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      一種亞穩(wěn)態(tài)儲(chǔ)能粒子-SiO(b<sup>3</sup>П)的合成裝置的制作方法

      文檔序號(hào):3434008閱讀:242來源:國(guó)知局
      專利名稱:一種亞穩(wěn)態(tài)儲(chǔ)能粒子-SiO(b<sup>3</sup>П)的合成裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種高溫合成亞穩(wěn)^i諸能粒子Sio(b3n)的裝置。它的主要用途是合成高濃度的SiO(b3n)儲(chǔ)能粒子,為Na、 Tl、 Ga等原子激光器提供能源。該裝置的最大特點(diǎn)是操作簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn),性能穩(wěn)定且易于放大。該裝置的成功建立, 為Na、 Tl、 Ga等原子激光飄開究提供了lt^條件。特別是Na原子激光器,是目 前激光f!5開究的一個(gè)熱點(diǎn)。
      技術(shù)背景上世紀(jì)80年代,研究人員就發(fā)現(xiàn)亞穩(wěn)態(tài)的sio (b3n)是一種很好的儲(chǔ)能粒子,其能量接近3.5eV,壽命在10ms量級(jí)。實(shí)^i正實(shí)SiO(b3n)可以與Tl (535皿)、 Ga (417nm)、 Na (569、 616 nm)等原子發(fā)生高效的近共振傳能并將這些原子從基態(tài)激發(fā)到激發(fā)態(tài)。研究表明Na原子與SiO(b3n)的近共振傳能是最容易實(shí)na最有效的。由此形成了鈉原子化學(xué)激光的概念,其最佳發(fā)光波長(zhǎng)在569nm,屬于可 見波段。目前存在的化學(xué)激光都處在紅外波段,因此鈉原子化學(xué)激光延伸了目前 化學(xué)激光的波長(zhǎng)范圍,也表現(xiàn)出了一些獨(dú)特的應(yīng)用前景。SiO(b3n)是納原子化學(xué)激光的能源。如何簡(jiǎn)單、高效地合成SiO(b3n)是目 前研究的一個(gè)關(guān)鍵問題。通過氣相單質(zhì)硅原子和即反應(yīng)生成Sio(b3n)是目前最常用的方法。在以往的大部分研究中,氣相Si原子都是通過蒸發(fā)單質(zhì)Si產(chǎn)生的。 這種方法的主要缺點(diǎn)是需要的,過高(超過160(TC),而且產(chǎn)生的Si原子的濃 度低。少數(shù)幾個(gè)研究SiO光譜的實(shí)驗(yàn)中,使用了不同的裂解SiH4的方法來獲取氣相Si原子,其中包括直流放電解離和激波解離,這兩個(gè)方法共同的問題^x隹于控制、產(chǎn)物復(fù)雜、光譜測(cè)試干擾大。為了避^J:述方法的局限,美國(guó)人J. M. St印hens通過熱解s諷產(chǎn)生si原子,建立了一禾中易于控制和放大的Sio(b3n)合成實(shí)驗(yàn)裝置。但是J.M. St印hens的裝置對(duì)材半接求嚴(yán)格,成^高且難以實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明 在J.M. St印hens技術(shù)路線的基礎(chǔ)上,建立了一個(gè)結(jié)構(gòu)完全不同的裝置,成功合成了高濃度的sioom)粒子。同時(shí)該裝置對(duì)材料的要求較低,易于實(shí)現(xiàn),而且操作簡(jiǎn)單,性能穩(wěn)定。該裝置的建立為相應(yīng)的金屬原子激光f^寺別是Na原子激光器 的研究奠定了基礎(chǔ)。Na原子激光器的工作原理如下7Va(4t/2/)) — 7Va(3; 2尸)+ V(569畫)(1)(3)(4)反應(yīng)(i)產(chǎn)生了亞穩(wěn)態(tài)的SiO(a3s+, b3n),該反應(yīng)的量子效率很高且b3n占絕對(duì)多數(shù)。SiO( b3n)與Na原子的基態(tài)3s2S發(fā)生近共振傳能將基態(tài)鈉原子泵浦到 4d2D能級(jí)(式2)。隨后,Na(4cfD)發(fā)生自發(fā)輻射和受激輻射,發(fā)出569醒的激光(式 3、 4)。 Na原子激光器的發(fā)光波長(zhǎng)位于可見區(qū)域,目前在很多領(lǐng)域有著迫切的應(yīng) 用需求,因此Na原子激光器是目前激光器研究的一個(gè)熱點(diǎn)。本發(fā)明對(duì)于Na原子 激光器的實(shí)驗(yàn)研究甚至以后的商品化開發(fā)奠定了基礎(chǔ)。本發(fā)明的目的在于提供一種方便快捷的合成SiO( b3n)粒子的裝置。通過該裝置可以合成高濃度的亞穩(wěn)態(tài)儲(chǔ)能粒子SiO( b3n),并且可以實(shí)時(shí)測(cè)到該粒子的鄉(xiāng)fe^農(nóng)度。該裝置可以作為將來Na、 Tl、 Ga等原子激光器的能源部件。 為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案為 一種亞穩(wěn)態(tài)儲(chǔ)能粒子一Si0(b3n)的合成裝置,包括S迅儲(chǔ)氣瓶、氦氣儲(chǔ)氣瓶、&0儲(chǔ)氣瓶、載氣儲(chǔ)氣瓶、高溫?zé)峤鉅t、透鏡和光譜儀,高溫?zé)峤鉅t為管式結(jié)構(gòu),其由外向內(nèi)依次為整體的不銹鋼密封外殼、石棉保溫層和SiC管高溫爐膛,在爐膛的中部軸向設(shè)置有熱電偶,在爐膛的SiC管外壁上纏繞有高溫電熱絲;SiH4儲(chǔ)氣瓶和氦氣儲(chǔ)氣瓶通過管路經(jīng)氣體混合器與高溫?zé)峤鉅t的氣體入口相連,在高溫?zé)峤鉅t的氣體出口外側(cè)設(shè)置有N20及其載氣的噴嘴,噴嘴通過管路經(jīng)氣體混合器與即儲(chǔ)氣瓶和載氣儲(chǔ)氣瓶相連,即與高溫?zé)峤鉅t氣體出口的主氣流相交反應(yīng),形成反應(yīng)區(qū),在反應(yīng)區(qū)的夕M則沿高溫?zé)峤鉅t的徑向設(shè)置有觀測(cè)筒,觀測(cè)筒內(nèi)為測(cè)試區(qū)域,觀測(cè)筒通過管路與真空系統(tǒng)連接,觀測(cè)筒外端依次設(shè)置有透鏡和光譜儀,觀測(cè)筒、透鏡和光譜儀光路連接;光譜儀通過線路與計(jì)算機(jī)信號(hào)連接c所述熱電偶和高溫電熱絲通過線路與一溫度控制器電連接;在氣體混合器 與高溫?zé)峤鉅t之間的管路及氣體混合器與噴嘴之間的管路上分別設(shè)置有閥;在 SiH4儲(chǔ)氣瓶、氦氣儲(chǔ)氣瓶、N/)儲(chǔ)氣瓶及載氣儲(chǔ)氣瓶的氣體出口管路上分別設(shè)置發(fā)明內(nèi)容有流量控制器;在高溫?zé)峤鉅t的氣體入口和氣體出口處均設(shè)置有硅橡膠密封墊圈; 在高溫?zé)峤鉅t的氣體出口外側(cè)均勻設(shè)置有即及其載氣的噴嘴。 本發(fā)明的有益效果是1、 通過本發(fā)明可以很方便地建立一個(gè)合成亞穩(wěn)態(tài)儲(chǔ)能粒子Sio( b3n)的裝置,為Na、 Tl、 Ga等金屬原子激光研究提供能源。也有可能為將要實(shí)現(xiàn)的商品化 的Na、 Tl、 Ga等金屬原子激光器提供能源部件。2、 本發(fā)明可以同時(shí)檢測(cè)SiO(bSn)自發(fā)輻射光譜,并能給出粒子濃度??梢怨㏒iO( b3n)的相關(guān)研究提供研究介質(zhì)和相關(guān)數(shù)據(jù)。3、 本發(fā)明不僅可以合成高濃度的SiO(b3n)粒子,而且可以通過定標(biāo)的測(cè)試 系統(tǒng),x寸粒子濃度進(jìn)行定量測(cè)量。4:試驗(yàn)結(jié)果表明,本裝置操作簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn),性能穩(wěn)定且易于放大,可以 生成高濃度SiO(b3n)粒子,這為將來的Na、 Tl、 Ga等原子激光器進(jìn)一步發(fā)展提供了保障。


      圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明測(cè)到的Sio( b3n)自發(fā)輻射譜。 具體實(shí)肺式本發(fā)明通過一種操作簡(jiǎn)單,容易實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)裝置,合成高濃度的SiO(b3n)粒子。通過該裝置可以為將來的Na、 Tl、 Ga等原子激光器提供能源。 包括S諷熱解爐,氣體混M置和測(cè)試系統(tǒng)組成。SiH4高溫?zé)峤鉅t整體密封(密封材料為耐熱硅橡膠),采用常規(guī)電熱絲加熱; 爐 用常見的SiC管;保MJ1采用石棉填充材料;結(jié)構(gòu)為常規(guī)管式爐結(jié)構(gòu)。爐 體整體鑲嵌在一個(gè)不銹鋼外殼內(nèi),通過不f辯R外殼整體密封。爐子進(jìn)口和出口均 由硅橡膠墊圈密封。爐膛(SiC管)外面纏繞電熱絲,電熱絲從爐膛一段均勻纏 至另一端,以保證整個(gè)爐膛內(nèi)部溫度均勻;SiH4熱解爐內(nèi)膽從一端到另一端均被 均勻加熱,爐子盼直溫區(qū)長(zhǎng)度與爐膛長(zhǎng)度基本相當(dāng)。氣體混M置由氣體混合腔,流量控制器,計(jì)算機(jī)系統(tǒng),和N20噴嘴組成?;?及其載氣的進(jìn)氣口緊貼爐膛出口,而且采用圓周噴射的方式與主氣流混 合。S諷及其載氣從爐膛入口直接進(jìn)入,反應(yīng)氣體和載氣在一個(gè)混合器內(nèi)預(yù)混。 各氣體的流量分別由質(zhì)量流量計(jì)控制。質(zhì)量流量計(jì)與計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)連接,由計(jì) 算機(jī)軟件實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集和信號(hào)觸發(fā)。測(cè)量裝置由透鏡收集系統(tǒng)和光譜儀組成。通過由計(jì)量院標(biāo)定的氖燈可以x才該測(cè)量裝置進(jìn)行標(biāo)定。標(biāo)定后的須糧系統(tǒng)可以對(duì)發(fā)光粒子進(jìn)行鄉(xiāng)M^農(nóng)度測(cè)量。通過 測(cè)量數(shù)據(jù)可以調(diào)節(jié)和優(yōu)化實(shí)驗(yàn)^#,以滿足實(shí)際需求。 如圖1所示,具體結(jié)構(gòu)如下一種亞穩(wěn)刻諸能粒^^"Sio(b3n)的合成裝置,包括siH4儲(chǔ)氣瓶i、氦氣儲(chǔ)氣瓶2、 N20儲(chǔ)氣瓶18、載氣儲(chǔ)氣瓶19 (氦氣)、高溫?zé)峤鉅tll、透鏡13和光譜儀 12。高溫?zé)峤鉅t11為管式結(jié)構(gòu),其由外向內(nèi)依次為整體的不銹鋼密封外殼、石棉 保溫層10和SiC管高溫爐膛9,在爐膛9的中部軸向設(shè)置有熱電偶6,在爐膛9 的SiC管外壁上纏繞有高溫電熱絲;S諷儲(chǔ)氣瓶1和氦氣儲(chǔ)氣瓶2通過管路經(jīng)氣體混合器4與高溫?zé)峤鉅t11的 氣體入口相連,在高溫?zé)峤鉅tll的氣體出口外側(cè)均勻設(shè)置有即及其載氣的噴嘴 14,噴嘴14通過管路經(jīng)氣體混合器4與即儲(chǔ)氣瓶18和載氣儲(chǔ)氣瓶19相連,N20 與高溫?zé)峤鉅t11氣體出口的主氣流相交反應(yīng),形成反應(yīng)區(qū),在反應(yīng)區(qū)的外側(cè)沿高 溫?zé)峤鉅tll的徑向設(shè)置有觀測(cè)筒15,觀測(cè)筒15內(nèi)為測(cè)試區(qū)域17,觀測(cè)筒15通 過管路與真空系統(tǒng)16連接,觀測(cè)筒15外端依次設(shè)置有透鏡13和光譜儀12,觀 測(cè)筒15、透鏡13和光譜儀12 j^各連接;光譜儀12通過線路與計(jì)算機(jī)8信號(hào)連 接;熱電偶6和高溫電熱絲通過線路與一驢控制器7電連接;在氣體混合器4 與高溫?zé)峤鉅t11之間的管路及氣體混合器4與噴嘴14之間的管路上分別設(shè)置有 閥5;在S迅儲(chǔ)氣瓶1、氦氣儲(chǔ)氣瓶2、 N20儲(chǔ)氣瓶18及載氣儲(chǔ)氣瓶19的氣體出 口管路上分別設(shè)置有流量控制器3;在高溫?zé)峤鉅tll的氣體入口和氣體出口處均 設(shè)置有硅橡膠密封墊圈。禾擁本發(fā)明的合成實(shí)驗(yàn)裝置,對(duì)SiO( b3n)的發(fā)射光譜以及si0( b3n)與Na原子近共振傳能進(jìn)行了研究。實(shí)踐表明本發(fā)明的裝置很好地提供了研究所需要的亞穩(wěn)^M能粒^"Si0( b3n)。結(jié)果如圖2所示,其為本發(fā)明測(cè)到的SiO( b3n)自發(fā)輻射譜。具^t喿作步驟如下1:系統(tǒng)安裝。包括管路連接、密封;觀賦系統(tǒng)安裝調(diào)試。 2:實(shí)驗(yàn)前狀態(tài)檢查。包括真空i式漏和各測(cè)試設(shè)備檢查。3:開啟真空泵、流量計(jì)電源。4:開啟熱解爐電源,開始加熱。5:開啟計(jì)^m采集控制系統(tǒng),設(shè)置流量計(jì)參數(shù)。6:系統(tǒng)抽真空。7:待熱解爐加熱到90(TC以后,進(jìn)行如下操作① 開氣瓶閥;② 開艦閥。③ 開流量計(jì)開關(guān);8:待電爐加熱到100(TC以后,進(jìn)行如下操作:① 開啟SiH4流量控制器,開始進(jìn)S迅.② 開啟化0流量控制器,開始進(jìn)即.io:開始測(cè)試。此時(shí)系統(tǒng)開始合成sio( b3n).11:實(shí)驗(yàn)結(jié)束后,按下列順序關(guān)閉系統(tǒng)① 關(guān)閉各氣瓶閥;② 關(guān)閉各氣瓶減壓閥。③ 關(guān)閉電爐電源。 ⑤清洗流量控制器。
      :關(guān)閉流量控制器。⑦ 關(guān)閉真空系統(tǒng)。⑧ 關(guān)閉測(cè)試系統(tǒng)和計(jì)^m系統(tǒng)。12:最后安全檢査,實(shí)驗(yàn)結(jié)束。
      權(quán)利要求
      1.一種亞穩(wěn)態(tài)儲(chǔ)能粒子-SiO(b3∏)的合成裝置,包括SiH4儲(chǔ)氣瓶(1)、氦氣儲(chǔ)氣瓶(2)、N2O儲(chǔ)氣瓶(18)、載氣儲(chǔ)氣瓶(19)、高溫?zé)峤鉅t(11)、透鏡(13)和光譜儀(12),其特征在于高溫?zé)峤鉅t(11)為管式結(jié)構(gòu),其由外向內(nèi)依次為整體的不銹鋼密封外殼、石棉保溫層(10)和SiC管高溫爐膛(9),在爐膛(9)的中部軸向設(shè)置有熱電偶(6),在爐膛(9)的SiC管外壁上纏繞有高溫電熱絲;SiH4儲(chǔ)氣瓶(1)和氦氣儲(chǔ)氣瓶(2)通過管路經(jīng)氣體混合器(4)與高溫?zé)峤鉅t(11)的氣體入口相連,在高溫?zé)峤鉅t(11)的氣體出口外側(cè)設(shè)置有N2O及其載氣的噴嘴(14),噴嘴(14)通過管路經(jīng)氣體混合器(4)與N2O儲(chǔ)氣瓶(18)和載氣儲(chǔ)氣瓶(19)相連,N2O與高溫?zé)峤鉅t(11)氣體出口的主氣流相交反應(yīng),形成反應(yīng)區(qū),在反應(yīng)區(qū)的外側(cè)沿高溫?zé)峤鉅t(11)的徑向設(shè)置有觀測(cè)筒(15),觀測(cè)筒(15)內(nèi)為測(cè)試區(qū)域(17),觀測(cè)筒(15)通過管路與真空系統(tǒng)(16)連接,觀測(cè)筒(15)外端依次設(shè)置有透鏡(13)和光譜儀(12),觀測(cè)筒(15)、透鏡(13)和光譜儀(12)光路連接;光譜儀(12)通過線路與計(jì)算機(jī)(8)信號(hào)連接。
      2. 按照權(quán)利要求1所述合成裝置,其特征在于:戶,熱電偶(6)和高溫電 熱絲通過線路與一鵬控制器(7)電連接。
      3. 按照權(quán)利要求1所述合成裝置,其特征在于:在氣體混合器(4)與高溫 熱解爐(11)之間的管路及氣體混合器(4)與噴嘴(14)之間的管路上分別設(shè)置 有閥(5)。
      4. 按照權(quán)利要求1所述合成裝置,其特征在于:在S迅儲(chǔ)氣瓶(1)、氦氣 儲(chǔ)氣瓶(2)、即儲(chǔ)氣瓶(18)及載氣儲(chǔ)氣瓶(19)的氣體出口管路上分別設(shè)置有 流量控制器(3)。
      5. 按照權(quán)利要求1戶誠(chéng)合成裝置,其特征在于:在高溫?zé)峤鉅t(11)的氣 體入口和氣體出口處均設(shè)置有硅橡膠密封墊圈。
      6. 按照權(quán)利要求1所述合成裝置,其特征在于:在高溫?zé)峤鉅t(11)的氣 體出口夕卜偵購(gòu)勻設(shè)置有即及其載氣的噴嘴(14)。
      全文摘要
      本發(fā)明涉及一種亞穩(wěn)態(tài)儲(chǔ)能粒子-SiO(b<sup>3</sup>∏)的合成裝置,高溫?zé)峤鉅t為管式結(jié)構(gòu),其由外向內(nèi)依次為密封外殼、保溫層和爐膛,在爐膛的中部軸向設(shè)置有熱電偶,爐膛外壁纏繞有電熱絲;SiH<sub>4</sub>儲(chǔ)氣瓶經(jīng)氣體混合器與高溫?zé)峤鉅t的氣體入口相連,在高溫?zé)峤鉅t的氣體出口外側(cè)設(shè)置有N<sub>2</sub>O噴嘴,噴嘴經(jīng)氣體混合器與N<sub>2</sub>O儲(chǔ)氣瓶相連,N<sub>2</sub>O與高溫?zé)峤鉅t氣體出口的主氣流相交反應(yīng),在反應(yīng)區(qū)的外側(cè)沿高溫?zé)峤鉅t的徑向設(shè)置有觀測(cè)筒,觀測(cè)筒與真空系統(tǒng)連接,觀測(cè)筒外端依次設(shè)置有透鏡和光譜儀;光譜儀通過線路與計(jì)算機(jī)信號(hào)連接。本發(fā)明操作簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn),性能穩(wěn)定且易于放大,可以為將來的Na、Tl、Ga等原子激光器提供能源。
      文檔編號(hào)C01B33/00GK101318657SQ200710011628
      公開日2008年12月10日 申請(qǐng)日期2007年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月8日
      發(fā)明者多麗萍, 桑鳳亭, 王增強(qiáng), 金玉奇 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
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