硅粉傳輸設(shè)備以及具有其的合成三氯氫硅的系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了硅粉傳輸設(shè)備以及具有其的合成三氯氫硅的系統(tǒng)。其中，硅粉傳輸設(shè)備包括：適于干燥硅粉的干燥罐；以及適于向合成爐中供給硅粉的進(jìn)料罐，進(jìn)料罐與干燥罐相連，其中，進(jìn)料罐包括：進(jìn)料罐本體，進(jìn)料罐本體內(nèi)限定出硅粉容納空間；第一氮?dú)膺M(jìn)料口，第一氮?dú)膺M(jìn)料口設(shè)置在進(jìn)料罐本體上，并適于向硅粉容納空間中供給氮?dú)?；以及硅粉出口，硅粉出口設(shè)置在進(jìn)料罐本體上，并適于從硅粉容納空間中排出硅粉。該硅粉傳輸設(shè)備簡單，易操作，能夠確保合成三氯氫硅系統(tǒng)穩(wěn)定可靠的運(yùn)行，并且提高合成效率。
【專利說明】硅粉傳輸設(shè)備以及具有其的合成三氯氫硅的系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及化工領(lǐng)域，具體而言，本實(shí)用新型涉及硅粉傳輸設(shè)備以及具有其的合成三氯氫娃的系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在三氯氫硅合成中，由于硅粉硬度大，對管道、閥門的磨損嚴(yán)重，且三氯氫硅合成爐一側(cè)有HC1、氯硅烷等腐蝕性物質(zhì)，若硅粉輸送和進(jìn)料系統(tǒng)的材質(zhì)或工藝選擇不合適，就會(huì)出現(xiàn)HCL反串發(fā)生強(qiáng)烈的腐蝕，使整個(gè)系統(tǒng)無法安全穩(wěn)定的運(yùn)行，縮短硅粉輸送系統(tǒng)設(shè)備的壽命，且會(huì)大大增加生產(chǎn)成本。傳統(tǒng)的工藝一般采用合成爐中部進(jìn)料方式進(jìn)料，該方式硅粉進(jìn)行反應(yīng)即被帶出合成爐，導(dǎo)致原料的浪費(fèi)；另在干燥過程中只采用外夾套加熱方式；干燥效果不佳；且合成爐一般為常壓合成，進(jìn)料過程中在防止HCL反串上存在一些缺陷。
[0003]因此，關(guān)于合成三氯氫硅的設(shè)備還有進(jìn)一步改進(jìn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型旨在至少在一定程度上解決上述技術(shù)問題之一或至少提供一種有用的商業(yè)選擇。為此，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提出一種硅粉傳輸設(shè)備以及具有它的合成三氯氫娃的系統(tǒng)，該娃粉傳輸設(shè)備可以在三氯氫娃合成過程中穩(wěn)定可靠向合成爐內(nèi)輸送娃粉，保證合成三氯氫硅的系統(tǒng)的正常運(yùn)行。
[0005]在本實(shí)用新型的一個(gè)方面，本實(shí)用新型提出了一種硅粉傳輸設(shè)備。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，該設(shè)備包括:干燥罐，所述干燥罐用于干燥所述硅粉；以及進(jìn)料罐，所述進(jìn)料罐與所述干燥罐相連，并且所述進(jìn)料罐適于向合成爐中供給硅粉，其中，所述進(jìn)料罐包括:進(jìn)料罐本體，所述進(jìn)料罐本體內(nèi)限定出硅粉容納空間；第一氮?dú)膺M(jìn)料口，所述第一氮?dú)膺M(jìn)料口設(shè)置在所述進(jìn)料罐本體上，用于向所述硅粉容納空間中供給氮?dú)?；以及硅粉出口，所述硅粉出口設(shè)置在所述進(jìn)料罐本體上，用于從所述硅粉容納空間中排出硅粉。
[0006]另外，根據(jù)本實(shí)用新型上述實(shí)施例的硅粉傳輸設(shè)備還可以具有如下附加的技術(shù)特征:
[0007]在本實(shí)用新型中，所述干燥罐具有循環(huán)氮?dú)?熱油加熱組件，對所述硅粉進(jìn)行加熱干燥，由此可以進(jìn)一步提高硅粉的干燥效率。
[0008]在本實(shí)用新型中，所述干燥罐與所述進(jìn)料罐之間設(shè)置有第一閥門。由此通過閥門的開關(guān)可以控制向進(jìn)料罐內(nèi)輸送硅粉，同時(shí)可以保持進(jìn)料罐內(nèi)的壓力。
[0009]在本實(shí)用新型中，所述進(jìn)料罐進(jìn)一步包括:氮?dú)膺M(jìn)料控制組件，所述氮?dú)膺M(jìn)料控制組件與所述第一氮?dú)膺M(jìn)料口相連；以及第二閥門，所述第二閥門與所述硅粉出口相連。由此可以通過氮?dú)膺M(jìn)料組件向進(jìn)料罐中通入氮?dú)?，對進(jìn)料罐內(nèi)的硅粉進(jìn)行加壓，但壓力達(dá)到一定程度后可將上述第二閥門自動(dòng)打開，以便將硅粉輸送出進(jìn)料罐。
[0010]在本實(shí)用新型中，上述硅粉輸送設(shè)備進(jìn)一步包括:第一過濾筒，所述第一過濾筒與所述進(jìn)料罐相連，用于對從所述進(jìn)料罐接收排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾。由此可以避免排出的氮?dú)鈱Νh(huán)境造成污染，同時(shí)可以避免硅粉的浪費(fèi)。
[0011]在本實(shí)用新型中，上述硅粉輸送設(shè)備進(jìn)一步包括:傳送罐，所述傳送罐用于容納待進(jìn)料的硅粉，其中，所述傳送罐具有第二氮?dú)膺M(jìn)料口用于向所述傳送罐中供給氮?dú)?，所述傳送罐與所述干燥罐相連。
[0012]在本實(shí)用新型中，所述傳送罐與所述干燥罐通過管路相連，并且在所述管路上設(shè)置有至少一個(gè)助推器。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，進(jìn)一步包括氮?dú)夤?，所述氮?dú)夤尥ㄟ^氮?dú)廨斔凸苈放c所述助推器、第一氮?dú)膺M(jìn)料口以及第二氮?dú)膺M(jìn)料口相連。因此，所述助推器采用氮?dú)庾鳛閯?dòng)力源。由此可以實(shí)現(xiàn)濃相輸送，節(jié)約大量輸送氣體。
[0013]在本實(shí)用新型中，上述硅粉傳送設(shè)備進(jìn)一步包括第二過濾筒，其中，所述第二過濾筒與所述傳送罐相連，用于對從所述傳送罐排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾。由此可以避免排出的氮?dú)庵袏A帶的硅粉對空氣造成污染，并且通過第二過濾筒還可以將過濾后得到的硅粉進(jìn)行回收利用。
[0014]在本實(shí)用新型的第二方面，本實(shí)用新型提出了一種用于合成三氯氫硅的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括:三氯氫娃合成爐，所述三氯氫娃合成爐適于利用娃粉和氯化氫合成三氯氫娃;氯化氫氣體輸送管路，所述氯化氫氣體輸送管路與所述三氯氫娃合成爐相連，用于向所述三氯氫硅合成爐中供給氯化氫氣體；以及前面所述的硅粉傳輸設(shè)備，所述硅粉傳輸設(shè)備與所述三氯氫硅合成爐通過所述氯化氫氣體輸送管路相連，用于向所述三氯氫硅合成爐中供給硅粉，其中，所述氯化氫氣體輸送管路與所述進(jìn)料罐的硅粉出口相連，以便利用氯化氫氣體推動(dòng)所述硅粉進(jìn)入所述三氯氫硅合成爐，所述氯化氫氣體輸送管路與所述三氯氫硅合成爐的底部進(jìn)料口相連。同時(shí)保證進(jìn)料罐的壓力大于進(jìn)料管線約50kpa，防止進(jìn)料HCl反串至進(jìn)料罐。
[0015]由此利用上述合成三氯氫硅的系統(tǒng)可以進(jìn)一步提高三氯氫硅的合成效率，并且，上述系統(tǒng)中包括的硅粉傳輸設(shè)備，該設(shè)備可以保持硅粉的穩(wěn)定持續(xù)的進(jìn)料，同時(shí)還可以根據(jù)合成爐內(nèi)的反應(yīng)需要，對硅粉傳輸設(shè)備進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便達(dá)到控制硅粉的進(jìn)料量以及進(jìn)料速度等。由此可以提聞系統(tǒng)持續(xù)有效的運(yùn)行，進(jìn)而可以提聞合成效率。
[0016]本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0018]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例硅粉傳輸設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2是根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例硅粉傳輸設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對本實(shí)用新型的限制。[0021]在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順
時(shí)針”、“逆時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。
[0022]此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上，除非另有明確具體的限定。
[0023]在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0024]在本實(shí)用新型的一個(gè)方面，本實(shí)用新型提出了一種硅粉傳輸設(shè)備。下面參考圖1-2具體描述本實(shí)用新型實(shí)施例的硅粉傳輸設(shè)備，
[0025]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，該設(shè)備包括:干燥罐100和進(jìn)料罐200，進(jìn)料罐200與干燥罐100相連。
[0026]其中，干燥罐100用于干燥硅粉，進(jìn)料罐200適于向合成爐中供給硅粉。
[0027]根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，干燥罐100具有循環(huán)氮?dú)?熱油加熱組件，該組件設(shè)置在干燥罐100內(nèi)部空間的縱向中心部和靠近干燥罐100外壁內(nèi)側(cè)的位置，由此該組件可以采用循環(huán)熱氮?dú)夂蜔嵊蛯璺圻M(jìn)行加熱干燥。里外雙層對中間硅粉進(jìn)行加熱，可以顯著提高干燥效率，同時(shí)還可以通過控制通入熱氮?dú)獾牧髁?，對干燥溫度進(jìn)行調(diào)控，由此可以滿足對不同量的硅粉進(jìn)行充分干燥的目的，以便進(jìn)一步提高干燥效率。
[0028]根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，干燥罐100與進(jìn)料罐200之間通過管路連接，在該管路上可以設(shè)置第一閥門。由此可以通過開關(guān)第一閥門達(dá)到將干燥罐100中干燥后的硅粉輸送至進(jìn)料罐200內(nèi)。
[0029]根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，進(jìn)料罐200還可以包括:進(jìn)料罐本體210、氮?dú)膺M(jìn)料口 220以及硅粉出口 230。進(jìn)料罐本體210內(nèi)限定出硅粉容納空間，氮?dú)膺M(jìn)料口 220設(shè)置在進(jìn)料罐本體上，用于向硅粉容納空間中供給氮?dú)猓璺鄢隹?230設(shè)置在進(jìn)料罐本體上，用于從硅粉容納空間中排出硅粉。
[0030]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，進(jìn)料罐200還可以進(jìn)一步包括:氮?dú)膺M(jìn)料控制組件240和第二閥門250，氮?dú)膺M(jìn)料控制組件240與氮?dú)膺M(jìn)料口 220相連，第二閥門250與硅粉出口230相連。根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，第二閥門250為單向閥門，當(dāng)?shù)诙y門250內(nèi)側(cè)的壓力即進(jìn)料罐200內(nèi)的壓力高于第二閥門外側(cè)壓力約50KPa時(shí)，該閥門打開。當(dāng)?shù)诙y門外側(cè)壓力高于內(nèi)側(cè)的壓力時(shí)，該閥門關(guān)閉。由此可以將進(jìn)料罐200中的硅粉定向地輸送出進(jìn)料罐200，同時(shí)還可以有效防止第二閥門250外側(cè)的氯化氫氣體和氯硅烷反串進(jìn)入進(jìn)料罐200，對其造成腐蝕。
[0031]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，上述硅粉傳輸設(shè)備還可以進(jìn)一步包括:第一過濾筒300，第一過濾筒300與進(jìn)料罐200相連，用于對從進(jìn)料罐200排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾。
[0032]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，上述硅粉傳輸設(shè)備進(jìn)一步包括:傳送罐400，傳送罐400用于容納待進(jìn)料的硅粉，其中，傳送罐400具有氮?dú)膺M(jìn)料口 410用于向傳送罐400中供給氮?dú)?，傳送?00與干燥罐100相連。由此利用氮?dú)鉃閯?dòng)力源將傳送罐400內(nèi)的娃粉輸送至干燥罐100進(jìn)行干燥處理。根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，可以通過調(diào)節(jié)氮?dú)獾耐ㄈ肓縼砜刂苽魉凸?00內(nèi)的壓力，使得傳送罐400內(nèi)的硅粉受到足夠到的壓力以便實(shí)現(xiàn)濃相輸送，節(jié)省大量的輸送氣體。
[0033]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，傳送罐400與干燥罐100通過管路相連。通常干燥罐100的水平位置較傳送罐400，因此，向干燥罐100內(nèi)輸送硅粉還需要額外克服一定的重力。為此，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，在上述傳送罐400與干燥罐100相連的管路上設(shè)置有至少一個(gè)助推器。根據(jù)本實(shí)用新型的具體示例，進(jìn)一步包括氮?dú)夤?未示出)，氮?dú)夤尥ㄟ^氮?dú)廨斔凸苈放c助推器、第一氮?dú)膺M(jìn)料口以及第二氮?dú)膺M(jìn)料口相連。由此該助推器采用氮?dú)庾鳛閯?dòng)力源，可以實(shí)現(xiàn)濃相輸送，節(jié)約大量輸送氣體，同時(shí)避免管道堵塞，以便進(jìn)一步提高硅粉的輸送效率。根據(jù)本實(shí)用新型的具體示例，可以在上述管路上每間隔1.2米安裝一個(gè)助推器，由此可以有效避免管道堵塞，同時(shí)可以減小對管道的摩擦損耗。
[0034]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，上述硅粉傳輸設(shè)備進(jìn)一步包括第二過濾筒500，其中，第二過濾筒500與傳送罐400相連，用于對從傳送罐400排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾。由此可以避免排出的氮?dú)庵袏A帶的硅粉對環(huán)境造成污染，同時(shí)過濾后得到硅粉還可以將其回收利用，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，上述第一過濾筒和第二過濾筒可以合并為一個(gè)過濾筒，由此可以節(jié)省成本。根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，上述過濾筒的功能還在于對進(jìn)料罐200和傳送罐400進(jìn)行減壓。
[0035]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，下面對上述硅粉傳輸設(shè)備的具體操作步驟進(jìn)行詳細(xì)描述，以便更好的理解上述設(shè)備。
[0036]根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，首先，人工將硅粉加入破袋機(jī)后，打開閥門將硅粉送入傳送罐400,當(dāng)傳送罐400內(nèi)出現(xiàn)高料位時(shí)停止進(jìn)料。打開氮?dú)膺M(jìn)料口 410向傳送罐400中供給氮?dú)?，給傳送罐進(jìn)行加壓，此時(shí)應(yīng)將傳送罐400與破袋機(jī)和第二過濾筒500之間設(shè)置的閥門關(guān)閉，以保證傳送罐400內(nèi)的壓力，通過調(diào)節(jié)氮?dú)獾倪M(jìn)入量控制壓力在
0.25Mpag左右。在該壓力下娃粉被氮?dú)廨斔椭粮咛幍母稍锕?00內(nèi)，同時(shí)傳送罐400與干燥罐100之間管路上設(shè)置的助推器可以打開，由此可以保證硅粉在管路內(nèi)輸送通暢。當(dāng)傳送罐400內(nèi)出現(xiàn)低料位時(shí)停止輸送，關(guān)閉通入氮?dú)夤苈飞系拈y門，同時(shí)打開傳送罐400與第二過濾筒500之間的閥門，對傳送罐400進(jìn)行減壓，同時(shí)利用第二過濾筒500對從傳送罐400內(nèi)排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾，回收其中夾帶的硅粉。
[0037]當(dāng)硅粉輸送至干燥罐100中時(shí)，打開循環(huán)熱油和熱氮?dú)鈱璺圻M(jìn)行干燥，通過控制熱氮?dú)饬髁浚ＷC干燥罐中硅粉能充分干燥。干燥充分后，再打開干燥罐100與進(jìn)料罐200的之間的滑板閥，在重力的作用下使硅粉進(jìn)入進(jìn)料罐200內(nèi)，當(dāng)進(jìn)料罐200的硅粉料位達(dá)到要求(通過料位計(jì)測量)，關(guān)閉干燥罐100與進(jìn)料罐200的之間的滑板閥，打開進(jìn)料罐200的氮?dú)膺M(jìn)料控制組件，同時(shí)關(guān)閉對進(jìn)料管200進(jìn)行加壓，當(dāng)進(jìn)料罐200內(nèi)的壓力超過進(jìn)料罐200底部的第二閥門250外側(cè)壓力50kpa時(shí)，第二閥門250便自動(dòng)打開或者手動(dòng)打開，并向合成爐輸送硅粉進(jìn)料(由于本工藝是從合成爐底部進(jìn)料，進(jìn)料前保證足夠的氮?dú)饣蛘逪CL流量，保證將硅粉輸送至合成爐)，進(jìn)料的速度根據(jù)合成爐床層的高度對進(jìn)料罐200進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。在硅粉輸送過程中采用耐腐蝕鑄鋼進(jìn)行輸送，間隔一段距離使用氮?dú)膺M(jìn)行助推輸送，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠的濃相硅粉輸送。當(dāng)硅粉輸送完畢后，關(guān)閉氮?dú)膺M(jìn)料控制組件停止氮?dú)獾妮斔停瑫r(shí)第二閥門250關(guān)閉，打開進(jìn)料罐200與第一過濾筒300之間的閥門，對進(jìn)料罐200進(jìn)行減壓，同時(shí)對排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾，回收其中夾帶的硅粉。
[0038]由此上述硅粉傳輸設(shè)備利用濃相輸送方式，使設(shè)備布局簡單，管道磨損小，人員操作簡便；在合成爐進(jìn)料上，采用熱氮?dú)饬骰訜?，保證了有效的干燥效果。
[0039]在本實(shí)用新型的第二方面，本實(shí)用新型提出了一種用于合成三氯氫硅的系統(tǒng)，該系統(tǒng)具體包括:三氯氫娃合成爐600、氯化氫氣體輸送管路700以及前面的娃粉傳輸設(shè)備。
[0040]三氯氫娃合成爐600適于利用娃粉和氯化氫合成三氯氫娃；氯化氫氣體輸送管路700與三氯氫娃合成爐600相連,用于向三氯氫娃合成爐中供給氯化氫氣體；娃粉傳輸設(shè)備與三氯氫娃合成爐600通過氯化氫氣體輸送管路700相連,用于向三氯氫娃合成爐中供給硅粉。
[0041]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，上述氯化氫氣體輸送管路700與進(jìn)料罐200的硅粉出口 230相連，以便利用氯化氫氣體推動(dòng)硅粉進(jìn)入三氯氫硅合成爐。由此避免氮?dú)膺M(jìn)入三氯氫娃合成爐600,引入額外雜質(zhì)。
[0042]根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，上述氯化氫氣體輸送管路700可以與三氯氫硅合成爐600的底部進(jìn)料口連接，由此可以將硅粉和氯化氫從三氯氫硅合成爐600底部進(jìn)入，使得硅粉和氯化氫在三氯氫硅合成爐內(nèi)呈沸騰狀態(tài)，以便硅粉和氯化氫充分反應(yīng)。同時(shí)進(jìn)料罐200內(nèi)的壓力大于氯化氫氣體輸送管路700和三氯氫娃合成爐600內(nèi)的壓力，可以有效避免物料(HCl和氯硅烷)反串腐蝕設(shè)備，延長設(shè)備使用壽命，大大降低了生產(chǎn)成本，同時(shí)確保了整個(gè)生產(chǎn)系統(tǒng)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。
[0043]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0044]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的原理和宗旨的情況下在本實(shí)用新型的范圍內(nèi)可以對上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種娃粉傳輸設(shè)備，其特征在于，包括: 適于干燥所述硅粉的干燥罐；以及 適于向合成爐中供給所述硅粉的進(jìn)料罐，所述進(jìn)料罐與所述干燥罐相連， 其中，所述進(jìn)料罐包括: 進(jìn)料罐本體，所述進(jìn)料罐本體內(nèi)限定出硅粉容納空間； 第一氮?dú)膺M(jìn)料口，所述第一氮?dú)膺M(jìn)料口設(shè)置在所述進(jìn)料罐本體上，并適于向所述硅粉容納空間中供給氮?dú)猓灰约? 硅粉出口，所述硅粉出口設(shè)置在所述進(jìn)料罐本體上，并適于從所述硅粉容納空間中排出硅粉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述干燥罐具有循環(huán)氮?dú)?熱油加熱組件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述干燥罐與所述進(jìn)料罐之間設(shè)置有第一閥門。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述進(jìn)料罐進(jìn)一步包括: 氮?dú)膺M(jìn)料控制組件，所述氮?dú)膺M(jìn)料控制組件與所述第一氮?dú)膺M(jìn)料口相連；以及 第二閥門，所述第二閥門與所述硅粉出口相連， 其中，所述第二閥門為單向閥門。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，進(jìn)一步包括: 適于對從所述進(jìn)料罐接收排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾的第一過濾筒，所述第一過濾筒與所述進(jìn)料罐相連。
6.據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，進(jìn)一步包括: 適于容納待進(jìn)料硅粉的傳送罐， 其中， 所述傳送罐具有適于向所述傳送罐中供給氮?dú)獾牡诙獨(dú)膺M(jìn)料口， 所述傳送罐與所述干燥罐相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，所述傳送罐與所述干燥罐通過管路相連，并且在所述管路上設(shè)置有至少一個(gè)助推器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，進(jìn)一步包括氮?dú)夤?，所述氮?dú)夤尥ㄟ^氮?dú)廨斔凸苈放c所述助推器、第一氮?dú)膺M(jìn)料口以及第二氮?dú)膺M(jìn)料口相連。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，進(jìn)一步包括適于對從所述傳送罐排出的氮?dú)膺M(jìn)行過濾、回收硅粉的第二過濾筒，所述第二過濾筒與所述傳送罐相連。
10.一種用于合成三氯氫娃的系統(tǒng)，其特征在于，包括: 三氯氫娃合成爐，所述三氯氫娃合成爐適于利用娃粉和氯化氫合成三氯氫娃； 氯化氫氣體輸送管路，所述氯化氫氣體輸送管路與所述三氯氫娃合成爐相連，且適于向所述三氯氫硅合成爐中供給氯化氫氣體；以及 權(quán)利要求1?9任一項(xiàng)所述的娃粉傳輸設(shè)備,所述娃粉傳輸設(shè)備與所述三氯氫娃合成爐通過所述氯化氫氣體輸送管路相連，其中，所述氯化氫氣體輸送管路與所述進(jìn)料罐的硅粉出口相連； 所述氯化氫氣體輸送管路與所述三氯氫硅合成爐的底部進(jìn)料口相連。
【文檔編號】C01B33/107GK203440098SQ201320404475
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年7月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月8日
【發(fā)明者】譚宗國, 羅平, 馬啟坤, 史建華, 黃杰, 路向平, 李光茜, 趙祖喬 申請人:昆明冶研新材料股份有限公司