本發(fā)明涉及多晶硅片、鑄造單晶硅片制造領(lǐng)域,具體涉及一種多邊形鑄錠及制造多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐。
背景技術(shù):
現(xiàn)有的用于制造晶硅鑄錠的坩堝及熱場為四方形,只能鑄造出形狀為四方體的硅錠,不能充分發(fā)揮圓柱形爐體的空間,影響了鑄錠爐的生產(chǎn)效率。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供一種多邊形鑄錠及制造多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐,能夠鑄造出側(cè)面大于四面的多面柱狀硅錠。
為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種多邊形鑄錠,所述多邊形鑄錠的側(cè)面數(shù)大于4。
一種用于制造上述的多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐,包括圓柱形爐體,圓柱形爐體內(nèi)設有隔熱籠,隔熱籠內(nèi)設有坩堝,坩堝的外側(cè)包覆有坩堝側(cè)護板和坩堝底護板,坩堝側(cè)護板外設置有用于對坩堝加熱形成熱場的側(cè)加熱器,坩堝底護板底部設置有冷凝塊;所述坩堝的側(cè)壁數(shù)為n;與坩堝的n個側(cè)壁相對應的,坩堝側(cè)護板的個數(shù)為n,坩堝底護板為邊數(shù)為n的多邊形,隔熱籠的側(cè)面數(shù)為n,側(cè)加熱器的側(cè)面數(shù)為n,冷凝塊為邊數(shù)為n的多邊形;所述n為正整數(shù),且大于4;所述坩堝的側(cè)壁與多邊形鑄錠的側(cè)面相對應,兩者數(shù)量相同。
本發(fā)明具有如下有益效果:本發(fā)明中的坩堝及熱場,可鑄造出側(cè)面大于四面的多面柱狀硅錠,相對四個側(cè)面柱狀的硅錠,更多側(cè)面面的柱狀硅錠,單爐裝料量更多、產(chǎn)量更高、生產(chǎn)率更高。提高現(xiàn)有圓柱形爐體的利用率和產(chǎn)量,降低生產(chǎn)成本。
附圖說明
圖1本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中標號:1、晶硅鑄錠;2、圓柱形爐體;3、隔熱籠;4、側(cè)加熱器;5、坩堝側(cè)護板;6、坩堝;7、坩堝的底護板;8、冷凝塊。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的描述。
如圖1所示,本發(fā)明提供的多晶硅鑄錠爐包括圓柱形爐體2,圓柱形爐體2內(nèi)設有隔熱籠3,隔熱籠3內(nèi)設有坩堝6,坩堝6的外側(cè)包覆有坩堝側(cè)護板5和坩堝底護板7,坩堝側(cè)護板5外設置有用于對坩堝6加熱形成熱場的側(cè)加熱器4,坩堝底護板7底部設置有冷凝塊8。坩堝6的矩形側(cè)壁數(shù)為n,n>4;坩堝的側(cè)護板5有n個面,分別對應坩堝6的n個側(cè)壁;坩堝的底護板7為邊數(shù)為n的多邊形。隔熱籠3的側(cè)面有n個面,分別對應坩堝6的n個側(cè)壁。側(cè)加熱器4的側(cè)面有n個面,分別對應坩堝6的n個側(cè)壁。冷凝塊8為邊數(shù)為n的多邊形。利用上述多晶硅鑄錠爐能夠制造出側(cè)面數(shù)為n的多邊形鑄錠,n>4,多邊形鑄錠的側(cè)面與坩堝的側(cè)壁相對應。
實施例1:
1.根據(jù)設計得到側(cè)面數(shù)為5的隔熱籠、坩堝側(cè)護板數(shù)量為5、邊數(shù)為5的冷凝塊、5側(cè)加熱器側(cè)面為5的熱場。
2.將硅料放入側(cè)邊為5的多邊形坩堝中,然后放于設計好的熱場中進行鑄錠;
3.最終通過工藝融化長晶過程將得到側(cè)邊為5的多邊型硅錠。
在不改變原有的鑄錠爐體的情況下,可鑄出的多邊形晶硅錠體積增大,從而達到單爐裝料量更多、產(chǎn)量更高、生產(chǎn)率更高。提高現(xiàn)有圓柱形爐體的利用率和產(chǎn)量,降低生產(chǎn)成本。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應當指出:對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。