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      用于晶片的腐蝕裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11147615閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.用于晶片的腐蝕裝置,其特征在于:包括液池,所述液池沿內(nèi)底固設(shè)有階梯狀的高臺(tái),所述高臺(tái)包括放置于液池中部的一級(jí)高臺(tái)和高于一級(jí)高臺(tái)的二級(jí)高臺(tái),所述一級(jí)高臺(tái)上固接有壓簧,所述壓簧上端固接有托盤,所述托盤的周緣上設(shè)有擋板,所述托盤的一端可擱置在二級(jí)高臺(tái)上,所述托盤另一端固接有拉繩,所述拉繩連接有滑蓋,所述滑蓋滑動(dòng)連接在進(jìn)水口處,所述液池兩側(cè)的上方均放置有能往托盤內(nèi)噴入腐蝕液的噴液輥。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶片的腐蝕裝置,其特征在于:所述一級(jí)高臺(tái)與液池壁之間放置有過濾網(wǎng)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶片的腐蝕裝置,其特征在于:所述托盤朝向設(shè)置過濾網(wǎng)的一側(cè)的擋板上開設(shè)有通孔。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶片的腐蝕裝置,其特征在于:所述噴液輥內(nèi)部開設(shè)有空腔。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶片的腐蝕裝置,其特征在于:所述噴液輥的周緣上開設(shè)有連通空腔的出液孔,所述出液孔表面滑動(dòng)連接有封蓋。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶片的腐蝕裝置,其特征在于:所述封蓋內(nèi)開設(shè)有滑腔,所述出液孔的孔壁處位于噴液輥表面上設(shè)有凸起的卡柱,所述卡柱連接有拉簧,所述拉簧連接到滑腔的內(nèi)壁上,所述噴液輥朝向液池一側(cè)放置有能抵開封蓋的擋片。

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