專利名稱：一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)領域，具體涉及改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的尾氣回收領域。
背景技術：
在改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的尾氣回收系統(tǒng)，氫化尾氣及還原尾氣回收系統(tǒng)中高壓解析區(qū)的解析塔塔釜排出的高溫貧液氯硅烷通過換熱器水冷后，再用泵進行輸送。合成尾氣回收系統(tǒng)中高壓解析區(qū)塔釜再沸器使用蒸汽進行加熱，具體流程如下氫化尾氣或還原尾氣回收系統(tǒng)高壓區(qū)在解析塔塔釜，富液氯硅烷通過解析塔塔釜再沸器被蒸汽加熱至120 150°C進行解析，被解析后的120 150°C貧液氯硅烷通過再沸器冷卻器進行換熱后，降溫至30 40°C再通過泵進行輸送至下一設備。在解析塔塔頂，-40氯化氫液體被采出，送至汽化器進行電加熱汽化。合成尾氣回收系統(tǒng)高壓區(qū)在合成解析塔塔釜，富液氯硅烷通過合成解析塔釜再沸器被蒸汽加熱至110 125°c進行解析，被解析后的110 125°C貧液氯硅烷通過合成再沸器冷卻器進行換熱后，降溫至40°C再通過泵進行輸送至下一設備。在上述過程中氫化或還原貧液氯硅烷攜帶大量熱量需要冷媒進行逐漸冷卻消耗冷量，而合成富液氯硅烷需要熱源進行加熱消耗熱量。但在目前工藝中合成尾氣回收系統(tǒng)合成解析塔再沸器采用蒸汽熱源進行加熱解析，從這里我們也可以發(fā)現(xiàn)氫化尾氣或還原尾氣回收系統(tǒng)中解析后的120 150°C貧液氯硅烷所攜帶的熱量未進行有效利用，氫化尾氣、還原尾氣回收系統(tǒng)及合成尾氣回收系統(tǒng)熱能綜合利用不合理。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術問題是針對生產(chǎn)多晶硅的改良西門子法中尾氣干法回收系統(tǒng)熱能利用不合理性，提供一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)，降低合成尾氣回收系統(tǒng)的能耗。本實用新型的目的通過以下技術方案來具體實現(xiàn)一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)，包括合成解析塔再沸器和冷卻器，所述合成解析塔再沸器的熱流體入口與120 150°C的氫化或還原貧液氯硅烷入口連通，所述合成解析塔再沸器的熱流體出口與所述冷卻器連通。在所述合成解析塔再沸器的熱流體入口和熱流體出口之間的管道上安裝有旁路閥。本實用新型實現(xiàn)合成尾氣熱能回收系統(tǒng)中合成解析塔塔釜采用120 150°C氫化或還原貧液氯硅烷作為熱源進行塔釜加熱，減少了合成尾氣熱能回收系統(tǒng)蒸汽的消耗，有效的利用了氫化或還原尾氣回收系統(tǒng)中解析后的120 150°C貧液氯硅烷所攜帶的熱量。

[0011]下面根據(jù)附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。圖I是本實用新型實施例所述多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)的結構圖。
具體實施方式
如圖I所示，本實用新型實施例所述的多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)，包括合成解析塔再沸器I和冷卻器2，所述合成解析塔再沸器I的熱流體入口與120 150°C的氫化或還原貧液氯硅烷入口連通，所述合成解析塔再沸器I的熱流體出口與所述冷卻器2連通。在所述合成解析塔再沸器I的熱流體入口和熱流體出口之間的管道上安裝有旁路閥3。本實用新型實現(xiàn)多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)中合成解析塔塔釜采用120 150°C氫化或還原貧液氯硅烷作為熱源進行塔釜加熱，減少了合成尾氣熱能回收系統(tǒng)蒸汽的消耗，有效的利用了氫化或還原尾氣回收系統(tǒng)中解析后的120 150°C貧液氯硅烷所攜帶的熱量。
權利要求1.一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)，其特征在于，包括合成解析塔再沸器和冷卻器，所述合成解析塔再沸器的熱流體入口與120 150°C氫化或還原貧液氯硅烷入口連通，所述合成解析塔再沸器的熱流體出口與所述冷卻器連通。
2.如權利要求I所述的多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)，其特征在于，在所述合成解析塔再沸器的熱流體入口和熱流體出口之間的管道上安裝有旁路閥。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統(tǒng)，其特征在于，包括合成解析塔再沸器和冷卻器，所述合成解析塔再沸器的熱流體入口與120～150℃氫化或還原貧液氯硅烷入口連通，所述合成解析塔再沸器的熱流體出口與所述冷卻器連通。本實用新型實現(xiàn)多晶硅尾氣干法回收系統(tǒng)合成解析塔塔釜采用120～150℃氫化或還原貧液氯硅烷作為熱源進行塔釜加熱，減少了合成尾氣熱能回收系統(tǒng)蒸汽的消耗，有效的利用了多晶硅尾氣干法回收系統(tǒng)中解析后的120～150℃氫化或還原貧液氯硅烷所攜帶的熱量。
文檔編號C01B33/03GK202766302SQ20122047876
公開日2013年3月6日 申請日期2012年9月19日 優(yōu)先權日2012年9月19日
發(fā)明者張偉, 陳喜清, 陳朝霞, 葉冬梅, 張吉武 申請人:新特能源股份有限公司