晶片雙面研磨機的制作方法
【專利摘要】晶片雙面研磨機，包括機架，在機架設有上研磨盤、下研磨盤、晶片載具，上研磨盤通過連接柱連接氣缸，氣缸固定于機架上，上研磨盤的下端配合連接有下研磨盤，在上研磨盤和下研磨盤之間設置有晶片載具，在下研磨盤的中部具有一軸接驅動電機的中間轉軸，驅動電機固設在機架的底座內，所述中間轉軸的外圈齒輪與所述齒型孔嚙合連接，本實用用新型采用上、下兩研磨盤不動，晶片載具旋轉的工作模式，有效減少了研磨盤磨損程度，避免了研磨盤在高速旋轉狀態(tài)下易飛離的危險，采用晶片載具旋轉的模式，可以有效提高晶片的研磨效率，降低企業(yè)生產成本。
【專利說明】
晶片雙面研磨機
技術領域
[0001]本實用新型屬于半導體材料技術領域，特別是涉及一種晶片雙面研磨機。【背景技術】
[0002]半導體市場競爭的日趨激烈，降低能耗、節(jié)省成本、提升良率成為技術發(fā)展的核心，晶片的研磨目前主要采用二軸研磨機研磨，其將晶片粘貼在上研磨盤，下研磨盤旋轉， 帶動上研磨盤轉動，上研磨盤轉動同時左右擺動來研磨晶片靠著研磨盤的一面，研磨好后再將晶片反過來，研磨另一面，其效率低，晶片平行度、平整度不高。
【發(fā)明內容】
[0003]本實用新型的目的在于為解決現有技術的不足提供一種晶片雙面研磨機，其設計合理，操作方便，安全性能好，研磨效率高，降低了生產成本。
[0004]本實用新型解決其技術問題所采取的技術方案是:晶片雙面研磨機，包括機架，在機架設有上研磨盤、下研磨盤、晶片載具，上研磨盤上開設有進液口，上研磨盤通過連接柱連接氣缸，氣缸固定于機架上，上研磨盤的下端配合連接有下研磨盤，下研磨盤上開設有出液口，在上研磨盤和下研磨盤之間設置有晶片載具，所述晶片載具呈圓盤形，在晶片載具的中間開設有齒型孔，晶片載具的盤面上均勻布置若干載片穿孔，在下研磨盤的中部具有一軸接驅動電機的中間轉軸，驅動電機固設在機架的底座內，所述中間轉軸的外圈齒輪與所述齒型孔嚙合連接，在上研磨盤上還設有與中間轉軸相配合的導向孔，所述導向孔的下端設置有密封圈。
[0005]本實用新型的有益效果是:本實用用新型采用上、下兩研磨盤不動，晶片載具旋轉的工作模式，有效減少了研磨盤磨損程度，避免了研磨盤在高速旋轉狀態(tài)下易飛離的危險， 采用晶片載具旋轉的模式，可以有效提高晶片的研磨效率，降低企業(yè)生產成本?！靖綀D說明】
[0006]圖1為本實用新型的結構示意圖。圖中:
[0007]1.氣缸，2.密封圈，3.驅動電機，4.機架，5.上研磨盤，6.進液口，7.研磨液，8.晶片載具，9.出液口，10.下研磨盤，11.中間轉軸，12.底座，13.晶片?！揪唧w實施方式】
[0008]下面通過具體實施例進一步說明本實用新型的技術方案。
[0009]如圖1所示:晶片雙面研磨機，包括機架4，在機架4上設有上研磨盤5、下研磨盤10、 晶片載具8，上研磨盤5上開設有進液口 6，上研磨盤5通過連接柱連接氣缸1，氣缸1固定于機架4上，上研磨盤5的下端配合連接有下研磨盤10,所述下研磨盤10設有外沿邊，外沿邊內可以儲存研磨液7，下研磨盤10上還開設有出液口 9，通過進液口 6和出液口 9可以使研磨液7處于循環(huán)流動狀態(tài)，減小研磨過程中對研磨盤的磨損，提高晶片13的研磨精度，在上研磨盤5和下研磨盤10之間設置有晶片載具8,所述晶片載具8呈圓盤形，在晶片載具8的中間開設有齒型孔，晶片載具的盤面上均勻布置若干載片穿孔，在下研磨盤10的中部具有一軸接驅動電機3的中間轉軸11，驅動電機3固設在機架的底座12內，所述中間轉軸11的外圈齒輪與所述齒型孔嚙合連接，在上研磨盤5上還設有與中間轉軸11相配合的導向孔，所述導向孔的下端設置有密封圈2;工作時，驅動電機3帶動中間轉軸11旋轉，與中間轉軸11相嚙合連接的晶片載具8在驅動電機3的作用下，在上研磨盤5和下研磨盤10之間進行雙面研磨，本實用用新型采用上、下兩研磨盤不動，晶片載具旋轉的工作模式，有效減少了研磨盤磨損程度，避免了研磨盤在高速旋轉狀態(tài)下易飛離的危險，采用晶片載具8旋轉的模式，可以有效提高晶片 13的研磨效率，降低企業(yè)生產成本。
[0010]除說明書所述技術特征外，均為本專業(yè)技術人員已知技術。
【主權項】
1.晶片雙面研磨機，包括機架(4)，在機架(4)上設有上研磨盤(5)、下研磨盤(10)、晶片 載具(8)，上研磨盤(5)上開設有進液口(6)，上研磨盤(5)通過連接柱連接氣缸(1)，氣缸(1) 固定于機架(4)上，上研磨盤(5)的下端配合連接有下研磨盤(10)，下研磨盤(10)上開設有 出液口(9)，其特征在于:在上研磨盤(5)和下研磨盤(10)之間設置有晶片載具(8)，所述晶 片載具(8)呈圓盤形，在晶片載具(8)的中間開設有齒型孔，晶片載具(8)的盤面上均勻布置 若干載片穿孔，在下研磨盤(10)的中部具有一軸接驅動電機(3)的中間轉軸(11)，驅動電機 (3)固設在機架的底座(12)內，所述中間轉軸(11)的外圈齒輪與所述齒型孔嚙合連接，在上 研磨盤(5)上還設有與中間轉軸(11)相配合的導向孔，所述導向孔的下端設置有密封圈 (2)。
【文檔編號】B24B37/08GK205588134SQ201620401733
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年5月3日
【發(fā)明人】朱寧, 劉增偉, 韓勇
【申請人】元鴻（山東）光電材料有限公司