專(zhuān)利名稱：三氯化硅除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種除塵設(shè)備，更具體的說(shuō)，本實(shí)用新型涉及一種新型的三氯化 硅除塵裝置。
背景技術(shù)：
本領(lǐng)域技術(shù)人員周知，由反應(yīng)器反應(yīng)產(chǎn)生的三氯化硅合成氣中往往夾帶著少量的 硅粉顆粒，而硅粉的存在又時(shí)常造成后續(xù)工段的堵塞，因而需要及時(shí)清除。目前，大多采用 的清除方式，只要是采用旋風(fēng)分離器及袋式除塵器來(lái)清除反應(yīng)氣中夾帶的硅粉。此清除方 式雖然可以起到一定的作用，但是不能完全去除硅粉，并且，袋式除塵器的工作環(huán)境也比較惡劣。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的問(wèn)題，就是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，并為此提供一種具有更 好的清除效果的三氯化硅除塵裝置。本實(shí)用新型的三氯化硅除塵裝置，包括旋風(fēng)分離器和汽化塔；所述旋風(fēng)分離器的 上部設(shè)置有三氯化硅流股入口，所述旋風(fēng)分離器的頂部設(shè)置有連接所述汽化塔的三氯化硅 流股出口，所述旋風(fēng)分離器的底部設(shè)置有旋液分離器固相出口 ；所述汽化塔的頂部設(shè)置有 蒸汽出口，所述汽化塔的底部設(shè)置有塔底出口，所述的汽化塔內(nèi)設(shè)置有加熱器。本實(shí)用新型的有益效果在于在實(shí)現(xiàn)對(duì)含有硅粉顆粒的三氯化硅生成物較徹底除 塵的同時(shí)，維持了比采用袋式除塵器更好的工作環(huán)境，避免了殘留硅粉對(duì)后續(xù)工段的不良 影響。

附圖為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-旋風(fēng)分離器 2-三氯化硅流股入口 3-三氯化硅流股出口4-蒸汽出口 5-汽化塔 6-加熱器 7-塔底出口 8-旋液分離器固相 出口
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型更容易被清楚的理解，
以下結(jié)合附圖以及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型 作以詳細(xì)說(shuō)明。參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型的三氯化硅除塵裝置，包括旋風(fēng)分離器1和與所述旋風(fēng)分離 器1相連接的汽化塔5 ；所述旋風(fēng)分離器1的上部設(shè)置有三氯化硅流股入口 2，所述旋風(fēng)分離器1的頂部設(shè) 置有連接所述汽化塔5的三氯化硅流股出口 3，所述旋風(fēng)分離器1的底部設(shè)置有旋液分離器 固相出口 8 ；[0012]所述汽化塔5的頂部設(shè)置有蒸汽出口 4，所述汽化塔5的底部設(shè)置有塔底出口 7， 所述的汽化塔5內(nèi)設(shè)置有加熱器6。本實(shí)用新型的工作過(guò)程是(1)來(lái)自反應(yīng)器的含硅粉三氯化硅流股，從所述旋風(fēng)分離器1的三氯化硅流股入 口 2進(jìn)入所述的旋風(fēng)分離器1進(jìn)行分離；(2)經(jīng)過(guò)分離以后，含硅粉三氯化硅流股中的粗硅粉從所述旋風(fēng)分離器1底部的 旋液分離器固相出口 8采出，含少量細(xì)硅粉的三氯化硅則通過(guò)所述旋風(fēng)分離器1頂部的三 氯化硅流股出口 3流入所述的汽化塔5進(jìn)行汽化；(3)含少量細(xì)硅粉的三氯化硅經(jīng)過(guò)所述汽化塔5內(nèi)加熱器6的汽化分為兩相，其中 的蒸汽自所述汽化塔5頂部的蒸汽出口 4采出，細(xì)小的硅粉則自所述汽化塔5底部的塔底 出口 7采出，從而實(shí)現(xiàn)脫除硅粉的目的。本實(shí)用新型首先以旋風(fēng)分離器除去三氯化硅生成物中粒徑較大的硅粉，再通過(guò)汽 化塔除去殘留的小粒徑硅粉，從而達(dá)到凈化產(chǎn)品的目的。以上參照附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行了示意性描述，該描述沒(méi)有 限制性。對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的啟示下，為了實(shí)現(xiàn)同樣目的，還可以 對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行某些調(diào)整或改變。特別需要指出的是，只要不脫離本實(shí)用新 型的宗旨，所有顯而易見(jiàn)的修改均包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種三氯化硅除塵裝置，包括旋風(fēng)分離器，其特征是，所述旋風(fēng)分離器的上部設(shè)置有三氯化硅流股入口，所述旋風(fēng)分離器的頂部設(shè)置有三氯化硅流股出口，所述旋風(fēng)分離器的底部設(shè)置有旋液分離器固相出口，所述的三氯化硅流股出口連接汽化塔，所述汽化塔的頂部設(shè)置有蒸汽出口，所述汽化塔的底部設(shè)置有塔底出口，所述的汽化塔內(nèi)設(shè)置有加熱器。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種三氯化硅除塵裝置，其構(gòu)成包括旋風(fēng)分離器和汽化塔；所述旋風(fēng)分離器的上部設(shè)置有三氯化硅流股入口，所述旋風(fēng)分離器的頂部設(shè)置有連接所述汽化塔的三氯化硅流股出口，所述旋風(fēng)分離器的底部設(shè)置有旋液分離器固相出口；所述汽化塔的頂部設(shè)置有蒸汽出口，所述汽化塔的底部設(shè)置有塔底出口，所述的汽化塔內(nèi)設(shè)置有加熱器。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是在實(shí)現(xiàn)對(duì)含有硅粉顆粒的三氯化硅生成物較徹底除塵的同時(shí)，維持了比采用袋式除塵器更好的工作環(huán)境，避免了殘留硅粉對(duì)后續(xù)工段的不良影響。
文檔編號(hào)C01B33/10GK201704075SQ201020234238
公開(kāi)日2011年1月12日 申請(qǐng)日期2010年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月23日
發(fā)明者趙華 申請(qǐng)人:天津市華瑞奕博化工科技有限公司