鋁制電極板(2)相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，其特征在于:所述電極饋入接頭(6)外包裹有絕緣材料，將其與鋁制真空箱體(I)隔開(kāi)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，其特征在于:所述電極饋入接頭(6)的數(shù)量至少為兩個(gè)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，其特征在于:作為陽(yáng)極的鋁制電極板(2)與作為陰極的鋁制電極板(2)相互接觸的部分通過(guò)絕緣材料隔開(kāi)。5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，其特征在于:所述絕緣材料為陶瓷或特氟隆。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空等離子清洗機(jī)組合柜式電極，其特征在于，所述鋁制電極板(2)上設(shè)有排列規(guī)則的孔洞。
【文檔編號(hào)】C23G5/00GK205529055SQ201620080050
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年1月27日
【發(fā)明人】郭峰, 劉善雙, 國(guó)際瑞, 劉善石
【申請(qǐng)人】昆山普樂(lè)斯電子科技有限公司