專利名稱：一種高溫擴(kuò)散爐中的石英管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種高溫擴(kuò)散爐中的石英管技術(shù)領(lǐng)域[0001 ] 本實用新型涉及一種高溫擴(kuò)散爐中的石英管。
技術(shù)背景[0002]目前，太陽能硅片生產(chǎn)采用的高溫擴(kuò)散爐中設(shè)有石英管，且石英管內(nèi)附著有尾氣管。石英管在使用一段時間后，需要先將高溫擴(kuò)散爐降溫后，再取出尾氣管，然后進(jìn)行旋轉(zhuǎn)清洗；這樣，因高溫擴(kuò)散爐中殘存的偏磷酸冷卻后會凝固，如果操作速度慢，將導(dǎo)致尾氣管與石英管粘在一起，在清洗石英管時就不能旋轉(zhuǎn)清洗石英管而只能采用浸泡方式，增加了清洗石英管的時間，影響了生產(chǎn)效率。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實用新型的目的是提供能防止尾氣管與石英管粘在一起的一種高溫擴(kuò)散爐中的石英管。[0004]本實用新型采取的技術(shù)方案是一種高溫擴(kuò)散爐中的石英管，在石英管內(nèi)設(shè)有尾氣管，其特征在于尾氣管通過石英墊架空設(shè)在石英管內(nèi)。[0005]采用本實用新型，即使高溫擴(kuò)散爐中的偏磷酸冷卻后凝固，也不會將尾氣管粘附在石英管上，因此，可以方便地將尾氣管取出后進(jìn)行石英管的旋轉(zhuǎn)清洗，加快了清洗時間， 提高的工作效率。


[0006]圖1是本實用新型的示意圖。[0007]圖中序號表示尾氣管1、石英管2和石英墊具體實施方式
[0008]下面對本實用新型作進(jìn)一步說明。[0009]參照圖1，該高溫擴(kuò)散爐中的石英管2內(nèi)設(shè)有尾氣管1，尾氣管1通過石英墊3架空設(shè)在石英管2內(nèi)。即使高溫擴(kuò)散爐中的偏磷酸冷卻后凝固，也只是在石英管2的底部，而不會將尾氣管1粘在石英管2上，因此，可以方便地將尾氣管1取出后進(jìn)行石英管2的旋轉(zhuǎn)清洗，加快了清洗時間，提高的工作效率。
權(quán)利要求1. 一種高溫擴(kuò)散爐中的石英管，在石英管內(nèi)設(shè)有尾氣管，其特征在于尾氣管通過石英墊架空設(shè)在石英管內(nèi)。
專利摘要本實用新型涉及一種高溫擴(kuò)散爐中的石英管，該石英管內(nèi)設(shè)有尾氣管，尾氣管通過石英墊架空設(shè)在石英管內(nèi)。采用本實用新型，即使高溫擴(kuò)散爐中的偏磷酸冷卻后凝固，也不會將尾氣管粘附在石英管上，因此，可以方便地將尾氣管取出后進(jìn)行石英管的旋轉(zhuǎn)清洗，加快了清洗時間，提高的工作效率。
文檔編號C01B33/021GK202246082SQ201120349089
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月9日
發(fā)明者徐新毅, 李德云, 童鵬飛 申請人:浙江嘉毅能源科技有限公司