專利名稱：一種多臺多晶爐并聯(lián)運行真空系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于多晶硅太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種多臺多晶爐并聯(lián)運 行時的真空系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前不管國產(chǎn)或者進口多晶鑄錠爐(簡稱多晶爐)，多采用傳統(tǒng)的一爐一組真空 機組的運行方式，多晶爐運行前期，爐內(nèi)要求為真空模式時，真空機組中的機械泵、羅茨泵 共同運行，并且主管道全開，以達到在加熱階段爐內(nèi)處于高真空的目的；而從加熱階段進入 熔化階段后，爐內(nèi)逐步開始充入保護氣體(Ar)，即保護氣體模式時，真空機組中只開啟機械 泵，抽氣管道也采用旁路，主管道關(guān)閉，由氣動閥門根據(jù)工藝設(shè)定壓力對旁路自動開閉，使 爐內(nèi)氣壓符合生產(chǎn)要求，直至整個工藝流程結(jié)束，完成一個生產(chǎn)周期。一個完整的生產(chǎn)周期 大約在65小時左右，真空機組中的機械泵在整個周期中全程運行，而其中有四分之三以上 的時間，抽氣管道采用旁路，機械泵能耗大量地是在作無用功而白白浪費。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提出了一種多臺多晶爐并聯(lián)運行真空 系統(tǒng)，采用本系統(tǒng)可以減少機械泵的運行數(shù)量，實現(xiàn)節(jié)能降耗的目的。本實用新型解決技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是，一種多臺多晶爐并聯(lián)運行真空系 統(tǒng)，其中多晶鑄錠爐和真空機組一一對應(yīng)，所述真空機組包括機械泵和羅茨泵，其特征在 于，它至少包括二臺多晶鑄錠爐和二組真空機組，所述的各組真空機組的機械泵分別通過 主管道與對應(yīng)的一臺多晶鑄錠爐連通，并且每組真空機組的機械泵均通過管道經(jīng)閥門連接 至并聯(lián)總管道而與各臺多晶鑄錠爐連通。在本實用新型中，多臺多晶鑄錠爐的真空系統(tǒng)既實行并聯(lián)，又又一一對應(yīng)，在并聯(lián) 連接時，在機械泵通往并聯(lián)總管道的連接管道上設(shè)置了閥門，該閥門可以是手動旋鈕閥門， 也可以是氣動閥門或者電動閥門等。當(dāng)并聯(lián)的多臺多晶爐中要求真空模式時，各臺機械泵 全部開啟，并關(guān)閉機械泵通往并聯(lián)總管道的連接管道上所設(shè)置的閥門，使一臺多晶爐通過 主管道對應(yīng)一臺機械泵；當(dāng)多臺多晶爐同時處于保護氣體模式時，可以減少機械泵的運行 數(shù)量，直至僅保留一臺機械泵運行，此時，多晶爐主管道閥門關(guān)閉，應(yīng)當(dāng)開啟運行的機械泵 通往并聯(lián)總管道的連接管道上所設(shè)置的閥門。本實用新型的實施，多臺多晶爐采用并聯(lián)運行的真空系統(tǒng)，與原有的單臺多晶爐 單獨使用一組真空機組的情況相比較，在節(jié)省電能方面取得了顯著的成效。這就實現(xiàn)了在 保護氣體模式下多臺多晶爐共用一臺機械泵的目標，從而實現(xiàn)了節(jié)能降耗的目的。

圖1為本實用新型一種實施方式示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，它包括4臺多晶鑄錠爐1和4組真空機組，一組真空機組中包括1 臺機械泵5，故有4臺機械泵5。各機械泵5分別通過主管道6與對應(yīng)的一臺多晶鑄錠爐 1連通，每臺機械泵5均分別通過管道經(jīng)手動旋鈕閥門4連接至并聯(lián)總管道3而與各臺多 晶鑄錠爐1連通。在通往每臺多晶鑄錠爐1的管道上靠近多晶鑄錠爐1處均設(shè)有氣動閥 門2。本實施例在實際運行中，產(chǎn)生了良好的節(jié)能效果，以一個完整的生產(chǎn)周期計，4臺多晶 爐并聯(lián)運行真空系統(tǒng)后，用電量由真空系統(tǒng)獨立運行的1950度下降到825度，僅為原來的 42.31%,即可能節(jié)省電能57. 69%，如下表所示。
權(quán)利要求1. 一種多臺多晶爐并聯(lián)運行真空系統(tǒng)，其中多晶鑄錠爐和真空機組一一對應(yīng)，所述真 空機組包括機械泵和羅茨泵，其特征在于，它至少包括二臺多晶鑄錠爐和二組真空機組，所 述的各組真空機組的機械泵分別通過主管道與對應(yīng)的一臺多晶鑄錠爐連通，并且每組真空 機組的機械泵均分別通過管道經(jīng)閥門連接至并聯(lián)總管道而與各臺多晶鑄錠爐連通。
專利摘要本實用新型涉及一種多臺多晶爐并聯(lián)運行時的真空系統(tǒng)。它至少包括二臺多晶鑄錠爐和二組真空機組，多晶鑄錠爐和真空機組一一對應(yīng)，各組真空機組的機械泵分別通過主管道與對應(yīng)的一臺多晶鑄錠爐連通，并且每組真空機組的機械泵均通過管道經(jīng)閥門連接至并聯(lián)總管道而與各臺多晶鑄錠爐連通。采用本實用新型，在保護氣體模式下多臺多晶爐可共用一臺機械泵，實現(xiàn)了節(jié)能降耗的目的。
文檔編號C01B33/021GK201882916SQ20102059171
公開日2011年6月29日 申請日期2010年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者錢其峰 申請人:浙江芯能光伏科技有限公司