專利名稱：多晶硅生產(chǎn)中的抽空系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及運(yùn)用化工單元設(shè)備改進(jìn)現(xiàn)有工藝，特別是多晶硅生產(chǎn)中用于還原 爐/氫化爐的一種抽空系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
改良西門子法生產(chǎn)多晶硅是一種對純度要求極高的生產(chǎn)方式，要求進(jìn)料純度在9N 以上。在還原爐內(nèi)的氣氛必須保證隔絕氧氣和水。生產(chǎn)過程中如果混入其余氣體，將會嚴(yán) 重影響多晶硅質(zhì)量，同時(shí)帶來安全隱患。因此，啟爐前的氣體置換階段至關(guān)重要。在停爐以 后，還原爐需要進(jìn)行氮?dú)獯祾?，直到將爐內(nèi)工藝氣體全部排出方可進(jìn)行拆爐作業(yè)。在現(xiàn)有的生產(chǎn)過程中，氮?dú)獯祾咧脫Q爐內(nèi)氣體是必不可少的階段。由于各種爐型 不一樣，氮?dú)鈮毫Σ灰粯樱祾叱潭炔槐M相同。往往為了達(dá)到充分置換，采取大流量，長時(shí)間 氮?dú)獯祾叩淖龇āＳ捎诘獨(dú)鉄o法回收，這種方式不僅是對氮?dú)獾暮艽罄速M(fèi)，常壓吹掃不可避 免的留下某些死角地方吹掃不干凈。殘留的空氣及水分，氧氣等會在高溫環(huán)境中與多晶硅 發(fā)生反應(yīng)生成二氧化硅等物質(zhì)，使得多晶硅質(zhì)量達(dá)不到要求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供了多晶硅生產(chǎn)中還原爐的一種的抽空系統(tǒng)，解決了對爐內(nèi)氣體的 徹底置換的技術(shù)問題，可以提高多晶硅生產(chǎn)的原料純度。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下多晶硅生產(chǎn)中的抽空系統(tǒng)，其特征在于包括水箱、循環(huán)水泵、水噴射泵、電機(jī)、操 作箱，水箱、循環(huán)水泵、水噴射泵依次連接，水噴射泵再與水箱連接形成循環(huán)系統(tǒng)，通過操作 箱操作電機(jī)制動(dòng)循環(huán)水泵和水噴射泵；所述循環(huán)水泵和水噴射泵之間還搭接有抽空罐，抽 空罐通過抽空管道分別與還原爐、氫化爐連接。抽空罐與還原爐、氫化爐連接的抽空管道上分別設(shè)置有單獨(dú)的閥門。當(dāng)氫化爐需 要抽空時(shí)，只需要打開與氫化爐相連的抽空管道上的閥門；當(dāng)還原爐需要抽空時(shí)，只需要打 開與還原爐相連的抽空管道上的閥門；或者兩邊均需要抽空時(shí)，將抽空管道上的閥門全部 打開即可。本實(shí)用新型的工作原理如下抽空管道接入水噴射式真空泵，在啟爐前對還原爐進(jìn)行2 3次抽空操作，氮?dú)庋a(bǔ) 壓，泄放，從而將還原爐工藝系統(tǒng)內(nèi)的空氣及氮?dú)庵脫Q干凈。本實(shí)用新型的有益效果為可以將爐內(nèi)的氣體徹底置換，不留死角，可以提高多晶 硅生產(chǎn)的原料純度。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖具體實(shí)施方式
如圖1所示，多晶硅生產(chǎn)中的抽空系統(tǒng)，包括水箱1、循環(huán)水泵2、水噴射泵3、電機(jī)、 操作箱，水箱1、循環(huán)水泵2、水噴射泵3依次連接，水噴射泵3再與水箱1連接形成循環(huán)系 統(tǒng)，通過操作箱操作電機(jī)制動(dòng)循環(huán)水泵2和水噴射泵3 ；所述循環(huán)水泵2和水噴射泵3之間 還搭接有抽空罐4，抽空罐4通過抽空管道5分別與還原爐、氫化爐連接。抽空罐4與還原爐、氫化爐連接的抽空管道5上分別設(shè)置有單獨(dú)的閥門6。當(dāng)氫化 爐需要抽空時(shí)，只需要打開與氫化爐相連的抽空管道5上的用于隔離的閥門6;當(dāng)還原爐需 要抽空時(shí)，只需要打開與還原爐相連的抽空管道5上的用于隔離的閥門6 ；或者兩邊均需要 抽空時(shí)，將抽空管道5上用于抽空的閥門6全部打開即可。所述抽空系統(tǒng)可以多個(gè)組合實(shí)現(xiàn)多個(gè)還原爐、多個(gè)氫化爐的抽空。對于抽空管線在每臺還原爐尾氣管線新增抽空管線。廠房同側(cè)的還原爐包括氫化爐可以使用同 一根總管。廠房兩側(cè)的總管碰管后靠球閥隔斷。每次抽空時(shí)可單獨(dú)開啟對應(yīng)每臺爐子的手 動(dòng)球閥進(jìn)行抽空操作。保證其余爐次正常運(yùn)行不受影響。對于抽空系統(tǒng)通過循環(huán)水泵把具有一定壓力的水輸入到水噴射泵的水室里，然后，水通過水噴 射泵的噴嘴形成流速很高的水束，經(jīng)過一定的距離后，各水束聚焦于喉管中心線上，由于水 束的吸附作用，在其周圍形成負(fù)壓，起到抽吸真空的作用。加上水束與空氣的互相摩擦、沖 擊漩渦夾帶及混合壓縮作用；再經(jīng)過一段尾管的抽吸作用，獲得較高的真空。本實(shí)用新型的.操作方式為1)先將干凈水注入抽空水箱，液位在2/3處。2)確認(rèn)各設(shè)備及抽空管路上壓力變送器等測壓原件完好并可耐一定的真空度。3)啟動(dòng)抽空泵，緩慢開啟抽空閥對密封還原爐進(jìn)行抽空操作，每次抽空 到-0. 08MPa。4)達(dá)到目標(biāo)真空度后。關(guān)閉抽空閥。緩慢打開氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥對蒸發(fā)器及還原爐進(jìn)行 補(bǔ)壓。補(bǔ)到微正壓即可。5)以上操作重復(fù)三次抽空——補(bǔ)壓——抽空補(bǔ)壓； 6)最后一次補(bǔ)壓后進(jìn)行氮?dú)獯祾?0min，流量在30Nm3，尾氣通向淋洗塔處理。
權(quán)利要求多晶硅生產(chǎn)中的抽空系統(tǒng)，其特征在于包括水箱(1)、循環(huán)水泵(2)、水噴射泵(3)、電機(jī)、操作箱，水箱(1)、循環(huán)水泵(2)、水噴射泵(3)依次連接，水噴射泵(3)再與水箱(1)連接形成循環(huán)系統(tǒng)，通過操作箱操作電機(jī)制動(dòng)循環(huán)水泵(2)和水噴射泵(3)；所述循環(huán)水泵(2)和水噴射泵(3)之間還搭接有抽空罐(4)，抽空罐(4)通過抽空管道(5)分別與還原爐、氫化爐連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中的抽空系統(tǒng)，其特征在于抽空罐(4)與還原 爐、氫化爐連接的抽空管道(5)上分別設(shè)置有單獨(dú)的閥門(6)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了多晶硅生產(chǎn)中的抽空系統(tǒng)，包括水箱、循環(huán)水泵、水噴射泵、電機(jī)、操作箱，水箱、循環(huán)水泵、水噴射泵依次連接，水噴射泵再與水箱連接形成循環(huán)系統(tǒng)，通過操作箱操作電機(jī)制動(dòng)循環(huán)水泵和水噴射泵；所述循環(huán)水泵和水噴射泵之間還搭接有抽空罐，抽空罐上端通過抽空管道分別與還原爐、氫化爐連接，可以根據(jù)具體情況分別對還原爐、氫化爐實(shí)施抽空；本實(shí)用新型可以將爐內(nèi)的氣體徹底置換，不留死角，可以提高多晶硅生產(chǎn)的原料純度。
文檔編號C01B33/035GK201770488SQ20102029785
公開日2011年3月23日 申請日期2010年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月19日
發(fā)明者洪浩, 鐘升勇, 閻冶智, 陳少華 申請人:天威四川硅業(yè)有限責(zé)任公司