本申請(qǐng)涉及單晶硅制造,特別是涉及一種坩堝支承組件及單晶爐。
背景技術(shù):
1、單晶硅棒是光伏領(lǐng)域的基礎(chǔ)材料,而cz法是制備單晶硅的主要方法之一。cz法制備直拉單晶硅是將多晶硅料放入石英坩堝中,加熱融化形成硅料熔體,然后經(jīng)過調(diào)溫、引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑、收尾等步驟,最終自熔體液面向上提拉生長(zhǎng)出單晶硅棒。
2、然而,一方面,石英坩堝在長(zhǎng)時(shí)間處于硅熔點(diǎn)以上的溫度時(shí)容易變軟變形,石英坩堝自身也存在一定幾率存在肉眼及測(cè)試儀器觀察不到的缺陷或應(yīng)力存在,當(dāng)殘次品石英坩堝投入使用,會(huì)存在漏硅的風(fēng)險(xiǎn)。硅溶液一旦泄露,會(huì)流至拖桿,對(duì)例如下軸波紋管等下軸相關(guān)元件造成侵蝕和破壞。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此,有必要提供一種坩堝支承組件及單晶爐,以避免漏硅造成的下軸相關(guān)元件的損壞問題。
2、根據(jù)本申請(qǐng)的一個(gè)方面,本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種坩堝支承組件,坩堝支承組件包括:拖桿主體;托盤,設(shè)置于拖桿主體的一端,托盤用于支承坩堝的堝邦;以及拖桿頭,可拆卸地連接于拖桿主體遠(yuǎn)離托盤的一端,拖桿頭用于與坩堝軸可拆卸地連接,且配置為能夠由坩堝軸驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn);其中,拖桿主體上設(shè)置有防漏環(huán),防漏環(huán)包括設(shè)置于拖桿主體上的防漏底壁、以及圍繞防漏底壁周緣設(shè)置的防漏邊沿;防漏底壁和防漏邊沿構(gòu)造形成用于容置硅液的容置腔。
3、在其中一個(gè)實(shí)施例中,防漏環(huán)與拖桿主體為一體結(jié)構(gòu)。
4、在其中一個(gè)實(shí)施例中,防漏邊沿與拖桿主體構(gòu)造為同軸設(shè)置。
5、在其中一個(gè)實(shí)施例中,防漏邊沿沿拖桿主體的軸線方向的高度h滿足條件:h≥20毫米。
6、在其中一個(gè)實(shí)施例中,托盤與拖桿主體構(gòu)造為同軸設(shè)置,且沿拖桿主體的軸線方向的投影構(gòu)造為圓形;防漏環(huán)沿拖桿主體的軸線方向的投影構(gòu)造為呈圓環(huán)狀;其中,以拖桿主體的軸線為基準(zhǔn),防漏環(huán)沿拖桿主體的軸線方向的投影的外徑,小于托盤沿拖桿主體的軸線方向的投影的直徑。
7、在其中一個(gè)實(shí)施例中,拖桿頭螺紋連接于拖桿主體遠(yuǎn)離托盤的一端。
8、在其中一個(gè)實(shí)施例中,拖桿主體遠(yuǎn)離托盤的一端設(shè)置有安裝孔,拖桿頭包括:桿部,桿部的外壁設(shè)有與安裝孔內(nèi)的內(nèi)螺紋適配的外螺紋;以及傳動(dòng)部,連接于桿部一端,傳動(dòng)部用于與坩堝軸可拆卸地連接,且配置為能夠由坩堝軸驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn);其中,沿拖桿主體的軸線方向,從傳動(dòng)部靠近拖桿主體一端至遠(yuǎn)離拖桿主體的另一端,傳動(dòng)部構(gòu)造為呈漸縮的棱錐狀。
9、在其中一個(gè)實(shí)施例中,桿部、傳動(dòng)部構(gòu)造為與拖桿主體同軸設(shè)置;傳動(dòng)部沿拖桿主體的軸線方向的投影構(gòu)造為n邊形;其中,n為自然數(shù),且3≤n≤8。
10、在其中一個(gè)實(shí)施例中,桿部的徑向尺寸,小于傳動(dòng)部靠近桿部的端面的徑向,以形成用于抵接于拖桿主體遠(yuǎn)離托盤的端面的臺(tái)階面;臺(tái)階面上設(shè)置有減震層。
11、根據(jù)本申請(qǐng)的另一個(gè)方面,本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種單晶爐,包括爐體和位于爐體內(nèi)的坩堝,單晶爐還包括:如上述的坩堝支承組件,托盤用于支承坩堝的堝邦;以及與動(dòng)力源連接的坩堝軸,拖桿頭與坩堝軸可拆卸地連接,坩堝軸能夠驅(qū)動(dòng)坩堝支承組件旋轉(zhuǎn)。
12、上述的坩堝支承組件,通過在拖桿主體上設(shè)置防漏環(huán),防漏環(huán)包括設(shè)置于拖桿主體上的防漏底壁以及圍繞防漏底壁周緣設(shè)置的防漏邊沿,防漏底壁和防漏邊沿構(gòu)造形成用于容置硅液的容置腔,當(dāng)出現(xiàn)坩堝漏硅的問題時(shí),防漏環(huán)中的容置腔能夠承接并容納泄漏出的硅溶液,避免硅溶液順著拖桿主體繼續(xù)向下流動(dòng)進(jìn)而損壞下軸相關(guān)元件。
1.一種坩堝支承組件,其特征在于,所述坩堝支承組件包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述防漏環(huán)與所述拖桿主體為一體結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述防漏邊沿與所述拖桿主體構(gòu)造為同軸設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述防漏邊沿沿所述拖桿主體的軸線方向的高度h滿足條件:
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述托盤與所述拖桿主體構(gòu)造為同軸設(shè)置,且沿所述拖桿主體的軸線方向的投影構(gòu)造為圓形;
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述拖桿頭螺紋連接于所述拖桿主體遠(yuǎn)離所述托盤的一端。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述拖桿主體遠(yuǎn)離所述托盤的一端設(shè)置有安裝孔,所述拖桿頭包括:
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述桿部、傳動(dòng)部構(gòu)造為與所述拖桿主體同軸設(shè)置;
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的坩堝支承組件,其特征在于,所述桿部的徑向尺寸,小于所述傳動(dòng)部靠近所述桿部的端面的徑向,以形成用于抵接于所述拖桿主體遠(yuǎn)離所述托盤的端面的臺(tái)階面;
10.一種單晶爐,包括爐體和位于所述爐體內(nèi)的坩堝,其特征在于,所述單晶爐還包括: