專利名稱：超凈高純級(jí)磷酸提取裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種超凈高純級(jí)磷酸提取裝置，屬于電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng) 域。
背景技術(shù)：
磷酸(H3P04) —種重要的無(wú)機(jī)酸，是化肥工業(yè)生產(chǎn)中重要的中間產(chǎn)品，用于生產(chǎn) 高濃度磷肥和復(fù)合肥料。磷酸還是肥皂、洗滌劑、金屬表面處理劑、食品添加劑、飼料添加劑 和水處理劑等所用的各種磷酸鹽、磷酸酯的原料。作為磷肥生產(chǎn)的原料，是正磷酸或多磷酸 的水溶液，商品正磷酸的濃度一般為52% 54%。在電子化學(xué)品領(lǐng)域，作為酸性腐蝕劑使用。用于電子化學(xué)領(lǐng)域的化學(xué)產(chǎn)品，要求達(dá) 到MOS (金屬-氧化物-半導(dǎo)體)標(biāo)準(zhǔn)，即金屬雜質(zhì)含量小于lOOppb，控制1微米粒徑粒子 達(dá)到SEMI Cl C2標(biāo)準(zhǔn)，適合中小規(guī)模集成電路及TFT-IXD等微電子領(lǐng)域的加工工藝。而工 業(yè)級(jí)磷酸中含有較多的金屬雜質(zhì)和硫，不能滿足微電子領(lǐng)域使用要求。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能降低磷酸中的金屬雜質(zhì)和硫含 量、且可滿足微電子領(lǐng)域使用要求的超凈高純級(jí)磷酸提取裝置。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種超凈高純級(jí)磷酸提取裝置，其特征在于它 包括原料槽、萃取器、溶劑槽、脫硫槽、過濾器、洗滌器、反萃取器、成品槽和碳酸鋇溶液槽；所述原料槽和溶劑槽出口分別與萃取器進(jìn)口相連，所述萃取器出口與脫硫槽進(jìn)口 相連，所述脫硫槽進(jìn)口上還連接有碳酸鋇溶液槽，所述脫硫槽出口與過濾器進(jìn)口相連，所述 過濾器出口與洗滌器進(jìn)口相連，所述洗滌器出口與反萃取器進(jìn)口相連，所述反萃取器出口 與成品槽相連。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型超凈高純級(jí)磷酸提取裝置，能降低磷酸中的金屬雜質(zhì)和硫含量、且可 滿足微電子領(lǐng)域使用要求。生成的超凈高純級(jí)磷酸可達(dá)到MOS (金屬-氧化物-半導(dǎo)體) 標(biāo)準(zhǔn)。

圖1為本實(shí)用新型超凈高純級(jí)磷酸提取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。其中原料槽1、萃取器2、溶劑槽3、脫硫槽4、過濾器5、洗滌器6、反萃取器7、成品槽8、 碳酸鋇溶液槽9。
具體實(shí)施方式
參見圖1，本實(shí)用新型涉及的一種超凈高純級(jí)磷酸提取裝置，主要由原料槽1、萃取器2、溶劑槽3、脫硫槽4、過濾器5、洗滌器6、反萃取器7、成品槽8和碳酸鋇溶液槽9組 成；所述原料槽1和溶劑槽3出口分別與萃取器2進(jìn)口相連，所述萃取器2出口與脫 硫槽4進(jìn)口相連，所述脫硫槽4進(jìn)口上還連接有碳酸鋇溶液槽9，所述脫硫槽4出口與過濾 器5進(jìn)口相連，所述過濾器5出口與洗滌器6進(jìn)口相連，所述洗滌器6出口與反萃取器7進(jìn) 口相連，所述反萃取器7出口與成品槽8相連。采用本實(shí)用新型裝置生產(chǎn)的超凈高純級(jí)磷酸，其純度可達(dá)85. 0%以上。
權(quán)利要求一種超凈高純級(jí)磷酸提取裝置，其特征在于它包括原料槽(1)、萃取器(2)、溶劑槽(3)、脫硫槽(4)、過濾器(5)、洗滌器(6)、反萃取器(7)、成品槽(8)和碳酸鋇溶液槽(9)；所述原料槽(1)和溶劑槽(3)出口分別與萃取器(2)進(jìn)口相連，所述萃取器(2)出口與脫硫槽(4)進(jìn)口相連，所述脫硫槽(4)進(jìn)口上還連接有碳酸鋇溶液槽(9)，所述脫硫槽(4)出口與過濾器(5)進(jìn)口相連，所述過濾器(5)出口與洗滌器(6)進(jìn)口相連，所述洗滌器(6)出口與反萃取器(7)進(jìn)口相連，所述反萃取器(7)出口與成品槽(8)相連。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種超凈高純級(jí)磷酸提取裝置，其特征在于它包括原料槽(1)、萃取器(2)、溶劑槽(3)、脫硫槽(4)、過濾器(5)、洗滌器(6)、反萃取器(7)、成品槽(8)和碳酸鋇溶液槽(9)；所述原料槽(1)和溶劑槽(3)出口分別與萃取器(2)進(jìn)口相連，所述萃取器(2)出口與脫硫槽(4)進(jìn)口相連，所述脫硫槽(4)進(jìn)口上還連接有碳酸鋇溶液槽(9)，所述脫硫槽(4)出口與過濾器(5)進(jìn)口相連，所述過濾器(5)出口與洗滌器(6)進(jìn)口相連，所述洗滌器(6)出口與反萃取器(7)進(jìn)口相連，所述反萃取器(7)出口與成品槽(8)相連。本實(shí)用新型超凈高純級(jí)磷酸提取裝置，能降低磷酸中的金屬雜質(zhì)和硫含量、且可滿足微電子領(lǐng)域使用要求。生成的超凈高純級(jí)磷酸可達(dá)到MOS標(biāo)準(zhǔn)。
文檔編號(hào)C01B25/234GK201770482SQ201020281608
公開日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者戈士勇 申請(qǐng)人:江陰市潤(rùn)瑪電子材料有限公司