一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，包括如下工藝步驟：第一步：對混合氣進(jìn)行換熱降溫；第二步：換熱降溫后，進(jìn)行一次洗滌；第三步：對一次洗滌后的氣相進(jìn)行一次冷凝；第四步：對一次冷凝后的氣相加壓至0.8-1.5MPa；第五步：加壓后的氣相進(jìn)行二次洗滌；第六步：二次洗滌后的氣相進(jìn)行二次冷凝；第七步：二次冷凝后的氣相進(jìn)行三次冷凝；第八步：三次冷凝后的氣相進(jìn)行四次冷凝；將所述第二步、第五步、第七步和第八步產(chǎn)生的液相全部進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。本發(fā)明該解吸裝置充分利用了混合氣中的余熱，大大減小了整個工藝的能耗，同時還能保證解吸后硅烷含不凝氣的量在5ppm以下。
【專利說明】—種氯硅烷中不凝氣的解吸方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種多晶硅生產(chǎn)工藝中氯硅烷原料的提純方法，尤其涉及一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法。
【背景技術(shù)】
[0002]氯硅烷(包括但不限于四氯化硅、三氯氫硅、二氯硅烷的統(tǒng)稱)在實(shí)際生產(chǎn)中多為氣相反應(yīng)，通常與氫氣、氯化氫等以混合氣形式離開反應(yīng)器。在氯硅烷中溶解有較多量的不凝氣，含有不凝氣的氯硅烷不利于多晶硅的生產(chǎn)，因此，在工業(yè)上都會盡可能的除去氯硅烷中的不凝氣(包括但不限于氫氣、氯化氫、氮?dú)?。對這些氣相氯硅烷進(jìn)行多級冷凝、加壓、再多級冷凝的方式完成氯硅烷和不凝氣(包括但不限于氫氣、氯化氫、氮?dú)?的基本分離。多晶硅企業(yè)通常采用循環(huán)水冷?低溫水冷?加壓-35°C氟利昂冷0-65°C氟利昂冷的方式將氯硅烷和不凝氣體進(jìn)行分離，不同工藝中溫度和冷凝級數(shù)的控制根據(jù)實(shí)際情況而制定。采用冷凝的方式去除氯硅烷中的不凝氣(包括但不限于氫氣、氯化氫、氮?dú)?時，不凝氣(包括但不限于氫氣、氯化氫、氮?dú)?氯硅烷又會溶解部分不凝氣，其中四氯化硅組分對不凝氣的溶解十分明顯。例如，15000kg氯硅烷混合液(四氯化硅質(zhì)量分?jǐn)?shù)0.78)在2.5MPaG-30°C下溶解氫氣約30Nm3。這些溶解的不凝氣對多晶硅后續(xù)生產(chǎn)工序會產(chǎn)生較大的影響，因此，工業(yè)上都會采取措施來除去氯硅烷中的不凝氣，現(xiàn)有除去氯硅烷中的不凝氣主要有以下幾種方法:
1、精餾塔尾冷法，這種方法是在對氯硅烷混合液進(jìn)行分離時，在塔頂冷凝器后加上低溫?fù)Q熱器(_20°C以下)，不凝氣即從低溫?fù)Q熱器以氣相排出。該方法優(yōu)點(diǎn)在于增加設(shè)備少，解吸效果好，且利用了精餾塔完成精餾提純的熱負(fù)荷，不增加蒸汽消耗，缺點(diǎn)在于低溫?fù)Q熱器(通常由氟利昂機(jī)組提供冷量)負(fù)荷大、電耗高。
[0003]2、閃蒸儲槽直接加低溫?fù)Q熱器法，這種方法是利用大型臥式儲槽在減壓后(0.05-lMPaG)對含不凝氣氯硅烷自由閃蒸并在閃蒸氣出口加低溫?fù)Q熱器回收氣體中的氯硅烷，優(yōu)點(diǎn)是利用原有儲槽額外增加換熱器即可，投資小且基本無操作。缺點(diǎn)是解吸效果差，大量的不凝氣仍存在于氯硅烷混合液中。
[0004]3、閃蒸儲槽直接加低溫?fù)Q熱器法+精餾塔尾冷法，先采用閃蒸儲槽直接加低溫?fù)Q熱器法除去部分不凝氣，然后采用精餾塔尾冷法繼續(xù)除去剩余的不凝氣，這種方法具有方法I和2的優(yōu)點(diǎn)，除氣效果較好，缺點(diǎn)在于低溫?fù)Q熱器(通常由氟利昂機(jī)組提供冷量)負(fù)荷大、電耗聞。
[0005]4、解吸塔法，解吸塔法是針對多晶硅還原尾氣的氯硅烷、氫氣和氯化氫分離的裝置，其結(jié)構(gòu)與精餾塔尾冷法基本相同，區(qū)別在于解吸塔無需將不同的氯硅烷組分分開，可以大幅度降低塔頂氣相溫度，減小了塔頂冷媒耗量。因此解吸塔法得到了普遍的應(yīng)用。
[0006]如圖1所示，解吸塔法的具體工藝步驟為:將反應(yīng)裝置送過來的混合氣依次進(jìn)行一次水凝(用水冷器完成)、壓縮(用壓縮機(jī)完成)、一次水凝(用水冷器完成)、換熱(用換熱器完成)、一次冷凝(用冷凝器完成)和二次冷凝(用冷凝器完成)后，析出不凝氣。將一次水凝、二次水凝、換熱、一次冷凝和二次冷凝中冷凝下來的物質(zhì)送入到解吸塔中，將解吸塔塔頂?shù)奈镔|(zhì)進(jìn)行三次水凝(用水冷器完成)和三次冷凝(用冷凝器完成)析出解吸氣排出后送入到解吸塔中，解吸塔下面的物質(zhì)送入到再沸器中進(jìn)行處理，得到氯硅烷。
[0007]這種解吸方法存在以下缺陷:反應(yīng)裝置出來的混合氣的溫度超過100°C，該方法將混合器直接進(jìn)行水凝，浪費(fèi)了混合器中的熱量，同時還增加了水冷器的負(fù)擔(dān)，沒有對混合氣中的余熱進(jìn)行充分利用，增加了整個工藝的能耗。而且直接對混合器進(jìn)行冷凝，液相過冷會增加不凝氣在硅烷中的溶解量，使得不凝氣融入到硅烷中，不利于不凝氣的析出；壓縮后的混合氣體直接進(jìn)行冷凝，使得液相過冷，不凝氣進(jìn)一步融入到硅烷中，也不利于不凝氣的析出；該方法的解吸塔頂部增設(shè)了冷凝設(shè)備，使得解吸塔結(jié)構(gòu)復(fù)雜，冷量消耗大，耗能大。
[0008]發(fā)明
為了克服上述氯硅烷中不凝氣的解吸方法的缺陷，本發(fā)明提供了一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，該解吸方法充分利用了混合氣中的余熱，大大減小了整個工藝的能耗，同時還能保證解吸后氯硅烷含不凝氣的量在5ppm以下。
[0009]一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:包括如下工藝步驟:
第一步:對混合氣進(jìn)行換熱降溫； 第二步:換熱降溫后，進(jìn)行一次洗滌；
第三步:對一次洗滌后的氣相進(jìn)行一次冷凝；
第四步:對一次冷凝后的氣相加壓至0.8-1.5MPa ；
第五步:加壓后的氣相進(jìn)行二次洗滌；
第六步:二次洗滌后的氣相進(jìn)行二次冷凝；
第七步:二次冷凝后的氣相進(jìn)行三次冷凝；
第八步:三次冷凝后的氣相進(jìn)行四次冷凝；
將所述第二步、第五步、第七步和第八步產(chǎn)生的液相全部進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。
[0010]所述第六步與第七步之間還設(shè)置有二次換熱步驟，二次換熱步驟后的氣相進(jìn)行三次冷凝，液相進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。
[0011]在第一步中:用第一換熱器對混合氣進(jìn)行換熱降溫，第二步中:用第一洗滌塔進(jìn)行一次洗滌，第三步中:用第一冷凝器進(jìn)行一次冷凝，第四步中:用壓縮機(jī)進(jìn)行加壓，第五步中:用第二洗滌塔進(jìn)行二次洗滌，第六步中:用第二冷凝器進(jìn)行二次冷凝，第七步中:用第三冷凝器進(jìn)行三次冷凝，第八步中:用第四冷凝器進(jìn)行四次冷凝，用第二換熱器進(jìn)行二次換熱步驟。
[0012]所述第一換熱器換熱降溫后得到的液相和氣相均通入到第一洗滌塔中進(jìn)行一次洗滌，第一洗滌塔中的液相通過管道送入到解吸塔中，第一洗滌塔中的氣相通過導(dǎo)管送入到第一冷凝器中，第一冷凝器中液相通過管道送入到第一洗滌塔中，第一冷凝器中的氣相通過管道送入到壓縮機(jī)中，壓縮后通過管道送入到第二洗滌塔中，第二洗滌塔中的液相通過管道送入到解吸塔中，第二洗滌塔中的氣相送入到第二冷凝器中，第二冷凝器中的液相通過管道送入到第二洗滌塔中，第二冷凝器中的氣相送入到第二換熱器中，第二換熱器中的液相通過管道送入到解吸塔中，第二換熱器中的氣相通過管道送入到第三冷凝器中，第三冷凝器中的氣相通入到第四冷凝器中，第三冷凝器中的液相通過管道送入到解吸塔中，第四冷凝器的液相通過管道送入到解吸塔中，氣相為不凝氣，解吸塔解吸后，送入到再沸器中進(jìn)行處理后得到氯硅烷液。
[0013]用到的設(shè)備的連接關(guān)系如下:
第一換熱器與第一洗滌塔相連，第一洗滌塔與第一冷凝器相連，第一冷凝器與壓縮機(jī)相連，壓縮機(jī)與第二洗滌塔相連，第二洗滌塔與第一換熱器相連，第二洗滌塔與第二冷凝器相連，第二冷凝器與第二換熱器相連，第二換熱器與第三冷凝器相連，第三冷凝器與第四冷凝器相連，所述第一洗滌塔、第二洗滌塔、第二換熱器、第三冷凝器和第四冷凝器均與解吸塔相連，解吸塔連接有再沸器。
[0014]第一冷凝器為水冷裝置，該水冷裝置包括循環(huán)水冷器和低溫水水冷器，循環(huán)水冷器的出料口與低溫水冷器的進(jìn)料口相連，循環(huán)水冷器的進(jìn)料口與第一洗滌塔相連，低溫冷水器的出料口與壓縮機(jī)相連。
[0015]第二冷凝器為水冷裝置，該水冷裝置包括循環(huán)水冷器和低溫水水冷器，循環(huán)水冷器的出料口與低溫水冷器的進(jìn)料口相連，循環(huán)水冷器的進(jìn)料口與第二洗滌塔相連，低溫冷水器的出料口與第二換熱器相連。
[0016]本發(fā)明中的混合氣是指三氯氫硅合成爐反應(yīng)后生產(chǎn)的混合氣體，主要成分有四氯化硅、三氯氫硅、二氯硅烷、氫氣、氯化氫和氮?dú)獾取?br> [0017]本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
1、本發(fā)明的工藝步驟為:第一步:對混合氣進(jìn)行換熱降溫；第二步:換熱降溫后，進(jìn)行一次洗滌；第三步:對一次洗滌后的氣相進(jìn)行一次冷凝；第四步:對一次冷凝后的氣相加壓至0.8-1.5MPa ;第五步:加壓后的氣相進(jìn)行二次洗滌；第六步:二次洗滌后的氣相進(jìn)行二次冷凝；第七步:二次冷凝后的氣相進(jìn)行三次冷凝；第八步:三次冷凝后的氣相進(jìn)行四次冷凝；將所述第二步、第五步、第七步和第八步產(chǎn)生的液相全部進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。本發(fā)明的目的是提純氯硅烷，將氯硅烷中的不凝氣除去，使得氯硅烷含不凝氣的量在5ppm以下，到達(dá)制取多晶硅的要求。本發(fā)明相對于現(xiàn)有處理方法，相對對混合氣進(jìn)行換熱降溫，將混合氣的溫度從超過100°C降到60°C到80°C之間，避免液相溫度過冷，造成不凝氣溶解在氯硅烷中。同時本發(fā)明還增加了一次洗滌和二次洗滌，通過這兩次洗滌的作用，使得解吸塔塔頂不再增設(shè)換熱器和冷凝器就可得到純度高的氯硅烷，簡化了解吸塔，從而也減小了能耗。而且經(jīng)過兩次洗滌的作用氯硅烷中的不凝氣完全不會因?yàn)橐合噙^冷造成不凝氣溶解，充分保證不凝氣在氯硅烷中的含量少于5ppm。
[0018]本發(fā)明用到的設(shè)備包括四臺冷凝器、壓縮機(jī)、兩臺換熱器和解吸塔，其特征在于:還包括兩座洗滌塔，四臺冷凝器分別為第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器，兩臺換熱器分別為第一換熱器和第二換熱器，兩座洗滌塔分別為第一洗滌塔和第二洗滌塔，第一換熱器與第一洗滌塔相連，第一洗滌塔與第一冷凝器相連，第一冷凝器與壓縮機(jī)相連，壓縮機(jī)與第二洗滌塔相連，第二洗滌塔與第一換熱器相連，第二洗滌塔與第二冷凝器相連，第二冷凝器與第二換熱器相連，第二換熱器與第三冷凝器相連，第三冷凝器與第四冷凝器相連，所述第一洗滌塔、第二洗滌塔、第二換熱器、第三冷凝器和第四冷凝器均與解吸塔相連，解吸塔連接有再沸器。本發(fā)明在現(xiàn)有的氯硅烷不凝氣的解吸裝置增設(shè)了兩座洗滌塔和一個換熱器，通過換熱器的作用將兩座洗滌塔中的采出液和混合氣進(jìn)行熱交換，充分利用了混合氣中的余熱，使得混合氣再進(jìn)入到第一冷凝器時溫度從超過100°c降到了60-80°C之間，這樣處理的好處在于:充分利用了混合氣中的余熱，對兩座洗滌塔中的采出液進(jìn)行熱交換，節(jié)約了能源，減少了熱能的損失；經(jīng)過換熱之后混合氣的溫度在60-80°C之間，相對于超過100°C來說，液相溫度不會過冷，這樣也就不會造成不凝氣溶解在氯硅烷中，使得氯硅烷中的不凝氣解吸徹底，保證氯硅烷中的含不凝氣的量在5ppm以下。由于本發(fā)明設(shè)置的洗滌塔，使得解吸塔塔頂不再增設(shè)換熱器和冷凝器就可得到純度高的氯硅烷，簡化了解吸塔，從而也減小了能耗。
[0019]2、本發(fā)明第一冷凝器和第二冷凝器為水冷裝置，該水冷裝置包括循環(huán)水冷器和低溫水水冷器，循環(huán)水冷器和低溫水冷器連接在一起。這樣結(jié)構(gòu)的冷凝器冷凝效果好，且液相不會過冷，減少不凝氣在氯硅烷中的溶解量，保證氯硅烷中的含不凝氣的量在5ppm以下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖中標(biāo)記1.混合氣，2.氯硅烷液，3.不凝氣，4.解吸氣，5.第一冷凝器，6.壓縮機(jī)7.第二冷凝器，8.第二換熱器，9.第三冷凝器，10.第四冷凝器，11.解吸塔，12.再沸器,13.第一換熱器，14.第一洗漆塔,15.第二冼洚塔。
【具體實(shí)施方式】
[0022]實(shí)施例1
本發(fā)明提供的是一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:包括如下工藝步驟: 第一步:對混合氣進(jìn)行換熱降溫；
第二步:換熱降溫后，進(jìn)行一次洗滌；
第三步:對一次洗滌后的氣相進(jìn)行一次冷凝；
第四步:對一次冷凝后的氣相加壓至0.8MPa ；
第五步:加壓后的氣相進(jìn)行二次洗滌；
第六步:二次洗滌后的氣相進(jìn)行二次冷凝；
第七步:二次冷凝后的氣相進(jìn)行三次冷凝；
第八步:三次冷凝后的氣相進(jìn)行四次冷凝；
將所述第二步、第五步、第七步和第八步產(chǎn)生的液相全部進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。
[0023]所述第六步與第七步之間還設(shè)置有二次換熱步驟，二次換熱步驟后的氣相進(jìn)行三次冷凝，液相進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。
[0024]在第一步中:用第一換熱器13對混合氣進(jìn)行換熱降溫，第二步中:用第一洗滌塔14進(jìn)行一次洗滌，第三步中:用第一冷凝器5進(jìn)行一次冷凝，第四步中:用壓縮機(jī)6進(jìn)行加壓，第五步中:用第二洗滌塔15進(jìn)行二次洗滌，第六步中:用第二冷凝器7進(jìn)行二次冷凝，第七步中:用第三冷凝器9進(jìn)行三次冷凝，第八步中:用第四冷凝器10進(jìn)行四次冷凝，用第二換熱器8進(jìn)行二次換熱步驟。
[0025] 所述第一換熱器13換熱降溫后得到的液相和氣相均通入到第一洗滌塔14中進(jìn)行一次洗滌，第一洗滌塔14中的液相通過管道送入到解吸塔11中，第一洗滌塔14中的氣相通過導(dǎo)管送入到第一冷凝器5中，第一冷凝器5中液相通過管道送入到第一洗滌塔14中，第一冷凝器5中的氣相通過管道送入到壓縮機(jī)6中，壓縮后通過管道送入到第二洗滌塔15中，第二洗滌塔15中的液相通過管道送入到解吸塔11中，第二洗滌塔15中的氣相送入到第二冷凝器7中，第二冷凝器7中的液相通過管道送入到第二洗滌塔15中，第二冷凝器7中的氣相送入到第二換熱器8中，第二換熱器8中的液相通過管道送入到解吸塔11中，第二換熱器8中的氣相通過管道送入到第三冷凝器9中，第三冷凝器9中的氣相通入到第四冷凝器10中，第三冷凝器9中的液相通過管道送入到解吸塔11中，第四冷凝器10的液相通過管道送入到解吸塔11中，氣相為不凝氣，解吸塔11解吸后，送入到再沸器12中進(jìn)行處理后得到氯硅烷液2。
[0026]本發(fā)明用到的設(shè)備包括四臺冷凝器、壓縮機(jī)6、兩臺換熱器、解吸塔11和兩座洗滌塔，四臺冷凝器分別為第一冷凝器5、第二冷凝器7、第三冷凝9和第四冷凝器10，兩臺換熱器分別為第一換熱器13和第二換熱器8，兩座洗滌塔分別為第一洗滌塔14和第二洗滌塔15,第一換熱器13與第一洗洚塔14相連,第一洗漆塔14與第一冷凝器5相連,第一冷凝器5與壓縮機(jī)6相連,壓縮機(jī)6與第二洗洚塔15相連,第二洗漆塔15與第一換熱器8相連,第二洗滌塔15與第二冷凝器7相連，第二冷凝器7與第二換熱器8相連，第二換熱器8與第三冷凝器9相連，第三冷凝器9與第四冷凝器10相連，所述第一洗滌塔14、第二洗滌塔15、第二換熱器8、第三冷凝器9和第四冷凝器10均與解吸塔11相連，解吸塔11連接有再沸器12。
[0027]第一冷凝器5為水冷裝置，該水冷裝置包括循環(huán)水冷器和低溫水水冷器，循環(huán)水冷器的出料口與低溫水冷器的進(jìn)料口相連，循環(huán)水冷器的進(jìn)料口與第一洗滌塔相連，低溫冷水器的出料口與壓縮機(jī)相連。
[0028]第二冷凝器7為水冷裝置，該水冷裝置包括循環(huán)水冷器和低溫水水冷器，循環(huán)水冷器的出料口與低溫水冷器的進(jìn)料口相連，循環(huán)水冷器的進(jìn)料口與第二洗滌塔相連，低溫冷水器的出料口與第二換熱器8相連。
[0029]超過100°C的混合氣I和第一洗滌塔14、第二洗滌塔15采出液在第一換熱器13進(jìn)行熱交換。交換后，混合氣溫度在60-80°C之間，然后進(jìn)入第一洗滌塔14洗滌后在第一換熱器13處冷凝得到混合氯硅烷液，這部分混合氯硅烷全部返回第一洗滌塔14頂部，通過管道進(jìn)入到解吸塔11中。
[0030]而從第一換熱器13分離出的氣相利用壓縮機(jī)6加壓至0.SMPaG后進(jìn)入第二洗滌塔15洗滌后在第二冷凝器7冷凝得到混合氯硅烷液，這部分混合氯硅烷液全部返回第二洗滌塔15頂部，通過管道進(jìn)入到解吸塔11中。
[0031]從第二冷凝器7分離出的氣相在第二換熱器8進(jìn)行熱交換，冷凝得到的混合氯硅烷液全部通過管道進(jìn)入到解吸塔11中。而第二換熱器8中的氣相連續(xù)經(jīng)過第三冷凝器9和第四冷凝器10后溫度降至_65°C左右即得到氯硅烷含量小于0.05% (摩爾分?jǐn)?shù))的不凝氣；而第三冷凝器9和第四冷凝器10冷凝得到的混合氯硅烷液全部通過管道進(jìn)入到解吸塔11中。
[0032]所有進(jìn)入到解吸塔11中的混合氯硅烷液，通過解吸塔11的作用，氣相排出得到解吸氣4，而液相進(jìn)入到再沸器12中進(jìn)行處理，得到氯硅烷溶液2。
[0033]實(shí)施例2本實(shí)施例與實(shí)施例1基本相同，不同的是:第四步:對一次冷凝后的氣相加壓至1.2MPa。
[0034]實(shí)施例3
本實(shí)施例與實(shí)施例1基本相同，不同的是:第四步:對一次冷凝后的氣相加壓至1.5MPa0
[0035]實(shí)施例4
本實(shí)施例與實(shí)施例1基本相同，不同的是:第四步:對一次冷凝后的氣相加壓至1.0MPa0
[0036]本發(fā)明充分利用了原始?xì)庀辔锪系臒嶂担苊饬私惶胬錈岬哪芰繐p失，同時規(guī)避了原換熱器式控溫冷凝會導(dǎo)致的液相過冷溶解較多不凝氣的情況，保證了解吸后的氯硅烷混合液不凝氣含量在5ppm以內(nèi)。本發(fā)明區(qū)別于一般的工藝最特殊的地方在于尾氣余熱的利用和洗滌塔的設(shè)立。解吸塔根據(jù)溫度的不同，多點(diǎn)進(jìn)料，從而可以取消解吸塔塔頂換熱器，簡化了解吸塔，同時還減少了能源的消耗。
[0037] 本發(fā)明的前端設(shè)立的洗滌塔充分節(jié)約了原冷凝系統(tǒng)的前端冷量，通過這樣的洗滌方式達(dá)到了提高液相氯硅烷溫度的目的。不同溫度的冷凝且分別進(jìn)解吸塔也減小了解吸塔頂?shù)睦淞肯模瑫r去掉了塔頂?shù)睦淠O(shè)備。
【權(quán)利要求】
1.一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:包括如下工藝步驟: 第一步:對混合氣進(jìn)行換熱降溫； 第二步:換熱降溫后，進(jìn)行一次洗滌； 第三步:對一次洗滌后的氣相進(jìn)行一次冷凝； 第四步:對一次冷凝后的氣相加壓至0.8-1.5MPa ； 第五步:加壓后的氣相進(jìn)行二次洗滌； 第六步:二次洗滌后的氣相進(jìn)行二次冷凝； 第七步:二次冷凝后的氣相進(jìn)行三次冷凝； 第八步:三次冷凝后的氣相進(jìn)行四次冷凝； 將所述第二步、第五步、第七步和第八步產(chǎn)生的液相全部進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:所述第六步與第七步之間還設(shè)置有二次換熱步驟，二次換熱步驟后的氣相進(jìn)行三次冷凝，液相進(jìn)行解吸，解吸后再沸得到氯硅烷液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:在第一步中:用第一換熱器對混合氣進(jìn)行換熱降溫，第二步中:用第一洗滌塔進(jìn)行一次洗滌，第三步中:用第一冷凝器進(jìn)行一次冷凝，第四步中:用壓縮機(jī)進(jìn)行加壓，第五步中:用第二洗滌塔進(jìn)行二次洗滌，第六步中:用第二冷凝器進(jìn)行二次冷凝，第七步中:用第三冷凝器進(jìn)行三次冷凝，第八步中:用第四冷凝器進(jìn)行四次冷凝。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:所述第一換熱器換熱降溫后得到的液相和氣相均通入到第一洗滌塔中進(jìn)行一次洗滌，第一洗滌塔中的液相通過管道送入到解吸塔中，第一洗滌塔中的氣相通過導(dǎo)管送入到第一冷凝器中，第一冷凝器中液相通過管道送入到第一洗滌塔中，第一冷凝器中的氣相通過管道送入到壓縮機(jī)中，壓縮后通過管道送入到第二洗滌塔中，第二洗滌塔中的液相通過管道送入到解吸塔中，第二洗滌塔中的氣相送入到第二冷凝器中，第二冷凝器中的液相通過管道送入到第二洗滌塔中，第二冷凝器中的氣相送入到第二換熱器中，第二換熱器中的液相通過管道送入到解吸塔中，第二換熱器中的氣相通過管道送入到第三冷凝器中，第三冷凝器中的氣相通入到第四冷凝器中，第三冷凝器中的液相通過管道送入到解吸塔中，第四冷凝器的液相通過管道送入到解吸塔中，氣相為不凝氣，解吸塔解吸后，送入到再沸器中進(jìn)行處理后得到氯硅烷液。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:其特征在于:第一冷凝器為水冷裝置，該水冷裝置包括循環(huán)水冷器和低溫水水冷器，循環(huán)水冷器的出料口與低溫水冷器的進(jìn)料口相連，循環(huán)水冷器的進(jìn)料口與第一洗滌塔相連，低溫冷水器的出料口與壓縮機(jī)相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氯硅烷中不凝氣的解吸方法，其特征在于:其特征在于:第二冷凝器為水冷裝置，該水冷裝置包括循環(huán)水冷器和低溫水水冷器，循環(huán)水冷器的出料口與低溫水冷器的進(jìn)料口相連，循環(huán)水冷器的進(jìn)料口與第二洗滌塔相連，低溫冷水器的出料口與第二換熱器相連。
【文檔編號】C01B33/107GK104003403SQ201410271767
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年6月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月18日
【發(fā)明者】何鵬, 李斌, 甘居富 申請人:四川永祥多晶硅有限公司