公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，本實(shí)用新型設(shè)置兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并通過設(shè)計(jì)工件轉(zhuǎn)架三重運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)之間的聯(lián)動(dòng)關(guān)系，使本實(shí)用新型工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有多種不同的運(yùn)動(dòng)模式，從而使本實(shí)用新型的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)除完成現(xiàn)有工件轉(zhuǎn)架的三重運(yùn)動(dòng)外，還可通過對(duì)兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制，使采用本實(shí)用新型的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的工件轉(zhuǎn)架的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速。
【專利說明】
公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]真空鍍膜機(jī)內(nèi)都置有用于裝夾被鍍工件的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。以立式真空離子鍍膜機(jī)為例，常用的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方式通常可分為兩重運(yùn)動(dòng)或三重運(yùn)動(dòng)，自轉(zhuǎn)盤隨公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)的同時(shí)并進(jìn)行自轉(zhuǎn)，部分鍍膜機(jī)除前述基礎(chǔ)運(yùn)動(dòng)外，還具有第三重運(yùn)動(dòng)，即工件自身自轉(zhuǎn)或間歇式自轉(zhuǎn)。現(xiàn)有技術(shù)中的鍍膜機(jī)的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，無論是采用兩重運(yùn)動(dòng)方式或是采用三重運(yùn)動(dòng)方式，它們都是一種聯(lián)合運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)模式單一。這些工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)一般通過變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)，通過轉(zhuǎn)動(dòng)的公轉(zhuǎn)部件驅(qū)動(dòng)自轉(zhuǎn)盤自轉(zhuǎn)，再由自轉(zhuǎn)部件驅(qū)動(dòng)工件自轉(zhuǎn)?，F(xiàn)有技術(shù)中的這種運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，雖可以在一定范圍內(nèi)調(diào)速，但自轉(zhuǎn)速度都是隨同公轉(zhuǎn)速度變化，不能單獨(dú)調(diào)整。
[0003]近年來工件的種類增多，工件形狀越加雜復(fù)，鍍層種類也多樣化了，所以對(duì)鍍膜工藝提出了新的要求，特別是近期出現(xiàn)許多彩色干涉膜，這種類型的鍍層對(duì)膜層厚度很敏感， 所以鍍膜工藝上希望工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的公轉(zhuǎn)盤、自轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)速能獨(dú)立調(diào)節(jié)?，F(xiàn)有技術(shù)中的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)滿足不了上述工藝要求，所以需要一種能提供多種運(yùn)行模式的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)?！緦?shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能提供多種運(yùn)行模式的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，采用本實(shí)用新型的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速。
[0005]本實(shí)用新型的上述技術(shù)問題通過如下技術(shù)方案解決:一種公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括公轉(zhuǎn)盤，自轉(zhuǎn)盤，大自轉(zhuǎn)軸和小自轉(zhuǎn)軸；
[0006]所述大自轉(zhuǎn)軸圍繞所述公轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述公轉(zhuǎn)盤上，所述自轉(zhuǎn)盤平行于所述公轉(zhuǎn)盤固定在所述大自轉(zhuǎn)軸上部，所述小自轉(zhuǎn)軸圍繞所述自轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述自轉(zhuǎn)盤上；
[0007]其特征在于，所述工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括齒輪盤，所述公轉(zhuǎn)盤與所述齒輪盤同軸設(shè)置，所述公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述齒輪盤上；
[0008]所述大自轉(zhuǎn)軸的下端穿出所述公轉(zhuǎn)盤固定有大扭力傳遞齒輪，所述齒輪盤與所述大扭力傳遞齒輪嚙合，以便在所述齒輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述大自轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)所述自轉(zhuǎn)盤自轉(zhuǎn)； [〇〇〇9]所述公轉(zhuǎn)盤的頂面圍繞其旋轉(zhuǎn)中心凸出固定有若干個(gè)固定小齒輪，所述大自轉(zhuǎn)軸下端從所述固定小齒輪中部穿過，所述小自轉(zhuǎn)軸下端穿出所述自轉(zhuǎn)盤固定有小扭力傳遞齒輪，安裝在同一自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸上的所有所述小扭力傳遞齒輪嚙合于同一所述固定小齒輪；
[0010]所述工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述齒輪盤相連，用于驅(qū)動(dòng)所述齒輪盤旋轉(zhuǎn)，所述第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述公轉(zhuǎn)盤相連，用于驅(qū)動(dòng)所述公轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)。
[0011]上述結(jié)構(gòu)的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可進(jìn)行三種模式的運(yùn)動(dòng):
[0012]運(yùn)行模式一:第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)啟動(dòng)，此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤不動(dòng)，大自轉(zhuǎn)軸原地自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)盤上小自轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn);此時(shí)，自轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速可調(diào)，自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn)速度受自轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速控制；
[0013]運(yùn)行模式二:第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)啟動(dòng)，此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)，大自轉(zhuǎn)軸公轉(zhuǎn)并自轉(zhuǎn)，小自轉(zhuǎn)軸公轉(zhuǎn)、隨大自轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)、再自轉(zhuǎn);此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速可調(diào)，自轉(zhuǎn)盤和自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)速受公轉(zhuǎn)盤控制，不能獨(dú)立調(diào)節(jié)；
[0014]運(yùn)行模式三:第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)都啟動(dòng)，此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速可調(diào)，自轉(zhuǎn)盤隨公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)，且其自轉(zhuǎn)速度可獨(dú)立調(diào)節(jié)，自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn)速度受自轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速控制，且在公轉(zhuǎn)盤、齒輪盤同步轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)，大自轉(zhuǎn)軸、小自轉(zhuǎn)軸只隨公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)而均不自轉(zhuǎn)。
[0015]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式:所述工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與所述公轉(zhuǎn)盤同軸設(shè)置的固定盤，所述公轉(zhuǎn)盤水平設(shè)置，所述齒輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述固定盤上，所述固定盤、齒輪盤、公轉(zhuǎn)盤均為一圓環(huán)形狀的結(jié)構(gòu)體，所述齒輪盤上抵著所述公轉(zhuǎn)盤的內(nèi)環(huán)面安裝有若干個(gè)公轉(zhuǎn)盤限位軸承，所述固定盤上抵著所述齒輪盤的內(nèi)環(huán)面安裝有若干個(gè)齒輪盤限位軸承；
[0016]所述齒輪盤的頂面上圍繞其旋轉(zhuǎn)中心設(shè)有一圈滾珠槽，所述滾珠槽內(nèi)安裝有滾珠，所述公轉(zhuǎn)盤承托在滾珠上從而轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述齒輪盤上；
[0017]所述固定盤的頂面上圍繞其旋轉(zhuǎn)中心設(shè)有一圈滾珠槽，所述滾珠槽內(nèi)安裝有滾珠，所述齒輪盤承托在滾珠上從而轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述固定盤上。
[0018]所述齒輪盤外環(huán)面上設(shè)有齒牙，所述大扭力傳遞齒輪嚙合于所述齒輪盤的外環(huán)面，所述齒輪盤的內(nèi)環(huán)面分為上下兩層，上層設(shè)有齒牙，所述第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒輪嚙合于所述齒輪盤內(nèi)環(huán)面的上層，所述齒輪盤限位軸承抵于所述齒輪盤內(nèi)環(huán)面的下層，所述公轉(zhuǎn)盤的外環(huán)面設(shè)有齒牙，所述第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒輪嚙合于所述公轉(zhuǎn)盤的外環(huán)面。[〇〇19]所述固定盤底面還固定有轉(zhuǎn)架絕緣組件，以便將固定盤絕緣安裝在真空鍍膜機(jī)鍍膜室的底盤上。
[0020]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型具有如下有益效果:本實(shí)用新型工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可進(jìn)行三種模式的運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)方式不單一，使采用本實(shí)用新型工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的鍍膜機(jī)， 可實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)速度的獨(dú)立調(diào)節(jié)，從而使采用本實(shí)用新型工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的鍍膜機(jī)能更好的滿足現(xiàn)代鍍膜工藝對(duì)鍍膜機(jī)的要求?！靖綀D說明】[0021 ]圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的裝配圖；
[0022]圖2為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的俯視圖；[〇〇23]圖3為圖1中左邊部分的放大圖；[0〇24]圖4為圖1中右邊部分的放大圖；[〇〇25]小自轉(zhuǎn)軸1，大自轉(zhuǎn)軸2，自轉(zhuǎn)盤2-2，軸承3，內(nèi)動(dòng)力小齒輪6，內(nèi)動(dòng)力軸7，小扭力傳遞齒輪8,固定小齒輪9,外動(dòng)力小齒輪10,外動(dòng)力軸11，大扭力傳遞齒輪12,公轉(zhuǎn)盤13,齒輪盤14，固定盤15，滾珠槽14-1、15-1，滾珠14-2、15-2，公轉(zhuǎn)盤限位軸承14-3，齒輪盤限位軸承 15-3,轉(zhuǎn)架絕緣組件16?！揪唧w實(shí)施方式】[〇〇26]本實(shí)用新型真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可進(jìn)行三重運(yùn)動(dòng)，其結(jié)構(gòu)如圖1、2、3、4 所示，主要包括公轉(zhuǎn)盤13，自轉(zhuǎn)盤2-2，大自轉(zhuǎn)軸2、小自轉(zhuǎn)軸1、固定盤15和齒輪盤14。
[0027]公轉(zhuǎn)盤13、齒輪盤14、固定盤15均為一圓環(huán)形狀的結(jié)構(gòu)體，同軸水平設(shè)置。其中，公轉(zhuǎn)盤13轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在齒輪盤14上，齒輪盤14轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在固定盤15上，固定盤15底面固定有轉(zhuǎn)架絕緣組件16，以便將固定盤15絕緣安裝在真空鍍膜機(jī)鍍膜室的底盤(未畫出)上。
[0028]公轉(zhuǎn)盤13、齒輪盤14的轉(zhuǎn)動(dòng)安裝結(jié)構(gòu)具體為:[〇〇29]齒輪盤14的頂面上圍繞其旋轉(zhuǎn)中心設(shè)有一圈滾珠槽14-1，滾珠槽14-1內(nèi)安裝有滾珠14-2，公轉(zhuǎn)盤13承托在滾珠14-2上從而轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在齒輪盤14上;齒輪盤14上抵著公轉(zhuǎn)盤 13的內(nèi)環(huán)面安裝有若干個(gè)公轉(zhuǎn)盤限位軸承14-3,公轉(zhuǎn)盤限位軸承14-3主要用于對(duì)公轉(zhuǎn)盤13 的轉(zhuǎn)動(dòng)起限位和穩(wěn)定作用；
[0030]固定盤15的頂面上圍繞其旋轉(zhuǎn)中心設(shè)有一圈滾珠槽15-1，滾珠槽15-1內(nèi)安裝有滾珠15-2,齒輪盤14承托在滾珠15-2上從而轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在固定盤15上；固定盤15頂面上抵著齒輪盤14的內(nèi)環(huán)面安裝有若干個(gè)齒輪盤限位軸承15-3,齒輪盤限位軸承15-3主要用于對(duì)齒輪盤13的轉(zhuǎn)動(dòng)起限位和穩(wěn)定作用。
[0031]本實(shí)用新型公轉(zhuǎn)盤13、齒輪盤14的轉(zhuǎn)動(dòng)安裝結(jié)構(gòu)采用環(huán)形軌道轉(zhuǎn)動(dòng)支撐，相比于通過中部轉(zhuǎn)軸支撐的方式，本實(shí)用新型轉(zhuǎn)動(dòng)安裝結(jié)構(gòu)的承載能力更好。另外，本實(shí)用新型通過設(shè)置與旋轉(zhuǎn)的圓環(huán)的內(nèi)環(huán)面相抵的軸承來限制公轉(zhuǎn)盤13、齒輪盤14的偏心運(yùn)動(dòng)，相比于在它們的旋轉(zhuǎn)中心上設(shè)置旋轉(zhuǎn)軸的方式，本實(shí)用新型方式能在固定盤15、齒輪盤14、公轉(zhuǎn)盤 13的中部形成一個(gè)操作區(qū)，以便安裝其它部件，從而提高空間利用率，同時(shí)簡化本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型上述轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)還具有結(jié)構(gòu)簡單，加工、組裝方便的優(yōu)點(diǎn)。
[0032]大自轉(zhuǎn)軸2圍繞公轉(zhuǎn)盤13的旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在公轉(zhuǎn)盤13的外圍，自轉(zhuǎn)盤2-2水平固定在大自轉(zhuǎn)軸2的上部，小自轉(zhuǎn)軸1圍繞自轉(zhuǎn)盤2-2的旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在自轉(zhuǎn)盤2-2的外圍，鍍膜室內(nèi)的待鍍工件安裝在小自轉(zhuǎn)軸1上。大自轉(zhuǎn)軸2下端穿出公轉(zhuǎn)盤13固定一大扭力傳遞齒輪12,大扭力傳遞齒輪12與齒輪盤14的外環(huán)面嚙合，以便齒輪盤14轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可以驅(qū)動(dòng)大自轉(zhuǎn)軸2帶動(dòng)自轉(zhuǎn)盤2-2自轉(zhuǎn)。小自轉(zhuǎn)軸1下端穿出自轉(zhuǎn)盤2-2固定一小扭力傳遞齒輪8。公轉(zhuǎn)盤13的頂面圍繞其旋轉(zhuǎn)中心凸出固定有若干個(gè)固定小齒輪9,大自轉(zhuǎn)軸2下端從固定小齒輪9中部穿過。安裝在同一自轉(zhuǎn)盤2-2上的小自轉(zhuǎn)軸1上的所有小扭力傳遞齒輪8嚙合于同一固定小齒輪9。本實(shí)用新型通過對(duì)三重運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)方式的設(shè)計(jì)，使本實(shí)用新型工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可具有不同的運(yùn)行模式。
[0033]本實(shí)用新型工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒輪與齒輪盤14的上部嚙合，用于驅(qū)動(dòng)齒輪盤14旋轉(zhuǎn)。齒輪盤的內(nèi)環(huán)面分為上下兩層，上層上設(shè)有齒牙結(jié)構(gòu)，下層光滑，下層與齒輪盤限位軸承15-3相抵。第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與公轉(zhuǎn)盤13的外環(huán)面嚙合，用于驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)盤13旋轉(zhuǎn)。公轉(zhuǎn)盤13的外環(huán)面上設(shè)有齒牙結(jié)構(gòu)。
[0034]第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由內(nèi)動(dòng)力軸7和固定在內(nèi)動(dòng)力軸7上端的內(nèi)動(dòng)力小齒輪6構(gòu)成。 第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由外動(dòng)力軸11和安裝于外動(dòng)力軸11上端的外動(dòng)力小齒輪10構(gòu)成。本實(shí)用新型可通過對(duì)第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力源如變頻電機(jī)的控制，簡單的實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的各種運(yùn)動(dòng)模式:
[0035]運(yùn)行模式一:第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)啟動(dòng)，此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤不動(dòng)，大自轉(zhuǎn)軸原地自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)盤上小自轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn);此時(shí)，自轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速可調(diào)，自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn)速度受自轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速控制；
[0036]運(yùn)行模式二:第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)啟動(dòng)，此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)，大自轉(zhuǎn)軸公轉(zhuǎn)并自轉(zhuǎn)，小自轉(zhuǎn)軸公轉(zhuǎn)、隨大自轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)、再自轉(zhuǎn);此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速可調(diào)，自轉(zhuǎn)盤和自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)速受公轉(zhuǎn)盤控制，不能獨(dú)立調(diào)節(jié)；[〇〇37]運(yùn)行模式三:第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)都啟動(dòng)，此時(shí)，公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速可調(diào)，自轉(zhuǎn)盤隨公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)，且其自轉(zhuǎn)速度可獨(dú)立調(diào)節(jié)，自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn)速度受自轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速控制，且在公轉(zhuǎn)盤、齒輪盤同步轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)，大自轉(zhuǎn)軸、小自轉(zhuǎn)軸只隨公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)而均不自轉(zhuǎn)。[〇〇38]現(xiàn)有的工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)改變運(yùn)動(dòng)模式必須通過更換運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中的齒輪等措施實(shí)現(xiàn)，而本實(shí)用新型工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)只需調(diào)節(jié)兩只變頻電機(jī)的轉(zhuǎn)速，即可實(shí)現(xiàn)不同運(yùn)動(dòng)模式的自由切換。
[0039]本實(shí)用新型各種運(yùn)動(dòng)模式的具體實(shí)現(xiàn)過程如下:
[0040]第一種運(yùn)動(dòng)模式[〇〇41 ]啟動(dòng)內(nèi)動(dòng)力軸7下端連接的變頻電機(jī)，驅(qū)動(dòng)內(nèi)動(dòng)力軸7和其上端固定的內(nèi)動(dòng)力小齒輪6同步轉(zhuǎn)動(dòng)，內(nèi)動(dòng)力小齒輪6與齒輪盤14內(nèi)環(huán)面的上層嚙合，驅(qū)動(dòng)齒輪盤14轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪盤14 的外環(huán)面與大自轉(zhuǎn)軸2下端固定的大扭力傳遞齒輪12嚙合，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)大自轉(zhuǎn)軸2及其上的自轉(zhuǎn)盤2-2轉(zhuǎn)動(dòng)，安裝在自轉(zhuǎn)盤2-2上的小自轉(zhuǎn)軸1和固定在小自轉(zhuǎn)軸1上的小扭力傳遞齒輪8 隨自轉(zhuǎn)盤2-2轉(zhuǎn)動(dòng)，由于小扭力傳遞齒輪8同時(shí)與固定在公轉(zhuǎn)盤13上的固定小齒輪9嚙合，自轉(zhuǎn)盤2-2與固定小齒輪9之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)驅(qū)使小扭力傳遞齒輪8和小自轉(zhuǎn)軸1自轉(zhuǎn)。
[0042]這種運(yùn)動(dòng)模式中，自轉(zhuǎn)盤2-2轉(zhuǎn)速由與內(nèi)動(dòng)力軸7相連的變頻電機(jī)控制，自轉(zhuǎn)盤2-2 上的小自轉(zhuǎn)軸1自轉(zhuǎn)速度受自轉(zhuǎn)盤2-2轉(zhuǎn)速控制。這種運(yùn)動(dòng)模式中公轉(zhuǎn)盤13不動(dòng)，自轉(zhuǎn)盤2-2 轉(zhuǎn)速可獨(dú)立調(diào)節(jié)，小自轉(zhuǎn)軸1轉(zhuǎn)速受控于自轉(zhuǎn)盤2-2轉(zhuǎn)速及小扭力傳遞齒輪8與固定小齒輪9 之間的齒數(shù)比，小自轉(zhuǎn)軸1的轉(zhuǎn)速不能獨(dú)立調(diào)節(jié)。[〇〇43] 第二種運(yùn)動(dòng)模式[〇〇44]啟動(dòng)外動(dòng)力軸11連接的變頻電機(jī)，使外動(dòng)力軸11同其上端的外動(dòng)力小齒輪10同步轉(zhuǎn)動(dòng)，外動(dòng)力小齒輪10帶動(dòng)與之嚙合的公轉(zhuǎn)盤13轉(zhuǎn)動(dòng)。公轉(zhuǎn)盤13上安裝的大自轉(zhuǎn)軸2和固定在大自轉(zhuǎn)軸2下端的大扭力傳遞齒輪12隨公轉(zhuǎn)盤13公轉(zhuǎn)，因大扭力傳遞齒輪12同時(shí)還與不動(dòng)的齒輪盤14的外環(huán)面嚙合，所以驅(qū)動(dòng)大扭力傳遞齒輪12、大自轉(zhuǎn)軸2、自轉(zhuǎn)盤2-2作自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在自轉(zhuǎn)盤2-2外圍的若干個(gè)小自轉(zhuǎn)軸1、固定在小自轉(zhuǎn)軸1下端的小扭力傳遞齒輪8隨自轉(zhuǎn)盤2轉(zhuǎn)動(dòng)，由于小扭力傳遞齒輪8同時(shí)與公轉(zhuǎn)盤13上的固定小齒輪9嚙合，自轉(zhuǎn)盤2-2與固定小齒輪9之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)驅(qū)使小扭力傳遞齒輪8和小自轉(zhuǎn)軸1自轉(zhuǎn)。
[0045]這種運(yùn)動(dòng)模式實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)盤13公轉(zhuǎn)，大自轉(zhuǎn)軸2公轉(zhuǎn)并自轉(zhuǎn)，小自轉(zhuǎn)軸1公轉(zhuǎn)、隨大自轉(zhuǎn)軸2轉(zhuǎn)動(dòng)、再自轉(zhuǎn)。調(diào)節(jié)與外動(dòng)力軸11相連的變頻電機(jī)的轉(zhuǎn)速，可實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)盤13公轉(zhuǎn)速度的調(diào)節(jié)，自轉(zhuǎn)盤2-2轉(zhuǎn)速和自轉(zhuǎn)盤2-2上的小自轉(zhuǎn)軸1轉(zhuǎn)速受公轉(zhuǎn)盤13控制，相互嚙合的齒輪即齒輪14與12，8與9的齒數(shù)比固定了它們之間的轉(zhuǎn)速比，因而自轉(zhuǎn)盤2-2和小自轉(zhuǎn)軸1轉(zhuǎn)速不能獨(dú)立調(diào)節(jié)。[〇〇46] 第三種運(yùn)動(dòng)模式[〇〇47]同時(shí)啟動(dòng)與外動(dòng)力軸11相連的變頻電機(jī)和與內(nèi)動(dòng)力軸7相連的變頻電機(jī):外動(dòng)力軸11轉(zhuǎn)動(dòng)，其上端的外動(dòng)力小齒輪10隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)盤13轉(zhuǎn)動(dòng)，安裝在公轉(zhuǎn)盤13上的大自轉(zhuǎn)軸2和自轉(zhuǎn)盤2-2以及安裝在自轉(zhuǎn)盤2-2上的小自轉(zhuǎn)軸1隨公轉(zhuǎn)盤13公轉(zhuǎn)，公轉(zhuǎn)盤13轉(zhuǎn)速可獨(dú)立控制；內(nèi)動(dòng)力軸7轉(zhuǎn)動(dòng)，其上端的內(nèi)動(dòng)力小齒輪6隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)齒輪盤14轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪盤14與大自轉(zhuǎn)軸2上的大扭力傳遞齒輪12嚙合，驅(qū)動(dòng)大自轉(zhuǎn)軸2和自轉(zhuǎn)盤2-2自動(dòng)。
[0048]大自轉(zhuǎn)軸2-2的運(yùn)動(dòng)受到兩方面的影響:一是公轉(zhuǎn)盤13的公轉(zhuǎn)，二是齒輪盤14的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0049]如果公轉(zhuǎn)盤13與齒輪盤14同向運(yùn)動(dòng)，且齒輪盤14與大扭力傳遞齒輪12嚙合處的線速度相等，則大自轉(zhuǎn)軸2和小自轉(zhuǎn)軸1僅隨公轉(zhuǎn)盤13公轉(zhuǎn)，無自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；
[0050]若齒輪盤14與大扭力傳遞齒輪12嚙合處的線速度前者較大，則大扭力傳遞齒輪12 受齒輪盤14撥動(dòng)，大自轉(zhuǎn)軸2與公轉(zhuǎn)盤13作同向自轉(zhuǎn)(同向或反向指與公轉(zhuǎn)盤13轉(zhuǎn)向相同或相反，下文中大自轉(zhuǎn)軸2的同向自轉(zhuǎn)、反向自轉(zhuǎn)，也是相對(duì)于公轉(zhuǎn)盤13的轉(zhuǎn)動(dòng)方向而言)，且齒輪盤14的轉(zhuǎn)速越快，大自轉(zhuǎn)軸2同向自轉(zhuǎn)的越快;若齒輪盤14與大扭力傳遞齒輪12嚙合處的線速度前者較慢，則大扭力傳遞齒輪12在齒輪盤14的作用下，大自轉(zhuǎn)軸2作與公轉(zhuǎn)方向相反方向的自轉(zhuǎn)，且兩者線速度相差越大，大自轉(zhuǎn)軸2反向自轉(zhuǎn)的越快。
[0051]如果公轉(zhuǎn)盤13與齒輪盤14反向運(yùn)動(dòng)，則齒輪盤14與大扭力傳遞齒輪12嚙合處的線速度方向相反，大扭力傳力齒輪12受齒輪盤14反向撥動(dòng)，使大自轉(zhuǎn)軸2作與公轉(zhuǎn)方向相反的自轉(zhuǎn)，且齒輪盤14反向轉(zhuǎn)速越快，大自轉(zhuǎn)軸2反向自轉(zhuǎn)越快。
[0052]大自轉(zhuǎn)軸2同向或反向的自轉(zhuǎn)速度由齒輪盤14與大扭力傳遞齒輪12嚙合處的線速度方向和速度差決定，即大自轉(zhuǎn)軸2自轉(zhuǎn)方向和轉(zhuǎn)動(dòng)速度與公轉(zhuǎn)盤13的公轉(zhuǎn)速度和齒輪盤 14的轉(zhuǎn)速相關(guān)，而公轉(zhuǎn)盤13的轉(zhuǎn)速和齒輪盤14的轉(zhuǎn)速分別由外動(dòng)力軸11的變頻電機(jī)和內(nèi)動(dòng)力軸7的變頻電機(jī)決定，因此公轉(zhuǎn)盤13的公轉(zhuǎn)速度和大自轉(zhuǎn)軸2的自轉(zhuǎn)速度均可獨(dú)立控制。
[0053]在這種運(yùn)動(dòng)模式中，小自轉(zhuǎn)軸1隨公轉(zhuǎn)盤13公轉(zhuǎn)同時(shí)隨大自轉(zhuǎn)軸2和自轉(zhuǎn)盤2-2— 起轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)還進(jìn)行自轉(zhuǎn)，但小自轉(zhuǎn)軸1的自轉(zhuǎn)方向和轉(zhuǎn)速依賴于公轉(zhuǎn)盤13和大自轉(zhuǎn)軸2的轉(zhuǎn)動(dòng)方向和轉(zhuǎn)速，不能獨(dú)立進(jìn)行控制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括公轉(zhuǎn)盤，自轉(zhuǎn) 盤，大自轉(zhuǎn)軸和小自轉(zhuǎn)軸；所述大自轉(zhuǎn)軸圍繞所述公轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述公轉(zhuǎn)盤上，所述自轉(zhuǎn)盤平行 于所述公轉(zhuǎn)盤固定在所述大自轉(zhuǎn)軸上部，所述小自轉(zhuǎn)軸圍繞所述自轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動(dòng)安 裝在所述自轉(zhuǎn)盤上；其特征在于，所述工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括齒輪盤，所述公轉(zhuǎn)盤與所述齒輪盤同軸設(shè) 置，所述公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述齒輪盤上；所述大自轉(zhuǎn)軸的下端穿出所述公轉(zhuǎn)盤固定有大扭力傳遞齒輪，所述齒輪盤與所述大扭 力傳遞齒輪嚙合，以便在所述齒輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述大自轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)所述自轉(zhuǎn)盤自轉(zhuǎn)；所述公轉(zhuǎn)盤的頂面圍繞其旋轉(zhuǎn)中心凸出固定有若干個(gè)固定小齒輪，所述大自轉(zhuǎn)軸下端 從所述固定小齒輪中部穿過，所述小自轉(zhuǎn)軸下端穿出所述自轉(zhuǎn)盤固定有小扭力傳遞齒輪， 安裝在同一自轉(zhuǎn)盤上的小自轉(zhuǎn)軸上的所有所述小扭力傳遞齒輪嚙合于同一所述固定小齒 輪；所述工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一齒輪 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述齒輪盤相連，用于驅(qū)動(dòng)所述齒輪盤旋轉(zhuǎn)，所述第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述公 轉(zhuǎn)盤相連，用于驅(qū)動(dòng)所述公轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 其特征在于，所述工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與所述公轉(zhuǎn)盤同軸設(shè)置的固定盤，所述公轉(zhuǎn)盤 水平設(shè)置，所述齒輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述固定盤上，所述固定盤、齒輪盤、公轉(zhuǎn)盤均為一圓環(huán) 形狀的結(jié)構(gòu)體，所述齒輪盤上抵著所述公轉(zhuǎn)盤的內(nèi)環(huán)面安裝有若干個(gè)公轉(zhuǎn)盤限位軸承，所 述固定盤上抵著所述齒輪盤的內(nèi)環(huán)面安裝有若干個(gè)齒輪盤限位軸承；所述齒輪盤的頂面上圍繞其旋轉(zhuǎn)中心設(shè)有一圈滾珠槽，所述滾珠槽內(nèi)安裝有滾珠，所 述公轉(zhuǎn)盤承托在滾珠上從而轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述齒輪盤上；所述固定盤的頂面上圍繞其旋轉(zhuǎn)中心設(shè)有一圈滾珠槽，所述滾珠槽內(nèi)安裝有滾珠，所 述齒輪盤承托在滾珠上從而轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述固定盤上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 其特征在于，所述齒輪盤外環(huán)面上設(shè)有齒牙，所述大扭力傳遞齒輪嚙合于所述齒輪盤的外 環(huán)面，所述齒輪盤的內(nèi)環(huán)面分為上下兩層，上層設(shè)有齒牙，所述第一齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒輪嚙 合于所述齒輪盤內(nèi)環(huán)面的上層，所述齒輪盤限位軸承抵于所述齒輪盤內(nèi)環(huán)面的下層，所述 公轉(zhuǎn)盤的外環(huán)面設(shè)有齒牙，所述第二齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒輪嚙合于所述公轉(zhuǎn)盤的外環(huán)面。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)均可獨(dú)立調(diào)速的真空鍍膜機(jī)工件轉(zhuǎn)架運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 其特征在于，所述固定盤底面還固定有轉(zhuǎn)架絕緣組件，以便將固定盤絕緣安裝在真空鍍膜 機(jī)鍍膜室的底盤上。
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK205576271SQ201620136458
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年2月23日
【發(fā)明人】李志榮, 潘銳華, 羅志明, 李志方
【申請(qǐng)人】東莞市匯成真空科技有限公司