專利名稱：一種氮化硅燒成爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氮化硅生產(chǎn)設(shè)備，特別是一種氮化硅燒成爐。
背景技術(shù)：
氮化硅燒成爐用于在通入氮?dú)?、氬氣、氫氣的狀態(tài)下把硅石燒制成氮化硅粉末，傳 統(tǒng)的氮化硅燒成爐爐壁采用單層鋼材焊接而成，在產(chǎn)品燒成結(jié)束后，產(chǎn)品在密封的爐子內(nèi) 靠自然降溫方式從1460°C降至室溫然后出料，這個(gè)降溫過程耗時(shí)長(zhǎng)，使得爐子的生產(chǎn)效率 低，同時(shí)由于硅石燒成需達(dá)到1460°C高溫，傳統(tǒng)的耐熱爐膛一般采用莫來磚或剛玉磚砌筑成 形，這類砌筑方式的缺點(diǎn)是在高溫下磚體會(huì)出現(xiàn)局部膨脹并吸收保護(hù)氣體，導(dǎo)致耗氣量大。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的問題就是提供一種氮化硅燒成爐，在氮化硅粉末燒成結(jié)束 后實(shí)現(xiàn)爐體快速降溫，爐膛致密性好，高溫條件下不會(huì)出現(xiàn)膨脹，節(jié)省耗氣量，提高生產(chǎn)效 率，降低生產(chǎn)成本。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種氮化硅燒成爐，包括 爐膛、設(shè)在爐膛頂端的封蓋和包裹爐膛的爐壁，在爐膛與爐壁之間設(shè)有保溫層，在爐膛內(nèi)設(shè) 有加熱棒，其特征在于所述爐壁包括內(nèi)層壁和外層壁，在內(nèi)層壁和外層壁之間設(shè)有水冷 套，水冷套上接有進(jìn)水管和出水管。進(jìn)--步的，所述爐膛由至少三個(gè)澆鑄體上下疊加而成。增加致密性。[0006]進(jìn)--步的，所述澆鑄體為中空?qǐng)A柱體。[0007]進(jìn)--步的，所述澆鑄體采用剛玉材料整體澆鑄。高溫膨脹率低。[0008]進(jìn)--步的，所述封蓋的下表面設(shè)有插裝固定加熱棒的插裝槽。[0009]進(jìn)--步的，所述加熱棒為硅鉬棒。[0010]進(jìn)--步的，所述進(jìn)水管接在水冷套的下端，出水管接在水冷套的上端。充分利用冷
熱水對(duì)流，加快冷卻速度，加強(qiáng)冷卻效率。采用上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)采用水冷套降溫方式，可以大大 加快氮化硅粉末燒成后的降溫速度，提高工作效率，三段式剛玉整體澆注成形的爐膛致密 性好，高溫條件下膨脹率低，不吸收氣體，降低生產(chǎn)成本。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明


圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為
圖1中A處截面仰視圖。
具體實(shí)施方式
如
圖1至2所示本實(shí)用新型一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，一種氮化硅燒成爐，包括爐
3膛1、設(shè)在爐膛頂端的封蓋2和包裹爐膛的爐壁3，在爐膛與爐壁之間設(shè)有保溫層4，在爐膛 內(nèi)設(shè)有加熱棒5，封蓋的下表面設(shè)有插裝固定加熱棒的插裝槽21，加熱棒5從下往上插裝在 插裝槽中，爐壁包括內(nèi)層壁31和外層壁32，在內(nèi)層壁和外層壁之間設(shè)有水冷套6，水冷套上 接有進(jìn)水管和出水管。爐膛由三個(gè)澆鑄體11上下疊加而成，澆鑄體采用剛玉材料整體澆鑄 成中空的圓柱體，當(dāng)然爐膛可以用四個(gè)或四個(gè)以上澆鑄體疊加，但致密性和高溫膨脹率會(huì) 相應(yīng)發(fā)生變化，達(dá)不到最佳效果。 上述實(shí)施例中，爐壁為耐高溫鋼板焊接而成，通過水冷套能上下對(duì)流形成水循環(huán)， 供氮化硅粉末燒成結(jié)束后爐壁迅速降溫，保溫層采用耐高溫保溫材料，三段式剛玉整體澆 注成形的爐膛具有致密性好，高溫條件下膨脹率低，不吸收氣體的優(yōu)點(diǎn)；加熱棒為硅鉬棒； 進(jìn)水管接在水冷套的下端，出水管接在水冷套的上端，充分利用冷熱水對(duì)流，加快冷卻速 度，加強(qiáng)冷卻效率。
權(quán)利要求一種氮化硅燒成爐，包括爐膛(1)、設(shè)在爐膛頂端的封蓋(2)和包裹爐膛的爐壁(3)，在爐膛與爐壁之間設(shè)有保溫層(4)，在爐膛內(nèi)設(shè)有加熱棒(5)，其特征在于所述爐壁包括內(nèi)層壁(31)和外層壁(32)，在內(nèi)層壁和外層壁之間設(shè)有水冷套(6)，水冷套上接有進(jìn)水管和出水管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅燒成爐，其特征在于所述爐膛由至少三個(gè)澆鑄 體(11)上下疊加而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氮化硅燒成爐，其特征在于所述澆鑄體為中空?qǐng)A柱體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氮化硅燒成爐，其特征在于所述澆鑄體采用剛玉材料 整體澆鑄。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅燒成爐，其特征在于所述封蓋的下表面設(shè)有插 裝固定加熱棒的插裝槽(21)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的一種氮化硅燒成爐，其特征在于所述加熱棒為硅鉬棒。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氮化硅燒成爐，其特征在于所述進(jìn)水管接在水冷套的 下端，出水管接在水冷套的上端。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種氮化硅燒成爐，包括爐膛、設(shè)在爐膛頂端的封蓋和包裹爐膛的爐壁，在爐膛與爐壁之間設(shè)有保溫層，在爐膛內(nèi)設(shè)有加熱棒，所述爐壁包括內(nèi)層壁和外層壁，在內(nèi)層壁和外層壁之間設(shè)有水冷套，水冷套上接有進(jìn)水管和出水管。本實(shí)用新型在氮化硅粉末燒成結(jié)束后實(shí)現(xiàn)爐體快速降溫，爐膛致密性好，高溫條件下不會(huì)出現(xiàn)膨脹，節(jié)省耗氣量，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C01B21/068GK201762104SQ20102027039
公開日2011年3月16日 申請(qǐng)日期2010年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月23日
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