本申請涉及晶體生長,尤其是一種堝托、坩堝裝置和單晶爐。
背景技術(shù):
1、隨著光伏行業(yè)的快速發(fā)展,給人們的生活帶來了諸多便利;但是目前的產(chǎn)能遠遠不能滿足工業(yè)、生活的需求,因此,為了追求高產(chǎn)能,單晶爐的材料越做越大,在單晶的制備過程中,也存在著許多風險。
2、目前,單晶硅制造業(yè)正逐步朝著大尺寸、大裝料量以及多次加料方向發(fā)展,隨著裝料量的增加,單晶爐在晶體生長過程中的危險系數(shù)也不斷提高,特別是由于硅料泄露所導致的危險往往會造成嚴重損失。
3、因此,亟需一種能夠處理泄露的硅料的裝置。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本申請?zhí)峁┮环N堝托、坩堝裝置和單晶爐,能夠收集泄露的硅料,降低生產(chǎn)過程中的物料損失。
2、為了實現(xiàn)上述目的,本申請采用以下技術(shù)方案:
3、本申請?zhí)峁┮环N堝托,包括:
4、殼體,所述殼體具有回轉(zhuǎn)腔,所述殼體的頂壁具有多個凹槽,所述凹槽連通所述殼體的內(nèi)外兩側(cè);
5、多個所述凹槽形成多個槽組,多個所述槽組繞所述回轉(zhuǎn)腔的軸線依次間隔設置;每個所述槽組具有至少一個所述凹槽。
6、作為一種可能的實施方式,所述槽組具有多個所述凹槽,多個所述凹槽沿所述頂壁的延伸方向依次間隔設置。
7、作為一種可能的實施方式,相鄰的兩個所述槽組的所述凹槽在同一回轉(zhuǎn)面內(nèi)。
8、作為一種可能的實施方式,相鄰的兩個所述槽組的所述凹槽沿所述頂壁的延伸方向相互錯位。
9、作為一種可能的實施方式,相鄰的兩個所述槽組的所述凹槽具有重疊部分;和/或,
10、相鄰的兩個所述凹槽相對的端部平齊。
11、作為一種可能的實施方式,所述殼體包括殼蓋和本體,所述本體的一側(cè)開口,所述殼蓋通過所述開口蓋設于所述本體,形成所述回轉(zhuǎn)腔;
12、所述殼蓋形成所述頂壁。
13、作為一種可能的實施方式,所述殼蓋相對所述本體凹陷設置;所述凹槽為弧形槽。
14、作為一種可能的實施方式,所述本體具有連接孔,所述連接孔位于所述本體背離所述殼蓋的一端,所述連接孔為盲孔。
15、本申請?zhí)峁﹫逋?,殼體的頂壁用于支撐坩堝。殼體的頂壁具有多個槽組,每個槽組具有至少一個連通殼體內(nèi)外的凹槽。如此,在實際使用的過程中,從坩堝中泄露的物料沿著坩堝的外壁面,流動至殼體的頂壁,并從殼體的頂壁的凹槽進入殼體的回轉(zhuǎn)腔中,實現(xiàn)了對泄露的物料的收集,收集后的物料可繼續(xù)使用,減少了生產(chǎn)過程中的物料損失,降低生產(chǎn)成本。另外,還能減少泄露的物料影響生產(chǎn)設備的運行,提高生產(chǎn)設備的穩(wěn)定性和安全性,提高生產(chǎn)效率。
16、第二方面,本申請?zhí)峁┮环N坩堝裝置,包括坩堝和第一方面所述的堝托,所述坩堝設置于所述堝托的頂部。
17、本申請?zhí)峁┑嫩釄逖b置,由于包括了前述任一實施方式中的坩堝,能夠收集泄露的物料,以減少物料的損失,降低物料成本,提高生產(chǎn)設備的穩(wěn)定性和安全性。
18、第三方面,本申請?zhí)峁┮环N單晶爐,包括支撐桿和第二方面所述的坩堝裝置,所述坩堝裝置連接于所述支撐桿的端部。
19、本申請?zhí)峁┑膯尉t,由于包括了上述坩堝裝置,能夠減少物料的損失,降低物料成本。
1.一種堝托,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堝托,其特征在于,所述槽組具有多個所述凹槽,多個所述凹槽沿所述頂壁的延伸方向依次間隔設置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的堝托,其特征在于,相鄰的兩個所述槽組的所述凹槽在同一回轉(zhuǎn)面內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的堝托,其特征在于,相鄰的兩個所述槽組的所述凹槽沿所述頂壁的延伸方向相互錯位。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的堝托,其特征在于,相鄰的兩個所述槽組的所述凹槽具有重疊部分;和/或,
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的堝托,其特征在于,所述殼體包括殼蓋和本體,所述本體的一側(cè)開口,所述殼蓋通過所述開口蓋設于所述本體,形成所述回轉(zhuǎn)腔;
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的堝托,其特征在于,所述殼蓋相對所述本體凹陷設置;所述凹槽為弧形槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的堝托,其特征在于,所述本體具有連接孔,所述連接孔位于所述本體背離所述殼蓋的一端,所述連接孔為盲孔。
9.一種坩堝裝置,其特征在于,包括坩堝和權(quán)利要求1-8任一項所述的堝托,所述坩堝設置于所述堝托的頂部。
10.一種單晶爐,其特征在于,包括支撐桿和權(quán)利要求9所述的坩堝裝置,所述坩堝裝置連接于所述支撐桿的端部。