一種一體式冷凍弧源的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種一體式冷凍弧源，涉及真空離子鍍技術(shù)領(lǐng)域，包括引弧組件、蒸發(fā)源、水冷套、調(diào)節(jié)套、屏蔽組件、法蘭和磁場(chǎng)微調(diào)組件，所述蒸發(fā)源設(shè)于法蘭的右側(cè)并通過(guò)調(diào)節(jié)套固定在法蘭上，所述水冷套設(shè)于法蘭的左側(cè)，水冷套與法蘭一體焊接成型并組成一水冷腔，水冷腔左側(cè)上下分別設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述引弧組件安裝在法蘭上并位于蒸發(fā)源的側(cè)面，所述磁場(chǎng)微調(diào)組件設(shè)于水冷套的左側(cè)并通過(guò)封蓋固定，所述屏蔽組件安裝于法蘭的側(cè)面，本實(shí)用新型采用整體焊接工藝，水冷套與法蘭一體化焊接，使其燃燒材料時(shí)，表面溫度低，同時(shí)增加大水冷套，使其流量大，效果佳，避免產(chǎn)生過(guò)熱現(xiàn)象，整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便。
【專利說(shuō)明】
_種_體式冷凍弧源
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及真空離子鍍技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種一體式冷凍弧源。
【背景技術(shù)】
[0002]電弧離子鍍(Arc1n Plating)離子鍍膜，是70年代由蘇聯(lián)人發(fā)明，80年代初，美國(guó)的Muti Arc公司將其應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)，后來(lái)在世界范圍內(nèi)得到蓬勃發(fā)展。鍍出的膜層速度快、致密度高，結(jié)合力好等特點(diǎn)。世界上比較知名的鍍膜設(shè)備廠如荷蘭的hauzer;瑞士balzers；日本kobelco等。國(guó)內(nèi)有普斯特;實(shí)力源;丹普等。
[0003]該技術(shù)具備很多優(yōu)點(diǎn)，離化率高70%?80 %，所以沉積速度快、繞鍍性好、膜基結(jié)合力和膜層性能好;不產(chǎn)生熔池可以合理分配靶的位置，膜層均勻性好;可以施加負(fù)偏壓，入射離子能量高，膜層致密度高，由于可以活化膜基界面，促進(jìn)原子擴(kuò)散，因而膜基結(jié)合力好;一弧多用是蒸發(fā)源、離化源加熱源、清洗;可以低溫沉積;應(yīng)用廣泛，主要牽涉到各種刀具;車(chē)輛零部件;航空業(yè);鐘表行業(yè);各種裝飾。
[0004]目前的電弧源主要存在以下問(wèn)題:靶材表面燃燒溫度太高，濺射速率低，對(duì)于燃燒高熔點(diǎn)材料，容易產(chǎn)生過(guò)熱現(xiàn)象。申請(qǐng)?zhí)枮镃N 201520486173.9公開(kāi)了一種陰極電弧源，包括陰極底座，所述陰極底座的內(nèi)側(cè)壁上螺紋連接有永磁塊，外側(cè)壁上通過(guò)螺絲固定有法蘭板，且所述法蘭板在陰極底座的外側(cè)接裝有陽(yáng)極筒，其中所述陰極底座與法蘭板、以及陽(yáng)極筒之間相互絕緣設(shè)置;所述陽(yáng)極筒在背離所述法蘭板的一側(cè)裝配有連接柱，并通過(guò)該連接柱接裝有陽(yáng)極罩;所述陰極底座上開(kāi)設(shè)有水冷內(nèi)腔，并在該水冷內(nèi)腔的頂壁上通過(guò)卡環(huán)連接件卡接有靶材，且所述靶材貼合于陰極底座中水冷內(nèi)腔的頂壁設(shè)置;所述頂壁設(shè)為具有彈性的隔膜板，并可在水冷內(nèi)腔水壓的作用下發(fā)生形變以貼合靶材。但是該種電弧源仍沒(méi)有解決靶材表面燃燒溫度太高、濺射速率低的問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種一體式冷凍弧源，以解決現(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)致的上述多項(xiàng)缺陷。
[0006]—種一體式冷凍弧源，包括引弧組件、蒸發(fā)源、水冷套、調(diào)節(jié)套、屏蔽組件、法蘭和磁場(chǎng)微調(diào)組件，所述蒸發(fā)源設(shè)于法蘭的右側(cè)并通過(guò)調(diào)節(jié)套固定在法蘭上，所述水冷套設(shè)于法蘭的左側(cè)，水冷套與法蘭一體焊接成型并組成一水冷腔，水冷腔左側(cè)上下分別設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述引弧組件安裝在法蘭上并位于蒸發(fā)源的側(cè)面，所述磁場(chǎng)微調(diào)組件設(shè)于水冷套的左側(cè)并通過(guò)封蓋固定，所述屏蔽組件安裝于法蘭的側(cè)面。
[0007]優(yōu)選的，所述磁場(chǎng)微調(diào)組件包括調(diào)節(jié)桿、安裝板和永磁體，調(diào)節(jié)桿穿設(shè)在封蓋內(nèi)并可在封蓋內(nèi)來(lái)回滑動(dòng)，調(diào)節(jié)桿的里端連接有所述安裝板，永磁體固定在安裝板的里端。
[0008]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)桿的外端連接有提拉塊。
[0009]優(yōu)選的，所述法蘭與屏蔽組件之間還設(shè)有絕緣套件。
[0010]優(yōu)選的，所述永磁體的形狀具體為環(huán)形。
[0011]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:該種電弧源采用整體焊接工藝，水冷套與法蘭一體化焊接，使其燃燒材料時(shí)，表面溫度低，同時(shí)增加大水冷套，使其流量大，效果佳，避免產(chǎn)生過(guò)熱現(xiàn)象，整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型所述的一種一體式冷凍弧源的正剖視圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型所述的一種一體式冷凍弧源中永磁體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]其中:I一引弧組件，2—蒸發(fā)源，3—水冷套，4一調(diào)節(jié)套，5—屏蔽組件，6—絕緣套件，7—水冷腔，8—法蘭，9一調(diào)節(jié)桿，1—安裝板，11 一永磁體，12—提拉塊，13—封蓋，14一進(jìn)水口，15—出水口。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0016]如圖1所示，一種一體式冷凍弧源，包括引弧組件1、蒸發(fā)源2、水冷套3、調(diào)節(jié)套4、屏蔽組件5、法蘭8和磁場(chǎng)微調(diào)組件，所述蒸發(fā)源2設(shè)于法蘭8的右側(cè)并通過(guò)調(diào)節(jié)套4固定在法蘭8上，所述水冷套3設(shè)于法蘭8的左側(cè)，水冷套3與法蘭8—體焊接成型并組成一水冷腔7，水冷腔7左側(cè)上下分別設(shè)有進(jìn)水口 14和出水口 15，所述引弧組件I安裝在法蘭8上并位于蒸發(fā)源2的側(cè)面，所述磁場(chǎng)微調(diào)組件設(shè)于水冷套3的左側(cè)并通過(guò)封蓋13固定，所述屏蔽組件5安裝于法蘭8的側(cè)面，該種電弧源采用整體焊接工藝，水冷套3與法蘭8—體化焊接，使其燃燒材料時(shí)，表面溫度低，同時(shí)增加大水冷套3，使其流量大，效果佳，避免產(chǎn)生過(guò)熱現(xiàn)象，整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便。
[0017]值得注意的是，所述磁場(chǎng)微調(diào)組件包括調(diào)節(jié)桿9、安裝板10和永磁體11，調(diào)節(jié)桿9穿設(shè)在封蓋13內(nèi)并可在封蓋13內(nèi)來(lái)回滑動(dòng)，調(diào)節(jié)桿9的里端連接有所述安裝板1，永磁體11固定在安裝板10的里端，所述調(diào)節(jié)桿9的外端連接有提拉塊12，所述永磁體11的形狀具體為環(huán)形。
[0018]在本實(shí)施例中，所述法蘭8與屏蔽組件5之間還設(shè)有絕緣套件6。
[0019]基于上述，本實(shí)用新型采用整體焊接工藝，水冷套3與法蘭8—體化焊接，使其燃燒材料時(shí)，表面溫度低，同時(shí)增加大水冷套3，使其流量大，效果佳，避免產(chǎn)生過(guò)熱現(xiàn)象，整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便，鍍膜效果好。
[0020]由技術(shù)常識(shí)可知，本實(shí)用新型可以通過(guò)其它的不脫離其精神實(shí)質(zhì)或必要特征的實(shí)施方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。因此，上述公開(kāi)的實(shí)施方案，就各方面而言，都只是舉例說(shuō)明，并不是僅有的。所有在本實(shí)用新型范圍內(nèi)或在等同于本實(shí)用新型的范圍內(nèi)的改變均被本實(shí)用新型包含ο
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種一體式冷凍弧源，其特征在于，包括引弧組件、蒸發(fā)源、水冷套、調(diào)節(jié)套、屏蔽組件、法蘭和磁場(chǎng)微調(diào)組件，所述蒸發(fā)源設(shè)于法蘭的右側(cè)并通過(guò)調(diào)節(jié)套固定在法蘭上，所述水冷套設(shè)于法蘭的左側(cè)，水冷套與法蘭一體焊接成型并組成一水冷腔，水冷腔左側(cè)上下分別設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述引弧組件安裝在法蘭上并位于蒸發(fā)源的側(cè)面，所述磁場(chǎng)微調(diào)組件設(shè)于水冷套的左側(cè)并通過(guò)封蓋固定，所述屏蔽組件安裝于法蘭的側(cè)面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種一體式冷凍弧源，其特征在于:所述磁場(chǎng)微調(diào)組件包括調(diào)節(jié)桿、安裝板和永磁體，調(diào)節(jié)桿穿設(shè)在封蓋內(nèi)并可在封蓋內(nèi)來(lái)回滑動(dòng)，調(diào)節(jié)桿的里端連接有所述安裝板，永磁體固定在安裝板的里端。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種一體式冷凍弧源，其特征在于:所述調(diào)節(jié)桿的外端連接有提拉塊。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種一體式冷凍弧源，其特征在于:所述法蘭與屏蔽組件之間還設(shè)有絕緣套件。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種一體式冷凍弧源，其特征在于:所述永磁體的形狀具體為環(huán)形。
【文檔編號(hào)】C23C14/32GK205688002SQ201620436071
【公開(kāi)日】2016年11月16日
【申請(qǐng)日】2016年5月14日 公開(kāi)號(hào)201620436071.0, CN 201620436071, CN 205688002 U, CN 205688002U, CN-U-205688002, CN201620436071, CN201620436071.0, CN205688002 U, CN205688002U
【發(fā)明人】武文全
【申請(qǐng)人】佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司