新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置。這種新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置，包括薄膜生成箱，薄膜生成箱側(cè)壁上方安裝有氣體匯總管，薄膜生成箱側(cè)壁下方設(shè)有排氣管，所述薄膜生成箱內(nèi)腔上部安裝有陽(yáng)極，陽(yáng)極下方對(duì)應(yīng)設(shè)有陰極，陽(yáng)極下表面安裝有襯底；所述薄膜生成箱內(nèi)腔下部安裝有加熱板，陰極通過(guò)底座安裝于加熱板上表面，加熱板通過(guò)電線連接有頻射電源，加熱板和頻射電源之間的線路上安裝有電容。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，操作簡(jiǎn)便，薄膜生成穩(wěn)定性能良好，薄膜質(zhì)量良好，同時(shí)使用壽命長(zhǎng)，不需要經(jīng)常維修和更換零件，使用成本低。
【專利說(shuō)明】
新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展、社會(huì)的進(jìn)步，人們對(duì)能源提出越來(lái)越高的要求，尋找新能源成為當(dāng)前人類面臨的迫切課題。太陽(yáng)能是一種干凈的可再生的新能源，越來(lái)越受到人們的青睞。太陽(yáng)能發(fā)電已成為獲取電力的一種重要手段，其不受地域、線路、氣候等制約，具有其他發(fā)電手段不可替代的優(yōu)勢(shì)。晶硅太陽(yáng)能電池在現(xiàn)階段的大規(guī)模應(yīng)用和工業(yè)生產(chǎn)中占據(jù)主導(dǎo)地位，但由于其成本過(guò)高，限制了其發(fā)展，因此慢慢地被非晶硅太陽(yáng)能電池取代了。傳統(tǒng)的非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作繁瑣，成膜穩(wěn)定性能差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:克服現(xiàn)有技術(shù)中之不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成膜穩(wěn)定的新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置，包括薄膜生成箱，薄膜生成箱側(cè)壁上方安裝有氣體匯總管，薄膜生成箱側(cè)壁下方設(shè)有排氣管，所述薄膜生成箱內(nèi)腔上部安裝有陽(yáng)極，陽(yáng)極下方對(duì)應(yīng)設(shè)有陰極，陽(yáng)極下表面安裝有襯底;所述薄膜生成箱內(nèi)腔下部安裝有加熱板，陰極通過(guò)底座安裝于加熱板上表面，加熱板通過(guò)電線連接有頻射電源，加熱板和頻射電源之間的線路上安裝有電容;所述氣體匯總管上并聯(lián)連接有硅烷氣體進(jìn)氣管、硼烷氣體進(jìn)氣管和磷烷氣體進(jìn)氣管。
[0005]進(jìn)一步地，所述的硅烷氣體進(jìn)氣管、硼烷氣體進(jìn)氣管和磷烷氣體進(jìn)氣管均安裝有流量計(jì)和流量調(diào)節(jié)閥。
[0006]進(jìn)一步地，其特征在于:所述的排氣管上安裝有抽氣栗和排氣閥，排氣閥位于薄膜生成箱與抽氣栗之間的管路上。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，操作簡(jiǎn)便，薄膜生成穩(wěn)定性能良好，薄膜質(zhì)量良好，同時(shí)使用壽命長(zhǎng)，不需要經(jīng)常維修和更換零件，使用成本低。
【附圖說(shuō)明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中1.硅烷氣體進(jìn)氣管，2.硼烷氣體進(jìn)氣管，3.磷烷氣體進(jìn)氣管，4.流量計(jì)，5.流量調(diào)節(jié)閥，6.氣體匯總管，7.襯底，8.陽(yáng)極，9.陰極，10.薄膜生成箱，11.底座，12.加熱板，13.電容，14.頻射電源，15.排氣管，16.抽氣栗，17.排氣閥。
【具體實(shí)施方式】
[0011]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0012]如圖1所示的新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置，包括薄膜生成箱10，薄膜生成箱10側(cè)壁上方安裝有氣體匯總管6，薄膜生成箱10側(cè)壁下方設(shè)有排氣管15，薄膜生成箱10內(nèi)腔上部安裝有陽(yáng)極8，陽(yáng)極8下方對(duì)應(yīng)設(shè)有陰極9，陽(yáng)極8下表面安裝有襯底7;薄膜生成箱10內(nèi)腔下部安裝有加熱板12，陰極9通過(guò)底座11安裝于加熱板12上表面，加熱板12通過(guò)電線連接有頻射電源14，加熱板12和頻射電源14之間的線路上安裝有電容13;氣體匯總管6上并聯(lián)連接有硅烷氣體進(jìn)氣管1、硼烷氣體進(jìn)氣管2和磷烷氣體進(jìn)氣管3。薄膜生成箱10安裝有檢測(cè)薄膜生成箱10內(nèi)壓力的壓力表。
[0013]硅烷氣體進(jìn)氣管1、硼烷氣體進(jìn)氣管2和磷烷氣體進(jìn)氣管3均安裝有流量計(jì)4和流量調(diào)節(jié)閥5;排氣管15上安裝有抽氣栗16和排氣閥17，排氣閥17位于薄膜生成箱10與抽氣栗16之間的管路上。
[0014]工作時(shí)，娃燒氣體、硼燒氣體以及磷燒氣體進(jìn)氣管3分別從娃燒氣體進(jìn)氣管1、從硼烷氣體進(jìn)氣管2和磷烷氣體進(jìn)氣管3進(jìn)入氣體匯總管6混合，混合氣體進(jìn)入薄膜生成箱10;與此同時(shí)，流量調(diào)節(jié)閥5調(diào)節(jié)氣體流量，抽氣栗16工作，使得薄膜生成箱10內(nèi)的氣壓達(dá)到工藝要求的值。在陽(yáng)極8和陰極9之間加上電壓，由陰極9發(fā)射出的電子在電場(chǎng)被加速獲得能量，通過(guò)與薄膜生成箱10中氣體原子或分子碰撞，使得氣體原子或分子分解、激發(fā)或電離，在薄膜生成箱10中形成很多電子、離子、活性基團(tuán)以及亞穩(wěn)的原子和分子等，這些粒子經(jīng)過(guò)復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，就會(huì)沉積在襯底7上而形成薄膜。
[0015]這種新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，操作簡(jiǎn)便，薄膜生成穩(wěn)定性能良好，薄膜質(zhì)量良好，同時(shí)使用壽命長(zhǎng)，不需要經(jīng)常維修和更換零件，使用成本低。
[0016]上述實(shí)施方式只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置，其特征在于:包括薄膜生成箱(10)，薄膜生成箱(10)側(cè)壁上方安裝有氣體匯總管(6)，薄膜生成箱(10)側(cè)壁下方設(shè)有排氣管(15)，所述薄膜生成箱(10)內(nèi)腔上部安裝有陽(yáng)極(8)，陽(yáng)極(8)下方對(duì)應(yīng)設(shè)有陰極(9)，陽(yáng)極(8)下表面安裝有襯底(7);所述薄膜生成箱(10)內(nèi)腔下部安裝有加熱板(12)，陰極(9)通過(guò)底座(11)安裝于加熱板(12)上表面，加熱板(12)通過(guò)電線連接有頻射電源(14)，加熱板(12)和頻射電源(I4)之間的線路上安裝有電容(I3);所述氣體匯總管(6)上并聯(lián)連接有硅烷氣體進(jìn)氣管(I)、硼烷氣體進(jìn)氣管(2)和磷烷氣體進(jìn)氣管(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置，其特征在于:所述的硅烷氣體進(jìn)氣管(1)、硼烷氣體進(jìn)氣管(2)和磷烷氣體進(jìn)氣管(3)均安裝有流量計(jì)(4)和流量調(diào)節(jié)閥(5)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型非晶硅太陽(yáng)能電池薄膜制備裝置，其特征在于:所述的排氣管(15)上安裝有抽氣栗(16)和排氣閥(17)，排氣閥(17)位于薄膜生成箱(10)與抽氣栗(16)之間的管路上。
【文檔編號(hào)】H01L31/20GK205576276SQ201620356219
【公開(kāi)日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年4月25日
【發(fā)明人】朱云
【申請(qǐng)人】泰州市恒晟新能源科技有限公司