專利名稱：一種回收廢硅料的反應(yīng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于硅料處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種回收廢硅料的反應(yīng)器。
背景技術(shù)：
硅是重要的半導(dǎo)體原料，應(yīng)用于許多重耍領(lǐng)域。但硅是一種不可再生能 源，隨著現(xiàn)代化建設(shè)的快速發(fā)展，硅料供應(yīng)日趨緊張，并出現(xiàn)短缺現(xiàn)象，所以回收廢硅料重復(fù)利用具有重要意義。廢硅料表層有沾污、鑲嵌研磨砂及PN 結(jié)，因此，必須在堿液中進(jìn)行減溥去層處理，去除污物及雜質(zhì)層，以達(dá)到半 導(dǎo)體硅料的純度要求。此處理過程在反應(yīng)器中進(jìn)行，首先將堿液倒入反應(yīng)器, 然后將廢硅料加入反應(yīng)器，廢硅料浸泡于堿液并翻動(dòng)廢硅料，使硅枓表層與 堿液完全反應(yīng)。目前的反應(yīng)器呈碗狀，硅料浸泡于堿液達(dá)到規(guī)定時(shí)間，加水 稀釋堿液，反應(yīng)停止，同時(shí)通過反應(yīng)器壁開設(shè)的排液孔排放堿液，此時(shí)要求 快速排放，否則硅料表面會(huì)產(chǎn)生白霧，影響硅料質(zhì)量。目前反應(yīng)器的排液孔 以底部中心為中孔，并以該中孔為中點(diǎn)均勻布置。但是，由于重辦作用，廢 硅料沉積于反應(yīng)器底部，容易堵塞反應(yīng)器的排液孔，造成堿液不能快速排放 而引起硅料表面產(chǎn)生白霧。因此，有必耍對(duì)回收廢硅料的反應(yīng)器進(jìn)行改進(jìn)和 創(chuàng)新，以克服上述缺陷。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型公開了一種排液孔不易堵塞的回收廢硅料的反應(yīng)器。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所釆取的技術(shù)方案 一種回收廢硅料 的反應(yīng)器，反應(yīng)器呈碗狀，器壁開設(shè)數(shù)個(gè)排液孔，排液孔偏離反應(yīng)器底部中 心設(shè)置。所述的反應(yīng)器，排液孔按上大下小布置。本實(shí)用新型回收廢硅料的反應(yīng)器呈碗狀，內(nèi)壁光滑，因此不存在死角。 廢硅料和堿液反應(yīng)時(shí)，放出熱量使溶液沸騰，廢硅料在反應(yīng)器內(nèi)均勻流動(dòng)， 無重疊現(xiàn)象，反應(yīng)均勻。在反應(yīng)器偏離底部中心點(diǎn)打出數(shù)個(gè)排液孔，排液孔 的孔徑上大下小，排液孔與反應(yīng)器壁外的漏斗形出液口柑連通。本實(shí)用新型 反應(yīng)器的排液孔偏離反應(yīng)器底部中心設(shè)置，廢硅料在重方作甩下，沉積在反 應(yīng)器最底部的中心，而不堵塞排液孔，暢通的排液孔可快速排放堿液，保正 了所回收廢硅料的質(zhì)量。


圖1為本實(shí)用新型的俯視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說明。如圖1所示，回收廢硅料的反應(yīng)器1呈碗狀，由不銹鋼制成，其內(nèi)壁光 滑。反應(yīng)器1器壁偏離底部中心設(shè)置多個(gè)排液孔2，為保證細(xì)粒度的硅抖不從 排液孔2流出及快速排液，排液孔2的孔徑從上往下由大到小分布。排液孔2 與反應(yīng)器外壁安裝的漏斗形出液口相連通，通過出液口快速往外排放堿液。
權(quán)利要求1、一種回收廢硅料的反應(yīng)器，反應(yīng)器呈碗狀，器壁開設(shè)數(shù)個(gè)排液孔，其特征在于排液孔偏離反應(yīng)器底部中心設(shè)置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)器，其特征在于排液孔按上大下小布置。
專利摘要本實(shí)用新型屬于硅料處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種回收廢硅料的反應(yīng)器，反應(yīng)器呈碗狀，器壁開設(shè)數(shù)個(gè)排液孔，排液孔偏離反應(yīng)器底部中心設(shè)置。本實(shí)用新型反應(yīng)器的排液孔偏離反應(yīng)器底部中心設(shè)置，廢硅料在重力作用下，沉積在反應(yīng)器最底部的中心，而不堵塞排液孔，暢通的排液孔可快速排放堿液，保證了所回收廢硅料的質(zhì)量。
文檔編號(hào)C01B33/037GK201016091SQ20062014177
公開日2008年2月6日 申請日期2006年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月30日
發(fā)明者劉磊磊, 吳云才 申請人:浙江昱輝陽光能源有限公司