專利名稱：一種用于西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原電極棒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及西門子法生產(chǎn)多晶硅領(lǐng)域，具體涉及一種用于還原爐的電極棒。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的西門子法制備多晶硅的電極棒一般使用純銅，表面不采用任何鍍層，隨著生產(chǎn)的進(jìn)行，電極棒表面有銅氧化現(xiàn)象，電極棒表面的導(dǎo)電率下降，導(dǎo)致還原生產(chǎn)中出現(xiàn)拉弧現(xiàn)象，影響生產(chǎn)。拉弧后電極棒發(fā)黑，必須使用砂紙打磨電極棒表面，經(jīng)常打磨會(huì)導(dǎo)致電極棒銅壁變薄、直徑變小。電極棒銅壁變薄會(huì)增大生產(chǎn)中電極棒打穿漏水的概率；直徑變小會(huì)使其與石墨卡座的接觸不良，進(jìn)而提高生產(chǎn)中拉弧和硅棒倒伏的概率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提出一種可防止還原生產(chǎn)用電極棒的接觸表面銅氧化的電極棒。本實(shí)用新型的目的通過下述技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種用于西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原電極棒，包括電極棒本體，還包括設(shè)于電極棒本體表面的防氧化鍍層。作為優(yōu)選方式，所述防氧化鍍層為銀鍍層。本實(shí)用新型的有益效果在電極棒表面鍍了一層防氧化鍍層后可有效防止表面銅氧化。銀可鍛、可塑，具有優(yōu)良的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性。被拋光的銀層具有較強(qiáng)的反光性，銀鍍層用于防止腐蝕，增加導(dǎo)電率和反光性。電極棒表面鍍銀后，有效的解決了銅氧化導(dǎo)致的導(dǎo)電性能降低現(xiàn)象，且提高了銅電極的表面導(dǎo)電性能。

圖1是本實(shí)用新型的剖視圖；圖中，1為電極棒本體，2為銀鍍層。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。如圖1所示，一種用于西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原電極棒，包括電極棒本體1，由純銅制成，還包括設(shè)于電極棒本體1表面的防氧化鍍層。如本實(shí)施例所示，所述防氧化鍍層為銀鍍層2。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原電極棒，包括電極棒本體，其特征在于還包括設(shè)于電極棒本體表面的防氧化鍍層。
2.如權(quán)利要求1所述的用于西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原電極棒，其特征在于所述防氧化鍍層為銀鍍層。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原電極棒，涉及西門子法生產(chǎn)多晶硅領(lǐng)域，包括電極棒本體，還包括設(shè)于電極棒本體表面的防氧化鍍層。本實(shí)用新型是一種可防止還原生產(chǎn)用電極棒的接觸表面銅氧化的電極棒。
文檔編號(hào)C01B33/021GK202246088SQ20112038404
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月11日
發(fā)明者王勃, 邱健源, 黃蘭香 申請(qǐng)人:東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公司