專利名稱：一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液體純化工藝，尤其是一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的 液體純化工藝。
背景技術(shù)：
目前，在四氯化硅(SiC14)生產(chǎn)的三氯氫硅(SiHC13)，大多數(shù)廠家都是 初步解決三氯氫硅的純化，達(dá)不到直接生產(chǎn)高純多晶硅的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決四氯化硅(SiC14)生產(chǎn)的三氯氫硅乂SiHC13)達(dá)到含硼(B) 小于等于0.05ppb、磷(P)小于等于O. lppb，不能直接生產(chǎn)高純多晶硅的要求 的問題，提出一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝。
本發(fā)明的技術(shù)方案①沉淀淋洗后液體進(jìn)入到四氯化硅進(jìn)料罐，重液體 沉淀后送入沉淀液罐中；②一次精餾沉淀后的液體進(jìn)入到精餾塔中進(jìn)行精餾， 精餾后的液體大部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入 到一級(jí)產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物進(jìn)入高沸物罐后送到四氯化硅貯罐中；③二 次精餾 一級(jí)產(chǎn)品罐中的液體經(jīng)進(jìn)入二級(jí)精餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體大 部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到二級(jí)產(chǎn)品罐中， 精餾塔內(nèi)高沸物進(jìn)入高沸物貯罐后送到四氯化硅進(jìn)料罐中，二級(jí)產(chǎn)品罐中的液 體由屏蔽泵進(jìn)入純?nèi)葰涔栀A罐中；④四氯化硅精餾四氯化硅進(jìn)料罐中液體 送入四氯化硅精餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利 用，高沸物送入到三廢液罐中。.
本發(fā)明的有益效果是使三氯氫硅(SiHC13)達(dá)到含硼(B)小于等于0. 05ppb、
磷(P)小于等于0.1ppb直接可以用于高純多晶硅的生產(chǎn)。
具體實(shí)施例方式
以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用于限制本發(fā)明的范圍。
①沉淀淋洗后液體進(jìn)入到四氯化硅進(jìn)料罐，重液體沉淀后送入沉淀液罐 中；②一次精餾沉淀后的液體進(jìn)入到精餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體大部 分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到一級(jí)產(chǎn)品罐中， 精餾塔內(nèi)高沸物進(jìn)入高沸物罐后送到四氯化硅貯罐中；③二次精餾 一級(jí)產(chǎn)品 罐中的液體經(jīng)進(jìn)入二級(jí)精餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體,大部分作為回流液重 新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到二級(jí)產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物 進(jìn)入高沸物貯罐后送到四氯化硅進(jìn)料罐中，二級(jí)產(chǎn)品罐中的液體由屏蔽泵進(jìn)入 純?nèi)葰涔栀A罐中；④四氯化硅精餾四氯化硅進(jìn)料罐中液體送入四氯化硅精
餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液 體作為產(chǎn)品進(jìn)入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利用，高沸物送入 到三廢液罐中。
實(shí)施例2:
將淋洗吸收后的三氯氫硅純化，使產(chǎn)品達(dá)到含硼小于等于0.05卯b、磷小于 等于O. lppb規(guī)格的三氯氫硅。
權(quán)利要求
1、一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝，其特征在于①沉淀淋洗后液體進(jìn)入到四氯化硅進(jìn)料罐，重液體沉淀后送入沉淀液罐中；②一次精餾沉淀后的液體進(jìn)入到精餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體大部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到一級(jí)產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物進(jìn)入高沸物罐后送到四氯化硅貯罐中；③二次精餾一級(jí)產(chǎn)品罐中的液體經(jīng)進(jìn)入二級(jí)精餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體大部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到二級(jí)產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物進(jìn)入高沸物貯罐后送到四氯化硅進(jìn)料罐中，二級(jí)產(chǎn)品罐中的液體由屏蔽泵進(jìn)入純?nèi)葰涔栀A罐中；④四氯化硅精餾四氯化硅進(jìn)料罐中液體送入四氯化硅精餾塔中進(jìn)行精餾，精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利用，高沸物送入到三廢液罐中。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝，其特征在于將淋洗吸收后的三氯氫硅純化，使產(chǎn)品達(dá)到含硼小于等于0. 05ppb、磷小于等于0. lppb規(guī)格的三氯氫硅。
全文摘要
一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝，包括沉淀；一次精餾；二次精餾四氯化硅精餾；精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進(jìn)入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利用，高沸物送入到三廢液罐中。本發(fā)明使三氯氫硅(SiHCl3)達(dá)到含硼(B)小于等于0.05ppb、磷(P)小于等于0.1ppb直接可以用于高純多晶硅的生產(chǎn)。
文檔編號(hào)C01B33/107GK101665255SQ20091017233
公開日2010年3月10日 申請(qǐng)日期2009年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月30日
發(fā)明者劉玉芹, 揚(yáng) 張, 李占青, 楊海建, 麟 馬 申請(qǐng)人:洛陽世紀(jì)新源硅業(yè)科技有限公司