專利名稱：一種多晶硅氫化爐用u型c/c發(fā)熱體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種C/C發(fā)熱體，尤其是涉及一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱 體。
背景技術(shù)：
目前，多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的整體厚度是相同的，其在使用過程中經(jīng)常 發(fā)生開口端與石墨電極連接位置處斷裂現(xiàn)象，造成發(fā)熱體報廢，嚴(yán)重影響了多晶硅氫化爐 的生產(chǎn)效率，增加了多晶硅的生產(chǎn)成本。究其原因是因為U型C/C發(fā)熱體的底部與石墨電 極連接部位上下溫差較大，熱應(yīng)力不均勻。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種多晶 硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，其結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理且局部強度高，能有效解決開口端與石 墨電極連接位置處易斷裂的問題，同時延長了使用壽命。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是一種多晶硅氫化爐用U型 C/C發(fā)熱體，包括U型架體，所述U型架體的開口端均勻布設(shè)有通孔一，其特征在于所述 U型架體的開口端外側(cè)且與石墨電極連接位置處設(shè)置有直角梯形體，所述直角梯形體上設(shè) 置有通孔二，所述通孔二與所述通孔一大小相同且互相連通，所述直角梯形體的高度H為 2mm 8mm，所述直角梯形體的上表面長度L為60mm 200mm，所述直角梯形體的斜面與U 型架體的豎直面之間的夾角α為30° 60°，所述直角梯形體與U型架體一體成型。上述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，其特征在于所述直角梯形體的高度 H 為 5mm。上述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，其特征在于所述直角梯形體的上表 面長度L為130mm。上述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，其特征在于所述直角梯形體的斜面 與U型架體的豎直面之間的夾角α為45°。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點1、結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，其通過在U型架體的開口端外側(cè)且與石墨電極連接位置 處設(shè)置有與U型架體一體成型的直角梯形體，因此大大提高了 U型C/C發(fā)熱體的局部強度， 使得應(yīng)力均勻分散，且解決開口端與石墨電極連接位置處易斷裂的問題，同時延長了使用
壽命O2、由于直角梯形體的斜面存在，即直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間有 一定夾角，因此增加了應(yīng)力的分散面積，避免了應(yīng)力集中，進一步延長了 U型C/C發(fā)熱體的 使用壽命。下面通過附圖和實施例，對本實用新型做進一步的詳細描述。
圖1為本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說明I-通孔二。
具體實施方式
如圖1所示的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，包括U型架體，所述U型架體 的開口端均勻布設(shè)有通孔一，所述U型架體的開口端外側(cè)且與石墨電極連接位置處設(shè)置有 直角梯形體，所述直角梯形體上設(shè)置有通孔二 1，所述通孔二 1與所述通孔一大小相同且互 相連通，所述直角梯形體的高度H為2mm 8mm，所述直角梯形體的上表面長度L為60mm 200mm，所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為30° 60°，所述直 角梯形體與U型架體一體成型。本實用新型中，所述直角梯形體的高度H為5mm。本實用新型中，所述直角梯形體的上表面長度L為130mm。本實用新型中，所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為 45°。下面以三個實施例來對本實用新型做具體說明實施例1多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的直線長度即豎直面長度為1000mm，寬度為 80mm,厚度為7mm，其開口端增加的直角梯形體的高度H為2mm 5mm，該直角梯形體的上表 面長度L為60mm 200mm，經(jīng)使用測試可延長使用壽命約50%。實施例2多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的直線長度即豎直面長度為1592mm，寬度為 95mm,厚度為8mm，其開口端增加的直角梯形體的高度H為2mm 7mm，該直角梯形體的上表 面長度L為60mm 200mm，經(jīng)使用測試可延長使用壽命約40%。實施例3多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的直線長度即豎直面長度為2000mm，寬度為 80mm，厚度為10mm，其開口端增加的直角梯形體的高度H為2mm 8mm，該直角梯形體的上 表面長度L為60mm 200mm，經(jīng)使用測試可延長使用壽命約40%。通過以上三個實施例可見，設(shè)置在開口端外側(cè)且與U型架體一體成型的直角梯形 體，可將應(yīng)力均勻分散，有效解決其開口端與石墨電極連接位置處易斷裂的問題，同時使得 U型C/C發(fā)熱體的平均使用壽命提高約40%。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型作任何限制，凡是根 據(jù)本實用新型技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍 屬于本實用新型技術(shù)方案的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，包括U型架體，所述U型架體的開口端均勻布設(shè)有通孔一，其特征在于所述U型架體的開口端外側(cè)且與石墨電極連接位置處設(shè)置有直角梯形體，所述直角梯形體上設(shè)置有通孔二(1)，所述通孔二(1)與所述通孔一大小相同且互相連通，所述直角梯形體的高度H為2mm～8mm，所述直角梯形體的上表面長度L為60mm～200mm，所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為30°～60°，所述直角梯形體與U型架體一體成型。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，其特征在于所述直 角梯形體的高度H為5mm。
3.按照權(quán)利要求1所述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，其特征在于所述直 角梯形體的上表面長度L為130mm。
4.按照權(quán)利要求1所述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，其特征在于所述直 角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為45°。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體，包括U型架體，所述U型架體的開口端均勻布設(shè)有通孔一，所述U型架體的開口端外側(cè)且與石墨電極連接位置處設(shè)置有直角梯形體，所述直角梯形體上設(shè)置有通孔二，所述通孔二與所述通孔一大小相同且互相連通，所述直角梯形體的高度H為2mm～8mm，所述直角梯形體的上表面長度L為60mm～200mm，所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為30°～60°，所述直角梯形體與U型架體一體成型。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理且局部強度高，能有效解決開口端與石墨電極連接位置處易斷裂的問題，同時延長了使用壽命。
文檔編號C01B33/03GK201737706SQ201020292480
公開日2011年2月9日 申請日期2010年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月13日
發(fā)明者侯衛(wèi)權(quán), 李永軍, 肖志超, 蘇君明 申請人:西安超碼科技有限公司