專利名稱：氯硅烷回收利用裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)還原工序的氯硅烷回收利用裝置。
背景技術：
目前的多晶硅生產(chǎn)中，還原爐、氫化爐蒸發(fā)器在調試前，需要用氯硅烷溶液浸泡清 洗。在正常生產(chǎn)過程中，停爐操作時蒸發(fā)器和進料管中會積存三氯氫硅和四氯化硅溶液，上 述的溶液及氯硅烷溶液進入回收罐以便回收處理，通常用人工的方法經(jīng)回收罐的廢液出口 解決存液排放問題，即定期打開廢液出口，利用容器承接廢液后轉移回收。由于三氯氫硅和 四氯化硅溶液有毒有害，如操作或防護不當而泄漏，會污染環(huán)境、危害人身健康。因此考慮 設計出一種自動排除三氯氫硅和四氯化硅溶液并將清洗用氯硅烷溶液的回收的裝置，以節(jié) 約能耗、改善環(huán)境。

實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有人工排除蒸發(fā)器和進料管積液可能帶來環(huán)境污染或健康損害的不 足，本實用新型所要解決的技術問題是提供一種避免環(huán)境污染的氯硅烷回收利用裝置。 本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是氯硅烷回收利用裝置，包括設 置在總進口和總出口之間的回收罐，回收罐設置有廢液進口和廢液出口，回收罐的廢液出 口通過泵連接到總出口。 所述回收罐的廢液進口與總進口之間設置有進口閥，回收罐的廢液出口與泵之間 設置有出口閥。 所述回收罐有并聯(lián)的兩臺，所述泵也有并聯(lián)的兩臺。 所述回收罐與泵之間設置有過濾器。 所述回收罐上設置有液位計。 所述泵采用計量泵。 所述回收罐上設置有壓縮流體進口和放空口 。 所述回收罐的壓縮流體進口與壓縮氮氣進氣管連接，所述回收罐的放空口與壓縮 氮氣放空管連接。 所述回收罐和泵均連接有壓力表。 本實用新型的有益效果是利用兩套回收罐、泵進行排放作業(yè)，避免對環(huán)境或人員 的損害，可控制排液速度，并可實現(xiàn)加壓排液，從而提高了整個回收利用裝置的可控性、可 靠性和安全性，改善了環(huán)境，節(jié)約了能耗。

圖1是本實用新型氯硅烷回收裝置的示意圖。 圖中標記為，1-總進口 ， 2-回收罐，3-液位計，4-過濾器，5-泵，6-總出口 ， 7-壓縮 氮氣進氣管，8-壓縮氮氣放空管，9-壓力表，10-氫化爐四氯化硅溶液排放管，11-還原爐三氯氫硅溶液排放管，21-廢液進口 ， 22-廢液出口 ， 23-壓縮流體進口 ， 24-放空口 ， 25-進口 閥，26-出口閥。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。 如圖1所示，本實用新型的氯硅烷回收利用裝置，包括設置在總進口 1和總出口 6 之間的回收罐2，回收罐2設置有廢液進口 21和廢液出口 22，回收罐2的廢液出口 22通過 泵5連接到總出口 6，這樣，廢液的排放由泵5來執(zhí)行，廢液可經(jīng)由總出口 6排放到其它裝置 如精熘氯硅烷儲罐中去，避免了人工排放可能引起的污染或損害。 所述回收罐2的廢液進口 21與總進口 l之間設置有進口閥25，回收罐2的廢液出 口 22與泵5之間設置有出口閥26。進口閥25用于控制積存廢液進罐，出口閥26用于控制 積存廢液排放。 所述回收罐2有并聯(lián)的兩臺，所述泵5也有并聯(lián)的兩臺。通過控制進口閥25、出口 閥26，實現(xiàn)一臺回收罐2收集廢液時另一臺回收罐2及對應的泵5排放廢液，或者利用其中 一套回收罐2、過濾器4及泵5工作而另一套回收罐2、過濾器4及泵5備用，以提高整套裝 置運行的可靠性和安全性。 所述回收罐2與泵5之間設置有過濾器4，用于過濾廢液中的固態(tài)雜質。 所述回收罐2上設置有液位計3，方便操作人員觀察液位，判斷是否進行排液處理。 所述泵5采用計量泵，便于操作人員觀察排量，控制排放速度，根據(jù)需要泵5可間 歇作業(yè)。 回收罐2上設置有壓縮流體進口 23和放空口 24，可利用壓縮流體進口 23及放空 口 24實現(xiàn)加壓排放，排放更徹底。 所述回收罐2的壓縮流體進口 23與壓縮氮氣進氣管7連接，所述回收罐2的放空
口 24與壓縮氮氣放空管8連接。 所述回收罐2和泵5均連接有壓力表9。 實施例 如圖1所示，本實用新型的氯硅烷回收利用裝置，兩臺設置有廢液進口 21和廢液 出口 22的立式回收罐2并聯(lián)，均可接收由氫化爐四氯化硅溶液排放管10及還原爐三氯氫 硅溶液排放管11排放到回收利用裝置的總進口 1的廢液，兩臺回收罐2的廢液進口 21與總 進口 1之間各設置有一個進口閥25，兩回收罐的廢液出口 22各經(jīng)出口閥26、過濾器4后連 接到泵5，然后由回收利用裝置的總出口 6去精熘氯硅烷儲罐，以壓縮氮氣作為加壓流體， 壓縮氮氣進氣管7分別連接到兩臺回收罐2的壓縮流體進口 23，兩臺回收罐2的放空口 24 均連接到壓縮氮氣放空管8，可利用壓縮氮氣實現(xiàn)對回收罐2的加壓排液，為便于操作人員 觀察和操作，在兩臺回收罐2上均設置有液位計3，所述液位計3 —般可采用磁翻板液位計， 所述泵5可采用2 6mVh的隔膜式計量泵，對于且所述回收罐2、泵5均連接壓力表。 運行過程中，通過控制進口閥25、出口閥26，實現(xiàn)一臺回收罐2收集廢液時另一臺 回收罐2及對應的泵5排放廢液，或者利用其中一套回收罐2、過濾器4及泵5工作而另一 套回收罐2、過濾器4及泵5備用。
權利要求氯硅烷回收利用裝置，包括設置在總進口(1)和總出口(6)之間的回收罐(2)，回收罐(2)設置有廢液進口(21)和廢液出口(22)，其特征是回收罐(2)的廢液出口(22)通過泵(5)連接到總出口(6)。
2. 如權利要求l所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述回收罐(2)的廢液進口 (21)與總進口 (1)之間設置有進口閥(25)，回收罐(2)的廢液出口 (22)與泵(5)之間設 置有出口閥(26)。
3. 如權利要求2所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述回收罐(2)有并聯(lián)的兩 臺，所述泵(5)也有并聯(lián)的兩臺。
4. 如權利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述回收罐(2)與泵 (5)之間設置有過濾器(4)。
5. 如權利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述回收罐(2)上設 置有液位計(3)。
6. 如權利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述泵(5)采用計量泵。
7. 如權利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述回收罐(2)上設 置有壓縮流體進口 (23)和放空口 (24)。
8. 如權利要求7所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述回收罐(2)的壓縮流體 進口 (23)與壓縮氮氣進氣管(7)連接，所述回收罐(2)的放空口 (24)與壓縮氮氣放空管 (8)連接。
9. 如權利要求8所述的氯硅烷回收利用裝置，其特征是所述回收罐(2)和泵(5)均 連接有壓力表(9)。
專利摘要本實用新型公開了一種能避免環(huán)境污染的氯硅烷回收利用裝置。該裝置包括兩臺設置在總進口和總出口之間的回收罐，回收罐設置有廢液進口和廢液出口，所述回收罐的廢液進口與總進口之間設置有進口閥，回收罐的廢液出口與總出口之間設置有出口閥和泵，所述回收罐的壓縮流體進口與壓縮氮氣進氣管連接，所述回收罐的放空口與壓縮氮氣放空管連接。本實用新型利用兩套回收罐、泵進行排放作業(yè)，避免了對環(huán)境或人員的損害，可控制排液速度，并可實現(xiàn)加壓排液，從而提高了整個回收利用裝置的可控性、可靠性和安全性，改善了作業(yè)環(huán)境，節(jié)約了能耗，主要用于多晶硅生產(chǎn)還原工序中。
文檔編號C01B33/107GK201520642SQ20092031410
公開日2010年7月7日 申請日期2009年11月5日 優(yōu)先權日2009年11月5日
發(fā)明者盧濤, 唐前正, 彭卡, 李品賢, 李建軍, 趙新征 申請人:樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責任公司