專利名稱:用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及的是ー種四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,屬于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
近年來,人類日益增長的對能源的需求與日益減少的不可再生能源之間的矛盾不斷加劇,促生了可再生能源的開發(fā)利用熱潮。太陽能作為ー種豐富、潔凈的可再生新能源,受到了人們廣泛的關(guān)注。在太陽能利用上,多晶硅發(fā)揮著巨大的作用。多晶硅是半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路和太陽能產(chǎn)業(yè)的重要原材料,在中央政府大力推廣新能源政策的支持和太陽能光伏產(chǎn)業(yè)市場的巨大利潤誘導(dǎo)下,國內(nèi)涌現(xiàn)出ー股多晶硅項目的熱潮,多晶硅產(chǎn)業(yè)市場供不應(yīng)求,發(fā)展前景廣闊,中國已進入多晶硅產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的黃金時期。同時,在用氫氣還原三氯氫娃制備多晶娃過程中,有大量的副產(chǎn)物四氯化娃產(chǎn)生。SiC14具有中度毒性,受熱或遇水分解放熱,放出有毒的腐蝕性煙氣,若不能得到有效的綜合處理和應(yīng)用,既對環(huán)境造成很大的污染,又降低多晶硅生產(chǎn)エ藝的整體經(jīng)濟技術(shù)水平。將四氯化硅氫化轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)多晶硅的基本原料三氯氫硅是其綜合利用的重要方式之一。而在四氯化硅氫化的過程中,含有硅粉的尾氣高速進入尾氣出口管道,不利于硅粉與氣體的分離,而且高硬度的硅粉高速沖擊也會對管道造成嚴(yán)重的磨蝕。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,以提高尾氣中硅粉的分離效率,凈化尾氣。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案為用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,屬于氣固分離裝置,包括與原冷氫化反應(yīng)器連接的尾氣出口管,所述尾氣出口管的管壁內(nèi)沿圓周方向設(shè)有進氣ロ,所述尾氣出ロ管底端密封,尾氣出口管上端設(shè)有出氣ロ,尾氣由所述進氣ロ進入尾氣出口管,從出氣ロ流出。作為本實用新型的一種優(yōu)選方式,所述進氣ロ大于I個。作為本實用新型的一種優(yōu)選方式,沿所述尾氣出口管管壁的圓周方向均勻分布多個進氣ロ。作為本實用新型的一種優(yōu)選方式,所述進氣ロ的寬度小于高度。作為本實用新型的一種優(yōu)選方式,所述進氣ロ為長方形。作為本實用新型的一種優(yōu)選方式,所述進氣ロ位于所述尾氣出口管的中部或者下部。作為本實用新型的一種優(yōu)選方式,所述出氣ロ的截面積小于或者等于所述尾氣出ロ管的橫截面積。作為本實用新型的一種優(yōu)選方式,所述各進氣ロ的總面積大于所述出氣ロ的截面積。本實用新型提供的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,尾氣通過各進氣ロ進入尾氣出口管,因各個進氣ロ的總面積大于出氣ロ的截面積,増大了流通面積,大大降低了尾氣的進氣速度,使得大部分硅粉在進氣時被阻擋在尾氣出口管外,本實用新型明顯改善固氣分離效果,可以緩解沖擊,降低尾氣中固體對后續(xù)設(shè)備的磨蝕。本實用新型結(jié)構(gòu)簡単,使用方便,易于推廣。本實用新型用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,利用其尾氣出口管長方形開孔的過濾作用阻攔硅粉進入尾氣出口管,利用增大尾氣流通截面積來降低尾氣流速以提高氣固分離效率。本實用新型提高了尾氣的清潔度,緩解了尾氣的沖擊,減少了尾氣中硅粉對尾氣出ロ管及后續(xù)設(shè)備的磨蝕。
圖I是本實用新型用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置的正視圖。圖2是本實用新型用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置的設(shè)有進氣ロ部分的橫截面剖視圖。附圖標(biāo)記,I尾氣出口管,2進氣ロ,3出氣ロ。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體結(jié)構(gòu)作進ー步描述。如圖I所示,本實用新型包括尾氣出口管I、在尾氣出口管I下半部的管壁上均勻開設(shè)多個長方形的進氣ロ 2、尾氣出口管I下端封閉,上端為出氣ロ 3。長方形進氣ロ 2高度方向上由尾氣出ロ管I中部開始,向下至近尾氣出ロ管I下端,寬度小于高度。寬度很小的長方形進氣ロ 2可以過濾硅粉,且所有長方形進氣ロ 2的截面積之和大于出氣ロ 3的截面積。正常工作時,攜帯著硅粉的尾氣由尾氣出口管I側(cè)面的長方形進氣ロ 2進入,由于此細(xì)長開ロ的有效面積之和大于出氣ロ 3的截面積,降低了進氣的速度,使得大部分硅粉在進氣時被阻擋在尾氣出口管Iタト,帶有很少量硅粉的尾氣由出氣ロ 3流出尾氣出口管I。
權(quán)利要求1.用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,包括尾氣出口管,其特征在干所述尾氣出口管的管壁內(nèi)沿圓周方向設(shè)有進氣ロ,所述尾氣出口管底端密封,尾氣出口管上端設(shè)有出氣ロ,尾氣由所述進氣ロ進入尾氣出口管,從出氣ロ流出。
2.如權(quán)利要求I所述的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,其特征在于所述進氣ロ大于I個。
3.如權(quán)利要求2所述的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,其特征在于 沿所述尾氣出口管管壁的圓周方向均勻分布多個進氣ロ。
4.如權(quán)利要求I所述的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,其特征在于所述進氣ロ的寬度小于高度。
5.如權(quán)利要求I所述的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,其特征在于所述進氣ロ為長方形。
6.如權(quán)利要求I所述的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,其特征在于所述進氣ロ位于所述尾氣出ロ管的中部或者下部。
7.如權(quán)利要求I所述的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,其特征在于所述出氣ロ的截面積小于或者等于所述尾氣出口管的橫截面積。
8.按照權(quán)利要求I至7任一所述的用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,其特征在于所述進氣ロ的總面積大于所述出氣ロ的截面積。
專利摘要本實用新型提供了一種用于四氯化硅冷氫化反應(yīng)器的尾氣出口裝置,屬于氣固分離裝置,包括與原冷氫化反應(yīng)器連接的尾氣出口管,尾氣出口管的管壁內(nèi)沿圓周方向設(shè)有進氣口,所述尾氣出口管底端密封,尾氣出口管上端設(shè)有出氣口,尾氣由所述進氣口進入尾氣出口管,從出氣口流出,所述各進氣口的總面積大于所述出氣口的截面積。尾氣通過進氣口進入尾氣出口管,因各進氣口的總面積大于出氣口的截面積,增大了尾氣進氣時的流通面積,降低了進氣速度,使得大部分硅粉在進氣時被阻擋在尾氣出口管外,明顯改善固氣分離效果,可以緩解沖擊,降低尾氣中固體對后續(xù)設(shè)備的磨蝕,本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,易于推廣。
文檔編號C01B33/107GK202390210SQ20112033819
公開日2012年8月22日 申請日期2011年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月9日
發(fā)明者周勁松, 那日薩, 邵斌, 黃小華 申請人:上海森松環(huán)境技術(shù)工程有限公司