一種蒸鍍裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種蒸鍍裝置，包括對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱以產(chǎn)生蒸鍍氣體的坩堝，以及使得蒸鍍氣體從所述坩堝中噴出的多個(gè)噴嘴，所述蒸鍍裝置還包括與所述噴嘴一一對(duì)應(yīng)、用于監(jiān)測(cè)對(duì)應(yīng)噴嘴是否堵塞的監(jiān)測(cè)感應(yīng)器。本實(shí)用新型的有益效果是：及時(shí)的判斷是否有噴嘴堵塞，且準(zhǔn)確的判斷被堵塞的噴嘴的位置，以便及時(shí)對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通，避免產(chǎn)品不良。
【專利說(shuō)明】
一種蒸鍍裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸鍍裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]OLED是目前最先進(jìn)的顯示屏幕也是技術(shù)難度最大的顯示器件。相比于LCD屏幕，OLED屏幕可以實(shí)現(xiàn)柔性顯示以及更健康環(huán)保，越來(lái)越受到消費(fèi)者和市場(chǎng)的追捧。蒸鍍技術(shù)目前是OLED顯示器件量產(chǎn)的主流技術(shù)。蒸鍍技術(shù)就是在高真空的環(huán)境中對(duì)材料進(jìn)行加熱，使得材料熔融汽化或者直接升華后沉積到玻璃基本表面。
[0003]目前任何的蒸鍍?cè)O(shè)備都會(huì)有一定的幾率出現(xiàn)材料塞孔噴嘴的現(xiàn)象。這是由于材料，設(shè)備，溫度等原因使得材料在噴嘴處冷凝發(fā)生塞孔，使得噴嘴處速率降低，甚至?xí)l(fā)生材料完全將噴嘴塞孔。一旦噴嘴發(fā)生塞孔，而又沒(méi)有及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理會(huì)使得該材料在玻璃基板上的成膜厚度不均，最終導(dǎo)致OLED器件的壽命和效率下降。這種情況之下，只能被迫停止生產(chǎn)，將設(shè)備溫度降到室溫，破真空，由人員將塞孔處理后才可以恢復(fù)生產(chǎn)，這一流程需要花費(fèi)幾十個(gè)小時(shí)，不僅造成了材料的損失，同時(shí)也降低生產(chǎn)效率，打亂了生產(chǎn)計(jì)劃。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種蒸鍍裝置，及時(shí)的判斷是否有噴嘴堵塞，且準(zhǔn)確的判斷被堵塞的噴嘴的位置，避免基板上的成膜厚度不均。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種蒸鍍裝置，包括對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱以產(chǎn)生蒸鍍氣體的坩禍，以及使得蒸鍍氣體從所述坩禍中噴出的多個(gè)噴嘴，所述蒸鍍裝置還包括與所述噴嘴一一對(duì)應(yīng)、用于監(jiān)測(cè)對(duì)應(yīng)噴嘴是否堵塞的監(jiān)測(cè)感應(yīng)器。
[0006]進(jìn)一步的，所述蒸鍍裝置還包括:用于對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通的疏通結(jié)構(gòu)。
[0007]進(jìn)一步的，所述坩禍包括用于將蒸鍍材料加熱以產(chǎn)生蒸鍍氣體的內(nèi)坩禍，以及設(shè)置于所述內(nèi)坩禍外圍的外坩禍，所述外坩禍上沿所述外坩禍的長(zhǎng)度方向設(shè)有多個(gè)所述噴嘴。
[0008]進(jìn)一步的，相鄰兩個(gè)所述噴嘴之間設(shè)置有用于限制噴嘴蒸鍍區(qū)域以使得相鄰的所述噴嘴的蒸鍍區(qū)域互不影響的噴嘴限制板，所述噴嘴限制板設(shè)于所述外坩禍上。
[0009]進(jìn)一步的，所述監(jiān)測(cè)感應(yīng)器通過(guò)固定連接件固定于所述噴嘴限制板的一側(cè)。
[0010]進(jìn)一步的，所述疏通結(jié)構(gòu)包括:
[0011 ]用于進(jìn)入堵塞的噴嘴內(nèi)，對(duì)噴嘴進(jìn)行疏通的疏通棒；
[0012]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在多個(gè)噴嘴之間移動(dòng)，以將所述疏通棒運(yùn)送至堵塞的噴嘴的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元；
[0013]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在噴嘴的深度方向移動(dòng)以對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通的第二驅(qū)動(dòng)單元。
[0014]進(jìn)一步的，所述疏通結(jié)構(gòu)包括:
[0015]用于通過(guò)對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行加熱以疏通的疏通棒；
[0016]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在多個(gè)噴嘴之間移動(dòng)，以將所述疏通棒運(yùn)送至堵塞的噴嘴的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元。
[0017]進(jìn)一步的，所述疏通結(jié)構(gòu)包括:
[0018]用于進(jìn)入堵塞的噴嘴內(nèi)，同時(shí)對(duì)噴嘴進(jìn)行加熱以疏通噴嘴的疏通棒；
[0019]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在多個(gè)噴嘴之間移動(dòng)，以將所述疏通棒運(yùn)送至堵塞的噴嘴的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元；
[0020]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在噴嘴的深度方向移動(dòng)以對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通的第二驅(qū)動(dòng)單元。
[0021 ]進(jìn)一步的，所述疏通棒為一橫截面積小于所述噴嘴的面積的柱體結(jié)構(gòu)。
[0022]進(jìn)一步的，所述疏通棒對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行加熱的溫度為30度-500度。
[0023]本實(shí)用新型的有益效果是:及時(shí)的判斷是否有噴嘴堵塞，且準(zhǔn)確的判斷被堵塞的噴嘴的位置，以便及時(shí)對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通，避免產(chǎn)品不良。
【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1表示本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2表示本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍裝置部分結(jié)構(gòu)剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3表示本實(shí)用新型實(shí)施例中噴嘴蒸鍍區(qū)域示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，所舉實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型，并非以此限定本實(shí)用新型保護(hù)范圍。
[0028]如圖1至圖3所示，本實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置，包括對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱以產(chǎn)生蒸鍍氣體的坩禍，以及使得蒸鍍氣體從所述坩禍中噴出的多個(gè)噴嘴3，所述多個(gè)噴嘴3之間相互獨(dú)立、蒸鍍區(qū)域互不影響，所述蒸鍍裝置還包括與所述噴嘴3—一對(duì)應(yīng)、用于監(jiān)測(cè)對(duì)應(yīng)噴嘴3是否堵塞的監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2。
[0029]多個(gè)噴嘴3之間是相互獨(dú)立的，蒸鍍區(qū)域互不影響，如圖3所示，A區(qū)域不受其他噴嘴3的影響，每一個(gè)噴嘴3對(duì)應(yīng)一個(gè)監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2，當(dāng)一個(gè)噴嘴3發(fā)生塞孔時(shí)，對(duì)應(yīng)的監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2偵測(cè)到的速率明顯降低，當(dāng)噴嘴3全部塞孔時(shí)，監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2無(wú)速率，這樣可以及時(shí)的判斷是否有噴嘴3堵塞，且準(zhǔn)確的判斷被堵塞的噴嘴3的位置，以使得被堵塞的噴嘴3可以被及時(shí)處理，避免基板上成膜厚度不均導(dǎo)致OLED器件的壽命和效率下降。
[0030]進(jìn)一步的，所述坩禍包括用于將蒸鍍材料加熱以產(chǎn)生蒸鍍氣體的內(nèi)坩禍6，以及設(shè)置于所述內(nèi)坩禍6外圍的外坩禍4，所述外坩禍4上沿所述外坩禍4的長(zhǎng)度方向設(shè)有多個(gè)所述噴嘴3，如圖2所示。
[0031]蒸鍍工藝條件下，內(nèi)坩禍6的材料受熱氣化或升華后經(jīng)外坩禍4上的噴嘴3噴出后在玻璃襯底上成膜。
[0032]進(jìn)一步的，相鄰兩個(gè)所述噴嘴3之間設(shè)置有用于限制噴嘴3蒸鍍區(qū)域的噴嘴3限制板I，所述噴嘴3限制板I設(shè)于所述外坩禍4上。
[0033]限制板I的設(shè)置實(shí)現(xiàn)所述多個(gè)噴嘴3之間相互獨(dú)立、蒸鍍區(qū)域互不影響，噴嘴3間的限制板I使得在一定范圍內(nèi)一個(gè)噴嘴3的蒸鍍區(qū)域不受其他噴嘴3的無(wú)影響，每一個(gè)噴嘴3對(duì)應(yīng)唯一的監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2，監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2位于無(wú)其他噴嘴3影響的區(qū)域內(nèi)，用于單獨(dú)監(jiān)測(cè)相應(yīng)噴嘴3的蒸鍍速率，排除其他噴嘴3的干擾。
[0034]本實(shí)施例中，所述監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2通過(guò)固定連接件固定于所述噴嘴3限制板I的一側(cè)。如圖1和圖2所示，固定連接件為設(shè)置在噴嘴3限制板I 一側(cè)的條形連接板，條形連接板被噴嘴3限制板I分割成對(duì)應(yīng)于每個(gè)噴嘴3的多個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域內(nèi)設(shè)有一個(gè)監(jiān)測(cè)感應(yīng)器2。
[0035]進(jìn)一步的，所述蒸鍍裝置還包括:用于對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行疏通的疏通結(jié)構(gòu)。
[0036]疏通結(jié)構(gòu)的設(shè)置及時(shí)對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行疏通，不必停止生產(chǎn)即可完成對(duì)堵塞噴嘴3的疏通，提尚生廣效率。
[0037]所述疏通結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要實(shí)現(xiàn)對(duì)堵塞的噴嘴3的疏通即可，以下介紹本實(shí)施例中疏通結(jié)構(gòu)的幾種結(jié)構(gòu)形式。
[0038]結(jié)構(gòu)形式一:所述疏通結(jié)構(gòu)包括:
[0039]用于進(jìn)入堵塞的噴嘴3內(nèi)，對(duì)噴嘴3進(jìn)行疏通的疏通棒5;
[0040]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒5在多個(gè)噴嘴3之間移動(dòng)，以將所述疏通棒5運(yùn)送至堵塞的噴嘴3的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元；
[0041]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒5在噴嘴3的深度方向移動(dòng)以對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行疏通的第二驅(qū)動(dòng)單元。
[0042]第一驅(qū)動(dòng)單元的設(shè)置可以使得疏通棒5可以移動(dòng)到任一噴嘴3的位置，以便疏通棒5移動(dòng)到堵塞的噴嘴3，第二驅(qū)動(dòng)單元的設(shè)置使得疏通棒5通過(guò)機(jī)械力對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行疏通，便捷高效。
[0043]進(jìn)一步的，所述疏通棒5為一橫截面積小于所述噴嘴3的面積的柱體結(jié)構(gòu)。
[0044]結(jié)構(gòu)形式二:所述疏通結(jié)構(gòu)包括:
[0045]用于通過(guò)對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行加熱以疏通的疏通棒5;
[0046]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒5在多個(gè)噴嘴3之間移動(dòng)，以將所述疏通棒5運(yùn)送至堵塞的噴嘴3的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元。
[0047]通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)單元的設(shè)置快速、準(zhǔn)確的將疏通棒5移動(dòng)到堵塞的噴嘴3對(duì)應(yīng)的位置，然后通過(guò)加熱的方式對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行疏通。
[0048]進(jìn)一步的，所述疏通棒5對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行加熱的溫度為30度-500度。
[0049]結(jié)構(gòu)形式三:所述疏通結(jié)構(gòu)包括:
[0050]用于進(jìn)入堵塞的噴嘴3內(nèi)，同時(shí)對(duì)噴嘴3進(jìn)行加熱以疏通噴嘴3的疏通棒5;
[0051]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒5在多個(gè)噴嘴3之間移動(dòng)，以將所述疏通棒5運(yùn)送至堵塞的噴嘴3的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元；
[0052]用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒5在噴嘴3的深度方向移動(dòng)以對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行疏通的第二驅(qū)動(dòng)單元。
[0053]同時(shí)采用機(jī)械力和加熱的方式對(duì)堵塞的噴嘴3進(jìn)行疏通，進(jìn)一步的提高疏通的效率。
[0054]一旦某個(gè)噴嘴3發(fā)生塞孔，疏塞棒在第一驅(qū)動(dòng)單元的帶動(dòng)下移動(dòng)至發(fā)生塞孔的噴嘴3位置，疏塞棒既可以升溫加熱，對(duì)發(fā)生塞孔的噴嘴3進(jìn)行熱處理，使材料蒸發(fā)解決塞孔，或者通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)直接利用機(jī)械力疏通塞孔，也可以兩種方式同時(shí)使用，提高效率。
[0055]本實(shí)施例中，所述第一驅(qū)動(dòng)單元包括電機(jī)，以及與電機(jī)連接的伸縮式連接桿。
[0056]所述第二驅(qū)動(dòng)單元包括與所述伸縮式連接桿連接、并可帶動(dòng)所述伸縮式連接桿在與噴嘴3的深度方向相平行的方向移動(dòng)的升降結(jié)構(gòu)。
[0057]以上所述為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，需要說(shuō)明的是，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種蒸鍍裝置，包括對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱以產(chǎn)生蒸鍍氣體的坩禍，以及使得蒸鍍氣體從所述坩禍中噴出的多個(gè)噴嘴，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括與所述噴嘴一一對(duì)應(yīng)、用于監(jiān)測(cè)對(duì)應(yīng)噴嘴是否堵塞的監(jiān)測(cè)感應(yīng)器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括:用于對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通的疏通結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述坩禍包括用于將蒸鍍材料加熱以產(chǎn)生蒸鍍氣體的內(nèi)坩禍，以及設(shè)置于所述內(nèi)坩禍外圍的外坩禍，所述外坩禍上沿所述外坩禍的長(zhǎng)度方向設(shè)有多個(gè)所述噴嘴。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，相鄰兩個(gè)所述噴嘴之間設(shè)置有用于限制噴嘴蒸鍍區(qū)域以使得相鄰的所述噴嘴的蒸鍍區(qū)域互不影響的噴嘴限制板，所述噴嘴限制板設(shè)于所述外坩禍上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)感應(yīng)器通過(guò)固定連接件固定于所述噴嘴限制板的一側(cè)。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述疏通結(jié)構(gòu)包括: 用于進(jìn)入堵塞的噴嘴內(nèi)，對(duì)噴嘴進(jìn)行疏通的疏通棒； 用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在多個(gè)噴嘴之間移動(dòng)，以將所述疏通棒運(yùn)送至堵塞的噴嘴的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元； 用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在噴嘴的深度方向移動(dòng)以對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通的第二驅(qū)動(dòng)單J L ο7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述疏通結(jié)構(gòu)包括: 用于通過(guò)對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行加熱以疏通的疏通棒； 用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在多個(gè)噴嘴之間移動(dòng)，以將所述疏通棒運(yùn)送至堵塞的噴嘴的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述疏通結(jié)構(gòu)包括: 用于進(jìn)入堵塞的噴嘴內(nèi)，同時(shí)對(duì)噴嘴進(jìn)行加熱以疏通噴嘴的疏通棒； 用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在多個(gè)噴嘴之間移動(dòng)，以將所述疏通棒運(yùn)送至堵塞的噴嘴的位置的第一驅(qū)動(dòng)單元； 用于驅(qū)動(dòng)所述疏通棒在噴嘴的深度方向移動(dòng)以對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通的第二驅(qū)動(dòng)單J L ο9.根據(jù)權(quán)利要求6或8所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述疏通棒為一橫截面積小于所述噴嘴的面積的柱體結(jié)構(gòu)。10.根據(jù)權(quán)利要求7或8的所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述疏通棒對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行加熱的溫度為30度-500度。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK205662590SQ201620583798
【公開(kāi)日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年6月14日
【發(fā)明人】李元虎, 郭書鵬, 鄒清華, 王玉
【申請(qǐng)人】合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司