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      熱解氮化硼材料的制備方法與流程

      文檔序號:11765110閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      技術總結
      本發(fā)明公開了一種熱解氮化硼材料的制備方法,包括以下步驟:在真空條件下,將基底模具置于攜帶有環(huán)硼氮烷蒸汽的載氣氣氛中,采用化學氣相沉積法,使不斷附著在基底模具的沉積面上的環(huán)硼氮烷熱解,形成熱解氮化硼。該熱解氮化硼材料的制備方法具有工藝簡單易控、成本低、能耗低、產(chǎn)率高、綠色環(huán)保等優(yōu)點。

      技術研發(fā)人員:高世濤;李斌;張長瑞;李端;楊雅萍;劉榮軍
      受保護的技術使用者:中國人民解放軍國防科學技術大學
      技術研發(fā)日:2017.06.08
      技術公布日:2017.10.20
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