一種用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例公開一種用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備。所述設(shè)備包括：石墨多孔氣體入口及中路氣體管道，所述中路氣體管道的一端設(shè)置于所述反應(yīng)器內(nèi)，用于將待裂解的氣體通入所述反應(yīng)器中；主體內(nèi)循環(huán)水套，用于冷卻所述中路氣體管道，其中，所述中路氣體管道穿插通過所述主體內(nèi)循環(huán)水套。本實(shí)用新型實(shí)施例通過充分冷卻中路氣體管道，使得待裂解氣體的溫度低于裂解溫度，從而基本消除了中路氣體管道管壁的沉積產(chǎn)物，也減少了待裂解氣體入口處的沉積產(chǎn)物，能夠適應(yīng)高溫條件下流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的長期和穩(wěn)定的運(yùn)行。
【專利說明】
一種用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及氣體入口設(shè)計(jì)領(lǐng)域，具體地，涉及一種用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]我國球床式高溫氣冷堆所使用的陶瓷型燃料元件，結(jié)構(gòu)為球形包覆顆粒(TRISO)，且彌散在燃料區(qū)的石墨基體中。高溫氣冷堆核電站的固有安全性的第一道保證就是所使用的核燃料為TRISO型包覆顆粒，直徑約為0.92mm，其由核燃料核芯、疏松熱解碳層、內(nèi)致密熱解碳層、碳化硅層和外致密熱解碳層組成。這種具有四層復(fù)合結(jié)構(gòu)的核燃料顆粒是在流化床中采用化學(xué)氣相沉積的方法包覆制備得到的。其中，最為關(guān)鍵的一層為碳化硅層，具有阻止裂變產(chǎn)物釋放的重要作用，該碳化硅層主要由甲基三氯硅烷(MTS)在1600攝氏度的高溫條件下裂解生成。保證該裂解-沉積工藝的穩(wěn)定運(yùn)行是TRISO型包覆顆粒制備成功的關(guān)鍵。
[0003]流化床化學(xué)氣相沉積包覆過程的特點(diǎn)是顆粒流化和氣體裂解沉積在高溫條件下同時(shí)進(jìn)行，目前的氣體入口系統(tǒng)是將待裂解氣體直接通過單孔道通入反應(yīng)器，缺點(diǎn)比較明顯，具體包括:
[0004](I)在包覆顆粒表面沉積的同時(shí)，氣體入口處的沉積也不可避免，在沉積反應(yīng)的過程中，待裂解氣體在氣體入口處不斷沉積，氣體入口的管道內(nèi)徑不斷減少，包覆顆粒流化狀態(tài)難以穩(wěn)定維持，導(dǎo)致沉積過程不是一個(gè)穩(wěn)定連續(xù)的過程，從而造成沉積層的性質(zhì)在沉積過程中前后不均一;嚴(yán)重的時(shí)候，沉積產(chǎn)物甚至?xí)怏w入口完全堵死，導(dǎo)致氣體無法進(jìn)入，沉積反應(yīng)中斷，導(dǎo)致沉積厚度無法滿足工藝設(shè)計(jì)指標(biāo)，從而產(chǎn)品作廢；
[0005](2)即使一次完整的沉積反應(yīng)完成，制備出了密度和厚度均符合設(shè)計(jì)要求的碳化硅層。反應(yīng)結(jié)束后，大量沉積產(chǎn)物附著在氣體入口，沉積產(chǎn)物很難完全去除，直接影響下一次沉積反應(yīng)的過程；
[0006](3)如果無法完全去除氣體入口處的沉積產(chǎn)物，在下一次沉積反應(yīng)時(shí)需要更換新的管道。具體地，需要將氣體入口系統(tǒng)的單孔金屬管道拆除，更換非常困難，且代價(jià)較高。
[0007]為保證流化床化學(xué)氣相沉積工藝的穩(wěn)定運(yùn)行，具體需要:
[0008](I)在流化-裂解-沉積反應(yīng)過程中最大限度的減少氣體入口處的沉積產(chǎn)物；
[0009](2)在一次沉積反應(yīng)結(jié)束后，下一次沉積反應(yīng)之前，需要很容易地去除掉氣體入口處的沉積產(chǎn)物；
[0010](3)如果氣體入口處的沉積產(chǎn)物完全去除時(shí)孔口有損傷，需要以較少的代價(jià)且較容易更換氣體入口。
[0011]因此，特別需要一種適應(yīng)于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0012]本實(shí)用新型實(shí)施例的目的是提供一種用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備。所述設(shè)備通過充分冷卻中路氣體管道，使得待裂解氣體的溫度低于裂解溫度，從而基本消除了中路氣體管道管壁的沉積產(chǎn)物，也減少了待裂解氣體入口處的沉積產(chǎn)物，能夠適應(yīng)高溫條件下流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的長期和穩(wěn)定的運(yùn)行。
[0013]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備。所述設(shè)備包括:中路氣體管道，所述中路氣體管道的一端設(shè)置于所述反應(yīng)器內(nèi)，用于將待裂解的氣體通入所述反應(yīng)器中；主體內(nèi)循環(huán)水套，用于冷卻所述中路氣體管道，其中，所述中路氣體管道穿插通過所述主體內(nèi)循環(huán)水套。
[0014]可選地，所述主體內(nèi)循環(huán)水套呈圓筒狀，且所述主體內(nèi)循環(huán)水套內(nèi)設(shè)置有水流隔板，使得冷水由所述主體內(nèi)循環(huán)水套的內(nèi)側(cè)流進(jìn)，經(jīng)所述主體內(nèi)循環(huán)水套的頂端由所述主體內(nèi)循環(huán)水套的外側(cè)流出。
[0015]可選地，所述主體內(nèi)循環(huán)水套與所述中路氣體管道之間設(shè)置有間隔，以形成環(huán)路氣體冷卻通道。
[0016]可選地，所述中路氣體管道包括中路氣體主管和金屬短管，所述中路氣體主管和所述金屬短管之間采用螺紋連接在一起，且所述金屬短管的一端設(shè)置于所述反應(yīng)器內(nèi)。
[0017]可選地，所述中路氣體主管由不銹鋼制成。
[0018]可選地，所述金屬短管由金屬鉬或金屬鎢制成。
[0019]可選地，所述中路氣體主管與所述金屬短管的螺紋連接處低于所述主體內(nèi)循環(huán)水套的頂端。
[0020]可選地，所述設(shè)備還包括:石墨隔熱套，與所述反應(yīng)器和所述主體內(nèi)循環(huán)水套連接，用于隔離所述反應(yīng)器和所述主體內(nèi)循環(huán)水套周圍的熱源。
[0021 ] 可選地，所述設(shè)備還包括:多孔石墨氣體分配器，設(shè)置于所述反應(yīng)器的底部，用于使得所述環(huán)路氣體冷卻通道和所述中路氣體管道與所述反應(yīng)器連通。
[0022]可選地，所述多孔石墨氣體分配器設(shè)置有多個(gè)均勻分布的環(huán)路孔道及中心孔道，所述環(huán)路孔道與所述環(huán)路氣體冷卻通道連通，所述中心孔道與所述中路氣體管道連通，且所述環(huán)路孔道與通過擠壓插入所述多孔石墨氣體分配器的中路氣體管道的外側(cè)壁面圓相切或相交。
[0023]通過上述技術(shù)方案，充分冷卻中路氣體管道，使得待裂解氣體的溫度低于裂解溫度，從而基本消除了中路氣體管道管壁的沉積產(chǎn)物，也減少了待裂解氣體入口處的沉積產(chǎn)物，能夠適應(yīng)高溫條件下流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的長期和穩(wěn)定的運(yùn)行。
【附圖說明】
[0024]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的氣體入口設(shè)備的剖面示意圖；
[0026]圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的氣體入口設(shè)備的多孔石墨氣體分配器的剖面示意圖；
[0027]圖3是圖2沿上端A-A’處的剖面示意圖；
[0028]圖4是圖2沿下端B-B’處的剖面示意圖；
[0029]圖5是本實(shí)用新型另一實(shí)施例的氣體入口設(shè)備的多孔石墨氣體分配器的剖面示意圖；
[0030]圖6是圖5沿上端A-A’處的剖面示意圖；
[0031]圖7是圖5沿下端B-B’處的剖面示意圖。
[0032]附圖標(biāo)記說明
[0033]I主體內(nèi)循環(huán)水套2水流隔板 3環(huán)路氣體冷卻通道
[0034]4中路氣體主管 5石墨隔熱套6多孔石墨氣體分配器
[0035]7噴動(dòng)流化床 8金屬短管 9中心孔道 10環(huán)路孔道
[0036]11凸起12螺紋連接處
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0038]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的氣體入口設(shè)備的剖面示意圖。如圖1所示，本實(shí)用新型一實(shí)施例的氣體入口設(shè)備包括:中路氣體管道，所述中路氣體管道的一端設(shè)置于所述反應(yīng)器內(nèi)，用于將待裂解的氣體通入所述反應(yīng)器中；主體內(nèi)循環(huán)水套I，用于冷卻所述中路氣體管道，其中，所述中路氣體管道穿插通過所述主體內(nèi)循環(huán)水套I ο具體地，所述反應(yīng)器為噴動(dòng)流化床7。本實(shí)施例通過充分冷卻中路氣體管道，使得待裂解氣體的溫度低于裂解溫度，從而基本消除了中路氣體管道管壁的沉積產(chǎn)物，也減少了待裂解氣體入口處的沉積產(chǎn)物，能夠適應(yīng)高溫條件下流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的長期和穩(wěn)定的運(yùn)行。
[0039]其中，所述主體內(nèi)循環(huán)水套I的橫截面為環(huán)形，更為具體地，主體內(nèi)循環(huán)水套I呈圓筒狀，而且所述主體內(nèi)循環(huán)水套I內(nèi)設(shè)置有水流隔板2，使得冷水由所述主體內(nèi)循環(huán)水套I的內(nèi)側(cè)流進(jìn)，經(jīng)所述主體內(nèi)循環(huán)水套I的頂端由所述主體內(nèi)循環(huán)水套I的外側(cè)流出，如圖1所示。這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得主體內(nèi)循環(huán)水套I具有兩層水冷，即內(nèi)側(cè)水冷和外側(cè)水冷，從而保證了所述中路氣體管道的整體冷卻效果。
[0040]在具體的實(shí)施方式中，所述中路氣體管道包括中路氣體主管4和金屬短管8，所述中路氣體主管4和所述金屬短管8之間采用螺紋連接在一起，且所述金屬短管8的一端設(shè)置于所述反應(yīng)器內(nèi)。具體地，所述中路氣體管道分為兩段，即中路氣體主管4和金屬短管8，且所述中路氣體管道4的內(nèi)徑和所述金屬短管8的內(nèi)徑相同，而不會(huì)在所述中路氣體主管4和所述金屬短管8的螺紋連接處12的內(nèi)壁形成凹凸處。優(yōu)選地，所述中路氣體主管4由不銹鋼制成，易于加工。優(yōu)選地，所述金屬短管8由金屬鉬或金屬鎢制成。藉此，所述金屬短管能夠長期在噴動(dòng)流化床內(nèi)的較高溫度下使用不會(huì)變形。
[0041]優(yōu)選地，所述中路氣體主管4與所述金屬短管8的螺紋連接處12低于所述主體內(nèi)循環(huán)水套I的頂端。藉此，能夠確保中路氣體主管被充分冷卻，從而減少了中路氣體主管管壁的沉積產(chǎn)物。
[0042]優(yōu)選地，所述設(shè)備還包括:石墨隔熱套5，與所述反應(yīng)器和所述主體內(nèi)循環(huán)水套I連接，用于隔離所述反應(yīng)器和所述主體內(nèi)循環(huán)水套周圍的熱源。具體地，所述石墨隔熱套5的兩端設(shè)置有螺紋，所述石墨隔熱套5通過螺紋與所述噴動(dòng)流化床7和所述主體內(nèi)循環(huán)水套I連接，從而噴動(dòng)流化床7、石墨隔熱套5以及主體內(nèi)循環(huán)水套I能夠形成連接結(jié)實(shí)且不漏氣的整體。此外，石墨隔熱套5具有耐高溫的特性，能夠隔離所述噴動(dòng)流化床7和所述主體內(nèi)循環(huán)水套I周圍的熱源，保證了所述中路氣體管道的整體冷卻效果。
[0043]優(yōu)選地，所述主體內(nèi)循環(huán)水套I與所述中路氣體管道之間設(shè)置有間隔，以形成環(huán)路氣體冷卻通道3。具體地，所述環(huán)路氣體冷卻通道3可用于將輔助氣體通入所述噴動(dòng)流化床
7。藉此，不僅能夠進(jìn)一步冷卻中路氣體管道，而且還能夠流化噴動(dòng)流化床中的核燃料顆粒。
[0044]優(yōu)選地，所述設(shè)備還包括:多孔石墨氣體分配器6，設(shè)置于所述反應(yīng)器的底部，用于使得所述環(huán)路氣體冷卻通道和所述中路氣體管道與所述反應(yīng)器連通。具體地，所述噴動(dòng)流化床7的底部設(shè)置有孔道和凸起11，使得所述多孔石墨氣體分配器6能夠恰好放入并卡住。更為具體地，所述多孔石墨氣體分配器6與所述噴動(dòng)流化床7通過擠壓直接緊密接觸并被卡住。擠壓的力量來源于所述噴動(dòng)流化床7和所述石墨隔熱套5之間的螺紋連接。多孔石墨氣體分配器6的孔口的沉積產(chǎn)物容易打磨去除，且所述多孔石墨氣體分配器6更換容易，非常經(jīng)濟(jì)。此外，多孔石墨氣體分配器6具有耐高溫的特性，適應(yīng)于噴動(dòng)流化床7的高溫條件。
[0045]在具體的應(yīng)用中，所述多孔石墨氣體分配器6設(shè)置有多個(gè)均勻分布的環(huán)路孔道10及中心孔道9，所述環(huán)路孔道10與所述環(huán)路氣體冷卻通道3連通，所述中心孔道9與所述中路氣體管道連通。其中，所述環(huán)路孔道10與所述環(huán)路氣體冷卻通道3連通，能夠使得由所述環(huán)路氣體冷卻通道3通入的輔助氣體通過多孔石墨氣體分配器6，從而冷卻所述多孔石墨氣體分配器6。
[0046]圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的氣體入口設(shè)備的多孔石墨氣體分配器的剖面示意圖。圖3是圖2沿上端A-A’處的剖面示意圖。圖4是圖2沿下端B-B’處的剖面示意圖。如圖2、圖3以及圖4所示，所述多孔石墨氣體分配器6設(shè)置有8個(gè)均勻分布的環(huán)路孔道10和I個(gè)中心孔道9，其中，8個(gè)環(huán)路孔道的出口能夠構(gòu)成一個(gè)圓形，8個(gè)環(huán)路孔道與所述環(huán)路氣體冷卻通道3連通，所述多孔石墨氣體分配器6的中心孔道9的內(nèi)徑與金屬短管8的內(nèi)徑相同，金屬短管8通過擠壓插入所述多孔石墨氣體分配器6。此外，所述環(huán)路孔道10與通過擠壓插入所述多孔石墨氣體分配器6的金屬短管8的外側(cè)壁面圓相切。藉此，能夠保證由所述環(huán)路氣體冷卻通道3通入的輔助氣體與金屬短管直接接觸，從而保證金屬短管的冷卻效果。
[0047]圖5是本實(shí)用新型另一實(shí)施例的氣體入口設(shè)備的多孔石墨氣體分配器的剖面示意圖。圖6是圖5沿上端A-A’處的剖面示意圖。圖7是圖5沿下端B-B’處的剖面示意圖。如圖5、圖6以及圖7所示，所述多孔石墨氣體分配器6設(shè)置有8個(gè)均勻分布的環(huán)路孔道10和I個(gè)中心孔道9，其中，8個(gè)環(huán)路孔道的出口能夠構(gòu)成一個(gè)圓形，8個(gè)環(huán)路孔道與所述環(huán)路氣體冷卻通道3連通，所述多孔石墨氣體分配器6的中心孔道9的內(nèi)徑與金屬短管8的內(nèi)徑相同，金屬短管8通過擠壓插入所述多孔石墨氣體分配器6。此外，所述環(huán)路孔道10與通過擠壓插入所述多孔石墨氣體分配器6的金屬短管8的外側(cè)壁面圓相交。藉此，能夠保證由所述環(huán)路氣體冷卻通道3通入的輔助氣體與金屬短管直接接觸，從而保證金屬短管的冷卻效果。
[0048]通過上述實(shí)施例，使得中路氣體主管和金屬短管得以充分冷卻，中路氣體管道的管壁沉積產(chǎn)物基本消除，同時(shí)多孔石墨氣體分配器入口處的待裂解氣體的沉積產(chǎn)物大大降低，并且清理和更換容易，非常經(jīng)濟(jì)，能夠適應(yīng)高溫條件下流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器長期和穩(wěn)定運(yùn)行的需要。
[0049]在具體的應(yīng)用過程中，通過以下操作步驟來操作本實(shí)用新型實(shí)施例提供的氣體入口設(shè)備，從而使得噴動(dòng)流化床的核燃料顆粒的表面通過沉積形成符合設(shè)計(jì)要求的碳化硅層:
[0050]1、檢查多孔石墨氣體分配器、金屬短管是否有沉積產(chǎn)物，如有，則去除、清理或者更換成新的元件；
[0051]2、將金屬短管安裝到中路氣體主管上；
[0052]3、安裝石墨隔熱套，確認(rèn)石墨隔熱套與主體內(nèi)循環(huán)水套連接結(jié)實(shí)不漏氣；
[0053]4、將多孔石墨氣體分配器安裝在金屬短管上，確保中路氣體管道通暢；
[0054]5、將噴動(dòng)流化床從正上方緩慢螺旋擰入，與石墨隔熱套連接結(jié)實(shí)，同時(shí)將噴動(dòng)流化床、多孔石墨氣體分配器、金屬短管三者擠壓結(jié)實(shí)；
[0055]6、檢查連接情況，中路氣體管道是否通暢等；
[0056]7、將氣體入口設(shè)備安裝至高溫加熱爐中，在主體內(nèi)循環(huán)水套中通入冷卻水，在環(huán)路氣體冷卻通道通入輔助氣體，加溫，到設(shè)定溫度后從中路氣體管道通入待裂解氣體，開始沉積過程；
[0057]8、待核燃料顆粒沉積結(jié)束，將中路氣體管道中的待裂解氣體切換成輔助氣體，降溫，冷卻，直至室溫，取出核燃料顆粒，拆卸氣體入口設(shè)備；
[0058]9、從正上方依次拆卸噴動(dòng)流化床、多孔石墨氣體分配器、石墨隔熱套、金屬短管，檢查沉積狀況，清理，等待下一次沉積實(shí)驗(yàn)。
[0059]為了更明確本實(shí)用新型實(shí)施例提供的氣體入口設(shè)備最終達(dá)到的效果，將本實(shí)用新型實(shí)施例提供的氣體入口設(shè)備用于1600攝氏度條件下甲基三氯硅烷氣體裂解制備碳化硅層的沉積實(shí)驗(yàn)，共進(jìn)行了2小時(shí)，實(shí)驗(yàn)過程平穩(wěn)，中路氣體管道穩(wěn)定供給待裂解氣體，無堵塞現(xiàn)象發(fā)生。實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，拆除本實(shí)用新型實(shí)施例提供的氣體入口設(shè)備發(fā)現(xiàn)金屬短管完好，沉積層基本不存在，稍加清理即可重復(fù)使用，多孔石墨氣體分配器的入口處有少許沉積產(chǎn)物，可很容易的打磨去除，從而可以重復(fù)利用。其他部件均完好，可重復(fù)利用。
[0060]以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本實(shí)用新型并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0061]另外需要說明的是，在上述【具體實(shí)施方式】中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進(jìn)行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本實(shí)用新型對各種可能的組合方式不再另行說明。
[0062]此外，本實(shí)用新型的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本實(shí)用新型的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本實(shí)用新型所公開的內(nèi)容。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括: 中路氣體管道，所述中路氣體管道的一端設(shè)置于所述反應(yīng)器內(nèi)，用于將待裂解的氣體通入所述反應(yīng)器中； 主體內(nèi)循環(huán)水套，用于冷卻所述中路氣體管道， 其中，所述中路氣體管道穿插通過所述主體內(nèi)循環(huán)水套。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述主體內(nèi)循環(huán)水套呈圓筒狀，且所述主體內(nèi)循環(huán)水套內(nèi)設(shè)置有水流隔板，使得冷水由所述主體內(nèi)循環(huán)水套的內(nèi)側(cè)流進(jìn)，經(jīng)所述主體內(nèi)循環(huán)水套的頂端由所述主體內(nèi)循環(huán)水套的外側(cè)流出。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述主體內(nèi)循環(huán)水套與所述中路氣體管道之間設(shè)置有間隔，以形成環(huán)路氣體冷卻通道。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述中路氣體管道包括中路氣體主管和金屬短管，所述中路氣體主管和所述金屬短管之間采用螺紋連接在一起，且所述金屬短管的一端設(shè)置于所述反應(yīng)器內(nèi)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述中路氣體主管由不銹鋼制成。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述金屬短管由金屬鉬或金屬鎢制成。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述中路氣體主管與所述金屬短管的螺紋連接處低于所述主體內(nèi)循環(huán)水套的頂端。8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括: 石墨隔熱套，與所述反應(yīng)器和所述主體內(nèi)循環(huán)水套連接，用于隔離所述反應(yīng)器和所述主體內(nèi)循環(huán)水套周圍的熱源。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括: 多孔石墨氣體分配器，設(shè)置于所述反應(yīng)器的底部，用于使得所述環(huán)路氣體冷卻通道和所述中路氣體管道與所述反應(yīng)器連通。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于流化床化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的氣體入口設(shè)備，其特征在于，所述多孔石墨氣體分配器設(shè)置有多個(gè)均勻分布的環(huán)路孔道及中心孔道，所述環(huán)路孔道與所述環(huán)路氣體冷卻通道連通，所述中心孔道與所述中路氣體管道連通，且所述環(huán)路孔道與通過擠壓插入所述多孔石墨氣體分配器的中路氣體管道的外側(cè)壁面圓相切或相交。
【文檔編號】C23C16/32GK205556774SQ201620140257
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年2月24日
【發(fā)明人】劉馬林, 劉榮正, 邵友林, 常家興, 劉兵, 唐亞平, 張秉忠, 楊冰, 朱鈞國
【申請人】清華大學(xué)