本發(fā)明涉及一種爐外裝爐的方法，應用于單晶制備過程中的第一個重要步驟-裝爐(裝料)。

背景技術(shù)：

在單晶制備過程中的第一個重要步驟-裝爐(裝料)中，現(xiàn)有操作順序為：先將石墨坩堝放入爐內(nèi)，然后將石英坩堝放入石墨坩堝內(nèi)，再將多晶料裝入石英坩堝。

由于工作環(huán)境、熱場尺寸等條件限制，造成操作人員裝料困難，無法按照技術(shù)標準裝料，甚至由于操作人員下腰幅度偏大使多晶料與石英坩堝撞擊的幾率增大，有砸毀石英坩堝的可能。

在裝好料后本應正常運行，但由于設(shè)備、熱場等原因(撿漏高、加熱時電極故障等)需要撿料，操作人員會將已經(jīng)裝入的多晶料撿出，再將石英坩堝抬出，再將石墨坩堝取出，進行排查工作。不僅工作量大，也增加了石英坩堝沾污、熱場損壞等風險。

隨著熱場尺寸的升級，投料量的不斷增加，生產(chǎn)環(huán)境的制約等，先裝石英坩堝再逐步裝料的方法越來越不方便，增加了砸堝、裝料不規(guī)范等風險，在裝好爐設(shè)備存在問題需要撿料的情況下，風險更是增加數(shù)倍。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種爐外裝爐的方法，將石墨坩堝、石英坩堝、多晶料整體裝入爐內(nèi)，減少外界金屬污染等問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取以下技術(shù)方案：

一種爐外裝爐的方法，在爐外采用環(huán)形夾具固定石墨坩堝，將石英坩堝置于石墨坩堝內(nèi)，裝料；將石墨坩堝、石英坩堝及多晶料整體放入爐內(nèi)；裝剩余部分熱場或多晶料即可。

所述環(huán)形夾具包括機械吊臂及直線導軌及滑塊，其中機械吊臂安裝在直線導軌上，并卡箍在石墨坩堝的外壁，滑塊用于定位機械吊臂，根據(jù)石墨坩堝的大小，通過鎖緊螺母將滑塊固定在直線導軌的合適的位置上。

所述環(huán)形夾具上安裝有用于連接起重設(shè)備的吊環(huán)。

所述環(huán)形夾具的材質(zhì)為不銹鋼或四氟材料，所述機械吊臂在接觸石墨坩堝的部位覆蓋四氟材料。

本發(fā)明的優(yōu)點在于：

本發(fā)明通過力矩等原理實現(xiàn)石墨坩堝、石英坩堝、多晶料的整體取放，整體性好，安全、方便。

附圖說明

圖1為本發(fā)明中環(huán)形夾具與石墨坩堝的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中機械吊臂1的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步說明，但并不意味著對本發(fā)明保護范圍的限制。

在本發(fā)明中，使用環(huán)形夾具將石墨坩堝、石英坩堝及多晶料整體放入爐內(nèi)。如圖1所示，所使用的環(huán)形夾具包括機械吊臂1及直線導軌2及滑塊3，其中機械吊臂1安裝在直線導軌2上，并卡箍在石墨坩堝4的外壁，滑塊3用于定位機械吊臂1，根據(jù)石墨坩堝的大小，通過鎖緊螺母5將滑塊3固定在直線導軌2的合適的位置上。環(huán)形夾具上安裝有用于連接起重設(shè)備的吊環(huán)6。環(huán)形夾具的材質(zhì)為不銹鋼或四氟材料，如圖1所示，該機械吊臂1在接觸石墨坩堝的部位覆蓋四氟材料7，可避免熱場部件的金屬沾污。

在爐外裝爐過程中，首先在爐外采用環(huán)形夾具固定石墨坩堝，再將石英坩堝置于石墨坩堝內(nèi)，進行正常的裝料操作，注意：料不要高于石英坩堝；然后將石墨坩堝、石英坩堝及多晶料整體放入爐內(nèi)；最后裝剩余部分熱場或多晶料即可。

在本發(fā)明中，夾具根據(jù)石墨坩堝的瓣數(shù)進行制作，可以為兩瓣，也可以為三瓣，每一瓣均可沿著導軌自由滑動，并可由固定螺母進行鎖死固定。在夾緊石墨坩堝后由天車(或者其他起重設(shè)備)吊入爐內(nèi)。待坩堝放入爐內(nèi)，松開固定螺母，取下夾具，裝剩余部分熱場或多晶料即可。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種爐外裝爐的方法，在爐外采用環(huán)形夾具固定石墨坩堝，將石英坩堝置于石墨坩堝內(nèi)，裝料；將石墨坩堝、石英坩堝及多晶料整體放入爐內(nèi)；裝剩余部分熱場或多晶料即可。所述環(huán)形夾具包括機械吊臂及直線導軌及滑塊，其中機械吊臂安裝在直線導軌上，并卡箍在石墨坩堝的外壁，滑塊用于定位機械吊臂，根據(jù)石墨坩堝的大小，通過鎖緊螺母將滑塊固定在直線導軌的合適的位置上。本發(fā)明通過力矩等原理實現(xiàn)石墨坩堝、石英坩堝、多晶料的整體取放，整體性好，安全、方便。

技術(shù)研發(fā)人員：王雅楠;劉卓;崔彬;姜艦;韓秋雨
受保護的技術(shù)使用者：有研半導體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.25
技術(shù)公布日：2017.07.04