專利名稱：導熱油沸騰爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種制備氯硅烷的設備，具體是一種導熱油沸騰爐。
背景技術：
三氯氫硅是合成有機硅的重要中間體，也是制備多晶硅的主要原料。制備三氯氫硅比較成熟的工藝是采用金屬硅粉和氣體氯化氫制備，其主要流程包括氯化氫合成、三氯氫硅合成、三氯氫硅分離等主要工序。其中，三氯氫硅合成主要在三氯氫硅合成爐中進行， 其溫度控制在觀0 310°C，硅粉和氯化氫發(fā)生反應，生成三氯氫硅和四氯化硅?，F(xiàn)有技術中，三氯氫硅合成爐主要存在如下問題1)向外傳熱性能不好；2)粗品中夾帶固體顆粒較多。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型提供一種導熱油沸騰爐，其傳熱性能好，產(chǎn)品中固體顆粒夾帶少。本實用新型具體采用如下技術方案一種導熱油沸騰爐，包括爐體，爐體底部設有氯化氫進料口，頂部設有氯硅烷出口，上部側壁設有硅粉進料口，其特征是，爐體壁具有導熱油夾層，爐體內(nèi)設有導熱油列管， 所述導熱油夾層和導熱油列管連接。為使氯化氫進氣均勻，在沸騰爐內(nèi)還設有氣體分配器。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的優(yōu)點是1)采用導熱油夾層和導熱油列管配合，向外傳熱性能好，保證反應在相對穩(wěn)定的條件下進行；2)氣體分配器和導熱油列管一定程度能抑制產(chǎn)品中夾帶固體顆粒。
圖1是本實用新型的結構示意圖；圖中，1-氯硅烷出口，2-硅粉進料口，3-爐體，4-導熱油夾層，5-導熱油列管， 6-氣體分配器，7-氯化氫進料口。
具體實施方式
如圖1所示，一種導熱油沸騰爐，包括爐體3，爐體3底部設有氯化氫進料口 7，頂部設有氯硅烷出口 1，上部側壁設有硅粉進料口 2，爐體壁具有導熱油夾層4，爐體3內(nèi)設有導熱油列管5，所述導熱油夾層4和導熱油列管5連接。為使氯化氫進氣均勻，在沸騰爐內(nèi)還設有氣體分配器6。
權利要求1.一種導熱油沸騰爐，包括爐體，爐體底部設有氯化氫進料口，頂部設有氯硅烷出口， 上部側壁設有硅粉進料口，其特征是，爐體壁具有導熱油夾層，爐體內(nèi)設有導熱油列管，所述導熱油夾層和導熱油列管連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的導熱油沸騰爐，其特征是，在沸騰爐內(nèi)還設有氣體分配器。
專利摘要本實用新型涉及一種制備氯硅烷的設備，具體是一種導熱油沸騰爐，包括爐體，爐體底部設有氯化氫進料口，頂部設有氯硅烷出口，上部側壁設有硅粉進料口，其特征是，爐體壁具有導熱油夾層，爐體內(nèi)設有導熱油列管，所述導熱油夾層和導熱油列管連接。本實用新型采用導熱油夾層和導熱油列管配合，向外傳熱性能好，保證反應在相對穩(wěn)定的條件下進行。
文檔編號C01B33/107GK201952240SQ20102070128
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權日2010年12月31日
發(fā)明者宋宜華 申請人:淄博寶運化工廠