專利名稱：氯硅烷冷凝儲存器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種將多晶硅還原爐排出的尾氣中氯硅烷回收的設(shè)備，特別是一種可以將氯硅烷氣體冷凝并貯存的氯硅烷冷凝儲存器。
背景技術(shù)：
在多晶硅還原爐尾氣的處理裝置中，冷凝器的功能僅僅只是在冷媒的作用下在冷凝器內(nèi)部對熱媒，即含有氯硅烷成份的尾氣進(jìn)行降溫?fù)Q熱。由于使用這種處理裝置要求冷凝器連續(xù)運行，在冷凝器內(nèi)的凝結(jié)液無法外排轉(zhuǎn)運。如果有凝結(jié)液，即氯硅烷液體產(chǎn)生，并且要求把氯硅烷液體儲存，通常還需配備另外的冷凝器、專門的貯罐和相應(yīng)的儀表及管道。 這樣不僅設(shè)備制造成本較高，而且配備相應(yīng)的儀表和管道將增加設(shè)備的安全隱患。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有氯硅烷回收設(shè)備的不足，本實用新型提供一種將冷凝器與貯存罐一體化的氯硅烷冷凝儲存器。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種氯硅烷冷凝儲存器，包括冷凝器和氯硅烷貯存罐，冷凝器具有熱媒入口、冷媒入口、冷媒出口、不凝氣出口和凝結(jié)液自流口，所述的冷凝器下部與氯硅烷貯存罐密封連接，氯硅烷貯存罐具有液位計接口，所述的液位計接口固定連接有液位計，氯硅烷貯存罐底部還具有凝結(jié)液出口，所述的凝結(jié)液出口固定連接有氯硅烷液體到達(dá)高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的閘閥。作為優(yōu)選，所述的氯硅烷貯存罐的內(nèi)徑略大于冷凝器的外徑，冷凝器的下部固定內(nèi)嵌于氯硅烷貯存罐上部，所述的氯硅烷貯存罐上部具有用于與冷凝器連接的第一法蘭， 冷凝器下部具有用于與氯硅烷貯存罐連接的第二法蘭，第一法蘭與第二法蘭通過螺栓固定連接。作為優(yōu)選，所述的液位計和閘閥均通過螺栓與氯硅烷貯存罐固定連接。為了便于轉(zhuǎn)運氯硅烷液體，還具有將氯硅烷貯存罐內(nèi)的氯硅烷液體抽出的輸送泵。本實用新型氯硅烷冷凝儲存器，氯硅烷氣體在冷凝器的作用下從氣態(tài)轉(zhuǎn)變成液態(tài)，液態(tài)的氯硅烷在重力的作用下自流到冷凝器底部的氯硅烷貯存罐中。冷凝器下部的氯硅烷貯存罐在安裝液位計后發(fā)出干結(jié)點信號，可以隨時得到液態(tài)的氯硅烷產(chǎn)量。通過電氣控制系統(tǒng)控制，在氯硅烷貯存罐內(nèi)的氯硅烷液體到達(dá)高位時，氯硅烷貯存罐底部的間閥自動打開，并且在輸送泵的作用下轉(zhuǎn)運氯硅烷液體到氯硅烷運輸儲罐。在轉(zhuǎn)運的過程中，當(dāng)氯硅烷貯存罐的氯硅烷液體下降至液位低位時，輸送泵與間閥全部自動關(guān)閉，同時提供運輸儲罐的更換時間。在氯硅烷液體轉(zhuǎn)運的過程中，氯硅烷貯存罐內(nèi)始終保持一定體積的氯硅烷液體，含有氯硅烷的尾氣無法外泄，空氣也不能進(jìn)入氯硅烷冷凝器。本實用新型的有益效果是，本實用新型氯硅烷冷凝儲存器，將冷凝器與氯硅烷貯存罐結(jié)合，保證了氯硅烷冷凝儲存器的連續(xù)工作，與此同時，氯硅烷貯存罐內(nèi)始終保持一定體積的氯硅烷液體，含有氯硅烷的尾氣不會進(jìn)入運輸儲罐。與傳統(tǒng)的冷凝貯存設(shè)備相比，既減少了冷凝器的數(shù)量又省略了冷凝器與貯存罐二者之間連接的管道與儀表，減少了設(shè)備的安全隱患。采用電氣控制系統(tǒng)進(jìn)行自動控制，控制更加精確，效率得到有效提高。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。


圖1是現(xiàn)有冷凝器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型氯硅烷冷凝儲存器最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、冷凝器，1-1、熱媒入口，1-2、冷媒入口，1-3、冷媒出口，1-4、不凝氣出口， 1-5、凝結(jié)液自流口，2、氯硅烷貯存罐，2-1、凝結(jié)液出口，3、液位計，4、閘閥，5、冷凝器列管， 6、第一法蘭，7、第二法蘭。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。如
圖1所示為現(xiàn)有冷凝器的結(jié)構(gòu)示意圖，具有熱媒入口 1-1、冷媒入口 1-2、冷媒出口 1-3、不凝氣出口 1-4和凝結(jié)液自流口 1-5。本實用新型是將冷凝器與貯存罐一體化，如圖 2所示，本實用新型氯硅烷冷凝儲存器最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。一種氯硅烷冷凝儲存器， 包括冷凝器1和氯硅烷貯存罐2，冷凝器1具有熱媒入口 1-1、冷媒入口 1-2、冷媒出口 1-3、 不凝氣出口 1-4和凝結(jié)液自流口 1-5，冷凝器1下部與氯硅烷貯存罐2密封連接，氯硅烷貯存罐2的內(nèi)徑略小于冷凝器1的外徑，冷凝器1的下部固定內(nèi)嵌于氯硅烷貯存罐2上部，氯硅烷貯存罐2具有液位計接口，液位計接口固定連接有液位計3，氯硅烷貯存罐2底部還具有凝結(jié)液出口 2-1，凝結(jié)液出口 2-1固定連接有氯硅烷液體到達(dá)高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的氣動閥門4。氯硅烷貯存罐2上部具有用于與冷凝器1連接的第一法蘭6，冷凝器1下部具有用于與氯硅烷貯存罐2連接的第二法蘭7，第一法蘭6與第二法蘭7通過螺栓固定連接，液位計3和氣動閥門4均通過螺栓與氯硅烷貯存罐2固定連接。還具有將氯硅烷貯存罐2內(nèi)的氯硅烷液體抽出的輸送泵。還具有PLC可編程邏輯控制器，氣動閥門4的開閉通過PLC可編程邏輯控制器自動控制，輸送泵的起停通過PLC可編程邏輯控制器自動控制。多晶硅還原爐尾氣通過冷凝器1的熱媒入口 1-1進(jìn)入冷凝器1，低溫冷媒通過冷媒入口 1-2進(jìn)入冷凝器1，兩種物質(zhì)通過冷凝器列管5進(jìn)行熱交換，降溫后的不凝氣體通過不凝氣出口 1-4排出冷凝器1，冷媒在壓力的作用下由冷媒出口 1-3流出冷凝器1，發(fā)生相變后的氯硅烷氣體凝結(jié)成液體，液態(tài)的氯硅烷在重力的作用下自流到冷凝器1底部的氯硅烷貯存罐2中。冷凝器1下部的氯硅烷貯存罐2安裝的液位計3發(fā)出干結(jié)點信號，可以隨時得到液態(tài)的氯硅烷產(chǎn)量。在氯硅烷貯存罐2內(nèi)的氯硅烷液體到達(dá)高位時，氯硅烷貯存罐 2底部的氣動閥門4自動打開，并且在輸送泵的作用下轉(zhuǎn)運氯硅烷液體到氯硅烷運輸儲罐。 在轉(zhuǎn)運的過程中，當(dāng)氯硅烷貯存罐2的氯硅烷液體下降至液位低位時，輸送泵與氣動閥門4全部自動關(guān)閉，同時提供運輸儲罐的更換時間。通過PLC可編程邏輯控制器設(shè)置液位低位， 使氯硅烷貯存罐2在氯硅烷液體轉(zhuǎn)運的過程中始終保持一定體積的氯硅烷液體，從而使含有氯硅烷的尾氣無法外泄，空氣也不能進(jìn)入氯硅烷冷凝器。 以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1.一種氯硅烷冷凝儲存器，包括冷凝器(1)和氯硅烷貯存罐0)，冷凝器(1)具有熱媒入口(1-1)、冷媒入口(1-2)、冷媒出口(1-3)、不凝氣出口 (1-4)和凝結(jié)液自流口(1-5)，其特征在于所述的冷凝器(1)下部與氯硅烷貯存罐( 密封連接，氯硅烷貯存罐( 具有液位計接口，所述的液位計接口固定連接有液位計(3)，氯硅烷貯存罐( 底部還具有凝結(jié)液出口 0-1)，所述的凝結(jié)液出口固定連接有氯硅烷液體到達(dá)高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的閘閥G)。
2.如權(quán)利要求1所述的氯硅烷冷凝儲存器，其特征在于所述的氯硅烷貯存罐O)的內(nèi)徑略大于冷凝器(1)的外徑，冷凝器(1)的下部固定內(nèi)嵌于氯硅烷貯存罐( 上部，所述的氯硅烷貯存罐( 上部具有用于與冷凝器(1)連接的第一法蘭(6)，冷凝器(1)下部具有用于與氯硅烷貯存罐( 連接的第二法蘭(7)，第一法蘭(6)與第二法蘭(7)通過螺栓固定連接。
3.如權(quán)利要求1所述的氯硅烷冷凝儲存器，其特征在于所述的液位計C3)和閘閥(4) 均通過螺栓與氯硅烷貯存罐O)固定連接。
4.如權(quán)利要求1所述的氯硅烷冷凝儲存器，其特征在于還具有將氯硅烷貯存罐(2) 內(nèi)的氯硅烷液體抽出的輸送泵。
專利摘要本實用新型涉及一種氯硅烷冷凝儲存器，包括冷凝器和氯硅烷貯存罐，冷凝器具有熱媒入口、冷媒入口、冷媒出口、不凝氣出口和凝結(jié)液自流口，冷凝器下部與氯硅烷貯存罐密封連接，氯硅烷貯存罐具有液位計接口，液位計接口固定連接有液位計，氯硅烷貯存罐底部還具有凝結(jié)液出口，凝結(jié)液出口固定連接有氯硅烷液體到達(dá)高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的閘閥。本實用新型氯硅烷冷凝儲存器，將冷凝器與氯硅烷貯存罐結(jié)合，保證了氯硅烷冷凝儲存器的連續(xù)工作，與此同時，含有氯硅烷的尾氣不會進(jìn)入運輸儲罐。與傳統(tǒng)的冷凝貯存設(shè)備相比，既減少了冷凝器的數(shù)量又省略了冷凝器與貯存罐二者之間連接的管道與儀表，減少了設(shè)備的安全隱患。
文檔編號C01B33/107GK202046893SQ20112016610
公開日2011年11月23日 申請日期2011年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月19日
發(fā)明者蔣超 申請人:蔣超