專利名稱：還原爐絕緣套的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種還原爐絕緣套，它屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域。
二背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的還原爐絕緣套是石英制造的，但是對于還原爐生長過程中目前國內(nèi)普遍面臨以下問題I、石英絕緣套造價高，并在運輸過程中易破碎。2、石英絕緣套使用過程中損壞現(xiàn)象嚴重，重復(fù)利用性差，成本高。3、石英絕緣套再次使用時，清洗困難，耗時耗力。 三、實用新型的內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種新型的還原爐絕緣套，其具有優(yōu)點一、本實用新型還原爐絕緣套成本低、運輸方便、不易損壞；二、本實用新型還原爐絕緣套在生產(chǎn)過程中不易粘硅粉；三、本實用新型的還原爐絕緣套提高絕緣套的重復(fù)利用率，降低成本。本實用新型的目的是這樣來實現(xiàn)的它由陶瓷絕緣底座、陶瓷絕緣環(huán)、石墨蓋板構(gòu)成，陶瓷絕緣底座與還原爐底盤之間設(shè)有四氟墊片，陶瓷絕緣底座的底部光滑，陶瓷絕緣底座的頂部設(shè)有圓槽，槽面上套入套筒，銅電極置于套筒中，陶瓷絕緣環(huán)置于陶瓷絕緣底座的外部，石墨蓋板置于陶瓷絕緣環(huán)上部。本實用新型還原爐絕緣套，其具有以下優(yōu)點其一陶瓷絕緣環(huán)和陶瓷絕緣底座都采用九九瓷材質(zhì)，主要成分是氧化鋁，也就是氧化鋁含量在99 %的陶瓷材料，該材料具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨損、高絕緣等特性，石墨蓋板采用石墨材質(zhì)，在反復(fù)多次高壓擊穿硅芯的實驗及還原爐硅棒沉積的生產(chǎn)中，新型還原爐絕緣套起到了良好的絕緣效果，可以替代石英材質(zhì)。其二 新型絕緣套不似石英易碎，并且在還原爐運行沉積多晶硅的過程中，不易粘硅粉，粘上的少量硅粉可以通過腐蝕清洗設(shè)備清除，省時省力。其三新型絕緣蓋板的外徑較絕緣環(huán)外徑多出25mm，可以更好的起到絕緣效果。
四
附圖I為本實用新型還原爐絕緣套的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1——陶瓷絕緣底座、2——陶瓷絕緣環(huán)、3——石墨蓋板、4——銅電極、5套筒、6四氟墊片、7還原爐底盤
五具體實施方式
以下結(jié)合附圖來對本實用新型具體實施方式
作進一步的說細描述參照附圖，本實用新型還原爐絕緣套，它由陶瓷絕緣底座I、陶瓷絕緣環(huán)2、石墨蓋板3構(gòu)成，陶瓷絕緣底座I與還原爐底盤7之間設(shè)有四氟墊片6，陶瓷絕緣底座I的底部光滑，陶瓷絕緣底座I的頂部設(shè)有圓槽，槽面上套入套筒5，銅電極4置于套筒5中，陶瓷絕緣環(huán)2置于陶瓷絕緣底座I的外部，石墨蓋板3置于陶瓷絕緣環(huán)2上部。
權(quán)利要求1 .一種還原爐絕緣套，它由陶瓷絕緣底座(I)、陶瓷絕緣環(huán)(2)、石墨蓋板(3)構(gòu)成，其特征在于陶瓷絕緣底座(I)與還原爐底盤(7)之間設(shè)有四氟墊片(6)，陶瓷絕緣底座(I)的底部光滑，陶瓷絕緣底座(I)的頂部設(shè)有圓槽，槽面上套入套筒(5)，銅電極(4)置于套筒(5)中，陶瓷絕緣環(huán)(2)置于陶瓷絕緣底座(I)的外部，石墨蓋板(3)置于陶瓷絕緣環(huán)(2)上部。
專利摘要本實用新型涉及一種還原爐絕緣套，它屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域。它由石墨蓋板、陶瓷絕緣環(huán)、陶瓷絕緣底座構(gòu)成，陶瓷絕緣底座底部和還原爐底盤接觸，接觸面墊有四氟墊片，陶瓷絕緣底座外部再套上陶瓷絕緣環(huán)，石墨蓋板置于陶瓷絕緣環(huán)上部。本實用新型其具有優(yōu)點一、此實用新型還原爐絕緣套成本低、運輸方便、不易損壞；二、新型的還原爐絕緣套在生產(chǎn)過程中不易粘硅粉；三、新型的還原爐絕緣套提高絕緣套的重復(fù)利用率，降低成本。
文檔編號C01B33/035GK202717590SQ20122026709
公開日2013年2月6日 申請日期2012年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月30日
發(fā)明者劉建中, 葉軍, 李波, 張玉泉, 柳榮, 曹德財, 苗宏周 申請人:陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司