專(zhuān)利名稱(chēng)：一種熱泵精餾與多效精餾集成的三氯氫硅提純裝置及工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于精餾技術(shù)領(lǐng)域，涉及熱泵精餾與多效精餾的裝置及工藝，特別涉及一種應(yīng)用于三氯氫硅提純的熱泵精餾與多效精餾集成裝置及工藝。
背景技術(shù)：
目前多晶硅生產(chǎn)企業(yè)主要采用改良西門(mén)子法。該方法包括五個(gè)主要環(huán)節(jié)三氯氫硅的合成、三氯氫硅的精餾提純、三氯氫硅的氫還原、尾氣的回收和四氯化硅的氫化分離。 其中，三氯氫硅的提純、尾氣回收分離等環(huán)節(jié)涉及精餾過(guò)程，所需的精餾系統(tǒng)具有高回流比和高理論板特征，要求B、P等雜質(zhì)含量在PPT數(shù)量級(jí)，是公認(rèn)的高能耗、高污染過(guò)程。熱泵精餾與多效精餾作為兩種能有效提高精餾過(guò)程熱效率的節(jié)能技術(shù)，已廣泛用于各種化工生產(chǎn)中。常規(guī)的精餾塔都是從塔頂冷凝器取走熱量，同時(shí)向塔釜再沸器供給熱量，通常塔頂冷凝器取走的熱量是塔釜再沸器加入熱量的90%左右，能量利用很不合理。利用熱泵精餾則實(shí)現(xiàn)了將塔頂冷凝器取走的熱量傳遞給塔釜再沸器，大幅度地降低了能耗。 通常熱泵的成績(jī)系數(shù)為3 4左右，也就是說(shuō)，熱泵能夠?qū)⒆陨硭枘芰康?至4倍的熱能從低溫物體傳送到高溫物體，而性能較高的熱泵成績(jī)系數(shù)能達(dá)到6 8。多效精餾是將精餾塔分成能位不同的多塔，能位較高塔的頂蒸汽向能位較低塔的再沸器供熱，同時(shí)它自己被冷凝。這樣，在多效精餾中只是第一個(gè)塔的塔釜需要加入熱量，最后一個(gè)塔的塔頂蒸汽用冷卻介質(zhì)進(jìn)行冷凝，而其余各塔則不再需要有外界進(jìn)行供熱和冷卻，所以它具有非常明顯的節(jié)能效果。理論上講，與單塔相比，由雙塔組成的雙效精餾的節(jié)能效果為50%，三效精餾的節(jié)能效果為67%。近幾年，隨著多晶硅逐漸成為國(guó)家優(yōu)先發(fā)展的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)，改進(jìn)多晶硅生產(chǎn)工藝中的三氯氫硅精餾提純技術(shù)使其節(jié)能降耗的任務(wù)日趨重要與緊迫。目前，該領(lǐng)域?qū)岜镁s和多效精餾技術(shù)的引進(jìn)非常短缺，而將熱泵精餾與多效精餾集成的技術(shù)則更是空白。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一種熱泵精餾與多效精餾集成的三氯氫硅提純裝置與工藝，目的在于克服現(xiàn)有設(shè)備與技術(shù)的上述缺點(diǎn)，提供一種用于三氯氫硅提純的熱泵精餾與多效精餾集成的裝置及工藝，采用該工藝可大大降低三氯氫硅精餾提純過(guò)程中的能耗。本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明的一種熱泵精餾與多效精餾集成的三氯氫硅提純裝置及工藝，分別將熱泵精餾(如圖1所示)與多效精餾(如圖2所示)應(yīng)用于三氯氫硅精餾過(guò)程，并且將二者結(jié)合起來(lái)(如圖3所示)加以利用，進(jìn)一步達(dá)到節(jié)能降耗的效果。該工藝流程包括兩個(gè)或三個(gè)精餾塔，一臺(tái)壓縮機(jī)，兩臺(tái)或三臺(tái)換熱器以及若干條物料管線等。將高壓塔的塔頂蒸汽與低壓塔的塔釜液體換熱，同時(shí)將低壓塔的塔頂蒸汽通過(guò)熱泵裝置升壓升溫后與高壓塔的塔釜液體換熱，這樣各塔塔釜液體被加熱的同時(shí)，塔頂蒸汽也被冷凝。整個(gè)工藝流程只是增加了一臺(tái)壓縮機(jī)以及利用兩至三臺(tái)換熱器實(shí)現(xiàn)精餾系統(tǒng)內(nèi)部的熱量交換過(guò)程，但省去了所有冷凝器和再沸器，即過(guò)程中只是增加了一臺(tái)壓縮機(jī)的少量電耗，而卻節(jié)約了大量的冷量與熱量公用工程，從而使得整個(gè)三氯氫硅的精餾提純過(guò)程大大降低了能耗。本發(fā)明的一種熱泵精餾與多效精餾集成的三氯氫硅提純裝置，包括脫輕塔、脫重塔、壓縮機(jī)、換熱器及物料管線；其特征在于熱泵精餾與雙效精餾或三效精餾的集成裝置。熱泵精餾與雙效精餾的集成工藝，將脫重塔2的塔頂蒸汽與脫輕塔1的塔釜液體換熱，同時(shí)將脫輕塔1的塔頂蒸汽通過(guò)熱泵裝置7升壓升溫后與脫重塔2的塔釜液體換熱。如圖3所示，脫輕塔1中部設(shè)進(jìn)料口，塔底出料管線一條通過(guò)換熱器I 4升溫后返回脫輕塔1內(nèi)底部，另一條管經(jīng)與脫重塔2的中部連接作為脫重塔的進(jìn)料；脫輕塔1塔頂出料管線先經(jīng)壓縮機(jī)7升壓升溫后再經(jīng)過(guò)換熱器II 5與脫重塔2塔底出料管線換熱，之后一條管線返回脫輕塔1內(nèi)頂部回流，另一條管線踩出；脫重塔2以脫輕塔1塔釜采出液作為進(jìn)料，脫重塔2塔底出料管線與經(jīng)壓縮機(jī)7升壓升溫后的脫輕塔1塔頂蒸汽在換熱器II 5換熱后一條管線返回脫重塔2塔釜，另一條管線踩出；脫重塔2塔頂蒸汽經(jīng)換熱器I 4與脫輕塔1塔釜液體換熱后一條管線返回脫重塔2塔頂回流，另一條管線踩出高純?nèi)葰涔?。熱泵精餾與三效精餾的集成工藝，將脫重塔2的塔頂蒸汽與脫輕塔1的塔釜液體換熱，二次脫輕塔3的塔頂蒸汽與脫重塔2的塔釜液體換熱，同時(shí)將脫輕塔1的塔頂蒸汽通過(guò)熱泵裝置7升壓升溫后與二次脫輕塔3的塔釜液體換熱。如圖4所示，脫輕塔1中部設(shè)進(jìn)料口，塔頂蒸汽經(jīng)壓縮機(jī)7升壓升溫后通過(guò)換熱器 III6加熱二次脫輕塔3塔釜流出的液體，同時(shí)脫輕塔1塔頂蒸汽被冷凝后，一條管線返回脫輕塔頂部回流，另一條管線采出；脫輕塔1塔釜流出的液體一條管線被脫重塔2的塔頂蒸汽加熱后返回脫輕塔1底部，另一條管線連接到脫重塔2中部作為脫重塔2的進(jìn)料；脫重塔2 的塔頂蒸汽與脫輕塔1的塔釜液體換熱后被冷凝，一條管線返回脫重塔2的頂部回流，另一條連接到二次脫輕塔3的中部作為二次脫輕塔3塔的進(jìn)料，脫重塔2塔釜流出的液體一條管線被二次脫輕塔3的塔頂蒸汽在換熱器II 5中加熱后返回脫重塔2底部，另一條采出； 二次脫輕塔3的塔頂蒸汽在換熱器II 5中被脫重塔2塔釜流出的液體冷凝后一條管線返回塔頂入回流，另一條管線連接到脫輕塔1的進(jìn)料管線上繼續(xù)進(jìn)行精餾過(guò)程，二次脫輕塔3 塔釜流出的液體一條管線被經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)7升壓升溫的脫輕塔1的塔頂蒸汽加熱后返回二次脫輕塔3底部，另一條管線則采出高純?nèi)葰涔瑁幻撝厮?的塔頂蒸汽加熱脫輕塔1的塔釜液體，同時(shí)脫重塔2的塔頂蒸汽被冷卻，二次脫輕塔3的塔頂蒸汽加熱脫重塔2的塔釜液體，同時(shí)二次脫輕塔3的塔頂蒸汽被冷卻。本發(fā)明的特征在于對(duì)三氯氫硅的提純應(yīng)用了熱泵精餾與多效精餾集成的裝置及工藝，利用高壓塔即脫重塔的塔頂蒸汽來(lái)加熱低壓塔即脫輕塔的塔釜液體，而脫重塔塔頂蒸汽被冷凝，此過(guò)程為多效精餾過(guò)程；同時(shí)又將脫輕塔的塔頂蒸汽經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)升壓升溫后去加熱脫重塔的塔釜液體，而脫輕塔塔頂蒸汽被冷凝，此過(guò)程為熱泵精餾過(guò)程；整個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了熱泵精餾與多效精餾的集成，而整個(gè)工藝流程只是增加了一臺(tái)壓縮機(jī)以及利用兩臺(tái)換熱器實(shí)現(xiàn)精餾系統(tǒng)內(nèi)部的熱量交換過(guò)程，但省去了所有冷凝器和再沸器。本發(fā)明的效果和優(yōu)點(diǎn)是，利用熱泵精餾與多效精餾集成的裝置及工藝提純精餾三氯氫硅的過(guò)程不需要冷凝器與再沸器，節(jié)省了大量的冷量與熱量公用工程；過(guò)程中只是增加了一臺(tái)壓縮機(jī)的少量電耗，從而使得整個(gè)三氯氫硅的精餾提純過(guò)程大大降低了能耗。


圖1為熱泵精餾裝置及工藝示意圖；圖2為多效精餾裝置及工藝示意圖；圖3為本發(fā)明的熱泵精餾與雙效精餾集成的三氯氫硅提純精餾裝置及工藝示意圖；圖4為本發(fā)明的熱泵精餾與三效精餾集成的三氯氫硅提純精餾裝置及工藝示意圖；圖5為現(xiàn)有的三氯氫硅提純精餾裝置及工藝示意圖；其中，1-脫輕塔，2-脫重塔，3- 二次脫輕塔，4-換熱器I，5-換熱器11，6_換熱器 111,7-壓縮機(jī)，8-再沸器I，9-再沸器II，10-冷凝器I，11-冷凝器11。
具體實(shí)施例方式下面根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的熱泵精餾與多效精餾集成的三氯氫硅提純裝置與工藝，分別將熱泵精餾 (如圖1所示)與多效精餾(如圖2所示)應(yīng)用于三氯氫硅精餾過(guò)程，并且將二者結(jié)合起來(lái)(如圖3所示)加以利用，進(jìn)一步達(dá)到節(jié)能降耗的效果。該工藝流程包括兩座或三座精餾塔，一臺(tái)壓縮機(jī)，兩臺(tái)或三臺(tái)換熱器以及若干條物料管線等。該精餾過(guò)程中，利用高壓塔即脫重塔的塔頂蒸汽來(lái)加熱低壓塔即脫輕塔的塔釜液體，而高壓塔即脫重塔塔頂蒸汽被冷凝，實(shí)現(xiàn)多效精餾過(guò)程；同時(shí)又將脫輕塔的塔頂蒸汽經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)升壓升溫后去加熱脫重塔的塔釜液體，而脫輕塔塔頂蒸汽被冷凝，實(shí)現(xiàn)熱泵精餾過(guò)程，整個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了熱泵精餾與多效精餾的集成。利用熱泵精餾與多效精餾集成的工藝提純精餾三氯氫硅的工藝，與現(xiàn)有的精餾系統(tǒng)相比，工藝流程只是增加了一個(gè)壓縮機(jī)以及利用兩至三臺(tái)換熱器實(shí)現(xiàn)精餾系統(tǒng)內(nèi)部的熱量交換過(guò)程，但整個(gè)過(guò)程不需要冷凝器與再沸器，即只是增加了少量電耗，但卻節(jié)省了大量的冷量與熱量公用工程從而使得三氯氫硅的精餾提純過(guò)程能耗大大降低。實(shí)施例1 如圖3所示，熱泵精餾與雙效精餾集成來(lái)提純?nèi)葰涔璧纳a(chǎn)裝置及其工藝流程，包括脫輕塔1、脫重塔2、壓縮機(jī)7、換熱器I 4、換熱器II 5以及若干物料管線等。脫輕塔1中部設(shè)進(jìn)料口，塔底出料管線一條通過(guò)換熱器I 4升溫后返回脫輕塔1內(nèi)底部，另一條管經(jīng)與脫重塔2的中部連接作為脫重塔的進(jìn)料；脫輕塔1塔頂出料管線先經(jīng)壓縮機(jī)7升壓升溫后再經(jīng)過(guò)換熱器II 5與脫重塔2塔底出料管線換熱，之后一條管線返回脫輕塔1內(nèi)頂部回流，另一條管線踩出，該過(guò)程即為熱泵精餾過(guò)程；脫重塔2以脫輕塔1塔釜采出液作為進(jìn)料，脫重塔2塔底出料管線與經(jīng)壓縮機(jī)7升壓升溫后的脫輕塔1塔頂蒸汽在換熱器II 5換熱后一條管線返回脫重塔2塔釜，另一條管線踩出；脫重塔2塔頂蒸汽經(jīng)換熱器I 4與脫輕塔1塔釜液體換熱后一條管線返回脫重塔2塔頂回流，另一條管線踩出高純?nèi)葰涔?，該過(guò)程即為雙效精餾過(guò)程，整個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了熱泵精餾與多效精餾的集成。與圖5 所示的傳統(tǒng)工藝流程相比，熱泵精餾與多效精餾集成的工藝省去了兩個(gè)再沸器8、9和兩個(gè)冷凝器10、11，節(jié)省了大量的熱量和冷量公用工程，而只是增加了壓縮機(jī)的少量電耗。通常熱泵的成績(jī)系數(shù)為3 4左右，也就是說(shuō)，熱泵系統(tǒng)能夠?qū)⒆陨硭枘芰康?至4倍的熱能從低溫物體傳送到高溫物體，而性能較高的熱泵成績(jī)系數(shù)能達(dá)到6 8。同時(shí)，雙效精餾也比單塔精餾理論值節(jié)能50%，可見(jiàn)利用本發(fā)明的熱泵精餾與多效精餾集成提純?nèi)葰涔璧墓に嚤葌鹘y(tǒng)的三氯氫硅精餾工藝大大降低了能耗。現(xiàn)有的三氯氫硅的提純裝置與工藝，脫輕塔、脫重塔均安裝有各自的冷凝器和再沸器，即共設(shè)有兩個(gè)冷凝器和兩個(gè)再沸器，冷凝器和再沸器的公用工程能耗為1000KW，則三氯氫硅精餾系統(tǒng)總能耗為4000KW ；而相同工藝條件下，熱泵精餾與雙效精餾集成的三氯氫硅提純裝置與工藝中，只是一臺(tái)壓縮機(jī)能耗300KW?？梢?jiàn)利用本發(fā)明的熱泵精餾與多效精餾集成提純?nèi)葰涔璧墓に嚤葌鹘y(tǒng)的三氯氫硅精餾工藝大大降低了能耗。實(shí)施例2 如圖4所示，熱泵精餾與三效精餾集成來(lái)提純?nèi)葰涔璧墓に嚰捌渖a(chǎn)裝置，包括脫輕塔1、脫重塔2、二次脫輕塔3、壓縮機(jī)7、換熱器I 4、換熱器II 5、換熱器 III 6以及若干物料管線。其中三塔壓力水平，二次脫輕塔3最高，脫重塔2次之，脫輕塔1 最低。脫輕塔1中部設(shè)進(jìn)料口，塔頂蒸汽經(jīng)壓縮機(jī)7升壓升溫后通過(guò)換熱器III 6加熱二次脫輕塔3塔釜流出的液體，同時(shí)脫輕塔1塔頂蒸汽被冷凝后，一條管線返回脫輕塔頂部回流，另一條管線采出，該過(guò)程實(shí)現(xiàn)了熱泵精餾過(guò)程；脫輕塔1塔釜流出的液體一條管線被脫重塔2的塔頂蒸汽加熱后返回脫輕塔1底部，另一條管線連接到脫重塔2中部作為脫重塔2 的進(jìn)料；脫重塔2的塔頂蒸汽與脫輕塔1的塔釜液體換熱后被冷凝，一條管線返回脫重塔2 的頂部回流，另一條連接到二次脫輕塔3的中部作為二次脫輕塔3塔的進(jìn)料，脫重塔2塔釜流出的液體一條管線被二次脫輕塔3的塔頂蒸汽在換熱器II 5中加熱后返回脫重塔2底部，另一條采出；二次脫輕塔3的塔頂蒸汽在換熱器II 5中被脫重塔2塔釜流出的液體冷凝后一條管線返回二次脫輕塔3的頂部回流，另一條管線連接到脫輕塔1的進(jìn)料管線上繼續(xù)進(jìn)行精餾過(guò)程，二次脫輕塔3塔釜流出的液體一條管線被經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)7升壓升溫的脫輕塔1的塔頂蒸汽加熱后返回二次脫輕塔3底部，另一條管線則采出高純?nèi)葰涔?；脫重? 的塔頂蒸汽加熱脫輕塔1的塔釜液體，同時(shí)脫重塔2的塔頂蒸汽被冷卻，二次脫輕塔3的塔頂蒸汽加熱脫重塔2的塔釜液體，同時(shí)二次脫輕塔3的塔頂蒸汽被冷卻，實(shí)現(xiàn)了三效精餾過(guò)程，整個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了熱泵精餾與多效精餾的集成。與現(xiàn)有的三氯氫硅提純裝置及工藝相比，脫輕塔、脫重塔、二次脫輕塔三塔均安裝有各自的冷凝器和再沸器，即共設(shè)有三個(gè)冷凝器和三個(gè)再沸器，冷凝器和再沸器的公用工程能耗為1000KW，則三氯氫硅精餾系統(tǒng)總能耗為6000KW ；而相同工藝條件下，熱泵精餾與三效精餾集成的三氯氫硅提純裝置與工藝中，只是一臺(tái)壓縮機(jī)能耗300KW，約為原能耗的 1/20?？梢?jiàn)利用本發(fā)明的熱泵精餾與多效精餾集成提純?nèi)葰涔璧墓に嚤葌鹘y(tǒng)的三氯氫硅精餾工藝大大降低了能耗。熱泵精餾與多效精餾集成的裝置工藝不僅可以用于三氯氫硅的精餾提純過(guò)程，還可以用在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程的尾氣回收分離等精餾過(guò)程。采用該工藝，可大大降低三氯氫硅精餾提純工程中的能耗，從而降低了多晶硅生產(chǎn)過(guò)程的能耗。
權(quán)利要求
1.一種熱泵精餾與多效精餾集成的三氯氫硅提純裝置，包括脫輕塔、脫重塔、壓縮機(jī)、 換熱器及物料管線等；其特征在于熱泵精餾與雙效精餾或三效精餾的集成裝置。
2.權(quán)利要求1所述提純裝置的熱泵精餾與雙效精餾集成工藝，其特征是將脫重塔(2) 的塔頂蒸汽與脫輕塔(1)的塔釜液體換熱，同時(shí)將脫輕塔(1)的塔頂蒸汽通過(guò)熱泵裝置(7) 升壓升溫后與脫重塔O)的塔釜液體換熱。
3.如權(quán)利要求2所述的工藝，其特征是脫輕塔(1)中部設(shè)進(jìn)料口，塔底出料管線一條通過(guò)換熱器I (4)升溫后返回脫輕塔(1)底部，另一條與脫重塔( 的中部連接作為脫重塔 (2)的進(jìn)料；脫輕塔(1)塔頂出料管線先經(jīng)壓縮機(jī)(7)升壓升溫后再經(jīng)過(guò)換熱器II 與脫重塔( 塔底出料管線換熱，之后一條管線返回脫輕塔(1)頂部回流，另一條管線踩出；脫重塔O)以脫輕塔(1)塔釜采出液作為進(jìn)料，脫重塔( 塔底出料管線與經(jīng)壓縮機(jī)(7)升壓升溫后的脫輕塔(1)塔頂蒸汽在換熱器II 換熱后一條管線返回脫重塔( 塔釜，另一條管線踩出；脫重塔( 塔頂蒸汽經(jīng)換熱器I (4)與脫輕塔(1)塔釜液體換熱后一條管線返回脫重塔( 塔頂回流，另一條管線踩出高純?nèi)葰涔琛?br> 4.權(quán)利要求1所述提純裝置的熱泵精餾與三效精餾集成工藝，其特征是將脫重塔(2) 的塔頂蒸汽與脫輕塔(1)的塔釜液體換熱，二次脫輕塔(3)的塔頂蒸汽與脫重塔O)的塔釜液體換熱，同時(shí)將脫輕塔(1)的塔頂蒸汽通過(guò)熱泵裝置(7)升壓升溫后與二次脫輕塔(3) 的塔釜液體換熱。
5.如權(quán)利要求4所述的工藝，其特征是脫輕塔(1)中部設(shè)進(jìn)料口，塔頂蒸汽經(jīng)壓縮機(jī) (7)升壓升溫后通過(guò)換熱器III (6)加熱二次脫輕塔C3)塔釜流出的液體，同時(shí)脫輕塔(1) 塔頂蒸汽被冷凝后，一條管線返回脫輕塔頂部回流，另一條管線采出；脫輕塔(1)塔釜流出的液體一條管線被脫重塔O)的塔頂蒸汽加熱后返回脫輕塔(1)底部，另一條管線連接到脫重塔O)中部作為脫重塔O)的進(jìn)料；脫重塔O)的塔頂蒸汽與脫輕塔(1)的塔釜液體換熱后被冷凝，一條管線返回脫重塔( 的頂部回流，另一條連接到二次脫輕塔C3)的中部作為二次脫輕塔C3)塔的進(jìn)料，脫重塔( 塔釜流出的液體一條管線被二次脫輕塔(3)的塔頂蒸汽在換熱器II (5)中加熱后返回脫重塔( 底部，另一條管線采出；二次脫輕塔(3) 的塔頂蒸汽在換熱器11(5)中被脫重塔( 塔釜流出的液體冷凝后一條管線返回塔頂回流，另一條管線連接到脫輕塔(1)的進(jìn)料管線上繼續(xù)進(jìn)行精餾過(guò)程，二次脫輕塔C3)塔釜流出的液體一條管線被經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)(7)升壓升溫的脫輕塔(1)的塔頂蒸汽加熱后返回二次脫輕塔(3)底部，另一條管線則采出高純?nèi)葰涔琛?br> 全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)的一種熱泵精餾與多效精餾集成的三氯氫硅提純裝置及工藝，利用高壓塔即脫重塔的塔頂蒸汽來(lái)加熱低壓塔即脫輕塔的塔釜液體，而脫重塔塔頂蒸汽被冷凝，此過(guò)程為多效精餾過(guò)程；同時(shí)又將脫輕塔的塔頂蒸汽經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)升壓升溫后去加熱脫重塔的塔釜液體，而脫輕塔塔頂蒸汽被冷凝，此過(guò)程為熱泵精餾過(guò)程；整個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了熱泵精餾與多效精餾的集成。整個(gè)工藝流程增加了一臺(tái)壓縮機(jī)以及利用兩臺(tái)換熱器實(shí)現(xiàn)精餾系統(tǒng)內(nèi)部的熱量交換過(guò)程，同時(shí)省去了所有冷凝器和再沸器，亦即過(guò)程中只是增加了一臺(tái)壓縮機(jī)的少量電耗，卻節(jié)省了大量的冷量與熱量公用工程，從而使得整個(gè)三氯氫硅的精餾提純過(guò)程能耗大大降低。
文檔編號(hào)C01B33/107GK102153092SQ20111010781
公開(kāi)日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2011年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月27日
發(fā)明者劉春江, 李雪, 段長(zhǎng)春, 袁希鋼 申請(qǐng)人:天津大學(xué)