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      一種還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁的制作方法

      文檔序號(hào):3448652閱讀:226來源:國(guó)知局
      專利名稱:一種還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種采用改良西門子法或硅烷法生產(chǎn)多晶硅用的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁。
      背景技術(shù)
      目前,采用改良西門子法或硅烷法生產(chǎn)多晶硅用的還原爐內(nèi)的硅芯搭接方式通常是由兩根豎的長(zhǎng)硅芯和一根橫的短硅芯(搭接橫梁)搭接成Π型導(dǎo)電回路,兩根豎的長(zhǎng)硅芯在搭接硅芯的一端打磨成丫口或其它形狀用于與短硅芯(搭接橫梁)的裝配,搭接時(shí)一般采用鑰絲對(duì)這三段硅芯進(jìn)行綁扎,目的是獲得穩(wěn)定的力學(xué)結(jié)構(gòu),減少硅棒的倒?fàn)t現(xiàn)象,提高 多晶硅的成品率。但是,由于鑰絲的使用,造成了摻雜鑰絲的硅料的產(chǎn)生,在后續(xù)工藝中不得不采用人工方法分撿出這部分“鑰絲料”,這就造成了優(yōu)質(zhì)品率低、生產(chǎn)成本大、勞動(dòng)效率低、生產(chǎn)環(huán)節(jié)多的不利現(xiàn)象。
      發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種采用數(shù)控線切割技術(shù)生產(chǎn)的、不需要使用鑰絲進(jìn)行硅芯綁扎搭接,搭接速度快且又可提高多晶硅成品率的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁。為實(shí)現(xiàn)上述目的所采取的方案為一種還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁,其特征是該橫梁是采用數(shù)控線切割設(shè)備生產(chǎn)的截面為矩形、菱形、三角形、梯形或圓形的柱體;橫梁兩端對(duì)稱位置分別設(shè)置有通孔,該通孔的截面為矩形、菱形、三角形、梯形和圓形;所述通孔上小下大型或等徑通孔型;所述兩通孔的中心位置與還原爐電極中心位置相對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁是采用數(shù)控線切割設(shè)備生產(chǎn)的,與長(zhǎng)硅芯采取榫卯結(jié)構(gòu)搭接,搭接速度快,既可避免鑰絲的使用,提高了產(chǎn)品成品率,降低了生廣成本和勞動(dòng)效率,減少了生廣環(huán)節(jié),又可提聞了多晶娃的品質(zhì)和生廣效率。

      圖I為本實(shí)用新型還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁與截面為矩形、菱形、三角形、梯形的柱狀長(zhǎng)硅芯的搭接方式圖;圖2為本實(shí)用新型還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁與截面為圓錐形的柱狀長(zhǎng)硅芯的搭接方式圖。
      具體實(shí)施方式
      本實(shí)用新型的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁是采用數(shù)控線切割設(shè)備生產(chǎn)的,所述橫梁是(1)橫梁為截面為矩形、菱形、三角形、梯形或圓形等形狀的柱體,橫梁粗細(xì)均勻。
      (2)在橫梁兩端一定距離、相對(duì)稱的位置,設(shè)置2個(gè)截面圖形相同、通透的通孔,通孔的截面為矩形、菱形、三角形、梯形和圓形等形狀,(3)孔兩端的面積同比例縮小,構(gòu)成截面面積上小下大的兩個(gè)孔,或者是等徑的通孔,這2個(gè)孔用于與長(zhǎng)硅芯形成榫卯搭接結(jié)構(gòu),(4)兩孔中心位置與還原爐電極中心位置相對(duì)應(yīng)。 硅芯與橫梁的搭接方式如圖I或圖2所示硅芯I的一端接入與之適配的石墨卡 瓣,另一端磨圓柱或圓錐等形狀。按照與還原爐電極中心對(duì)應(yīng)的距離在橫梁2上打2個(gè)適配硅芯I的圓孔或圓錐孔3,再將橫梁2和2根長(zhǎng)硅芯I搭接成Π型導(dǎo)電回路。
      權(quán)利要求1.一種還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁,其特征是該橫梁是采用數(shù)控線切割設(shè)備生產(chǎn)的截面為矩形、菱形、三角形、梯形或圓形的柱體。
      2.按照權(quán)利要求I所述的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁,其特征是所述橫梁兩端對(duì)稱位置分別設(shè)置有通孔,該通孔的截面為矩形、菱形、三角形、梯形和圓形。
      3.按照權(quán)利要求I或2所述的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁,其特征是所述通孔為上小下大型或等徑通孔型。
      4.按照權(quán)利要求3所述的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁,其特征是所述兩通孔的中心位置與還原爐電極中心位置相對(duì)應(yīng)。
      專利摘要本實(shí)用新型涉及一種還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁,其特征是該橫梁是采用數(shù)控線切割設(shè)備生產(chǎn)的截面為矩形、菱形、三角形、梯形或圓形的柱體。本實(shí)用新型的還原爐內(nèi)線切割硅芯搭接橫梁采用數(shù)控線切割設(shè)備生產(chǎn),與長(zhǎng)硅芯采取榫卯結(jié)構(gòu)搭接,搭接速度快,既可避免鉬絲的使用,提高了產(chǎn)品成品率,降低了生產(chǎn)成本和勞動(dòng)效率,減少了生產(chǎn)環(huán)節(jié),又可提高了多晶硅的品質(zhì)和生產(chǎn)效率。
      文檔編號(hào)C01B33/021GK202440315SQ20122008040
      公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月6日
      發(fā)明者周英軍 申請(qǐng)人:周英軍
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