本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶體退火爐領(lǐng)域，具體涉及一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的退火爐鐘罩升降結(jié)構(gòu)位于框架內(nèi)部，在鐘罩升降過(guò)程中沒(méi)有裝置進(jìn)行導(dǎo)向。隨著升降行程的變化，框架的高度也要隨之變化，并且在升降過(guò)程中鐘罩可能出現(xiàn)左右晃動(dòng)的情況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，以解決上述至少一種技術(shù)問(wèn)題。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括升降功能實(shí)現(xiàn)組件、鐘罩連接結(jié)構(gòu)和升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，所述升降功能實(shí)現(xiàn)組件包括支撐固定組件和升降組件，所述支撐固定組件包括升降機(jī)安裝座、下固定座、立柱、軸承座角板、軸承座、光軸、上固定座、壓板，所述升降機(jī)安裝座和立柱通過(guò)螺釘固定在框架上面，所述下固定座和上固定座通過(guò)螺釘固定在立柱側(cè)面；所述上固定座與所述下固定座之間固定有光軸；所述壓板通過(guò)螺釘連接上固定座和光軸，所述軸承座角板通過(guò)螺釘安裝在立柱上，軸承座通過(guò)螺釘固定在軸承座角板上；

3、所述升降組件包括升降機(jī)、接近開(kāi)關(guān)安裝座、感應(yīng)開(kāi)關(guān)、感應(yīng)塊、連接角板、導(dǎo)軌滑塊、螺母座、單向推力球軸承，所述升降機(jī)通過(guò)絲桿推動(dòng)螺母座上下移動(dòng)，所述感應(yīng)開(kāi)關(guān)通過(guò)感應(yīng)塊實(shí)現(xiàn)升降行程的控制，所述導(dǎo)軌滑塊通過(guò)連接角板與螺母座進(jìn)行聯(lián)接；

4、所述升降機(jī)通過(guò)螺釘與升降機(jī)安裝座進(jìn)行連接，所述接近開(kāi)關(guān)安裝座根據(jù)升降行程分別安裝在行程起點(diǎn)和終點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的立柱上，所述導(dǎo)軌滑塊與立柱上導(dǎo)軌進(jìn)行滑動(dòng)連接，光軸穿過(guò)螺母座的一端圓孔，兩者同軸。

5、本發(fā)明通過(guò)把升降結(jié)構(gòu)從框架內(nèi)部移到外部，使用新的立柱結(jié)構(gòu)進(jìn)行固定和安裝，在實(shí)現(xiàn)滿(mǎn)足不同行程需求的同時(shí)保證了升降功能的實(shí)現(xiàn)和穩(wěn)定。螺釘連接壓板、上固定座和光軸使光軸不會(huì)上下移動(dòng)。軸承座通過(guò)螺釘固定在軸承座角板上用來(lái)固定升降機(jī)絲桿頂部。升降結(jié)構(gòu)位于框架外部，可以滿(mǎn)足不同升降行程的工藝需要，根據(jù)不同升降行程的需求選擇不同高度的立柱結(jié)構(gòu)進(jìn)行固定。

6、所述鐘罩連接結(jié)構(gòu)包括連接塊下、連接塊上和連接板，所述光軸分別穿過(guò)連接塊下的一端圓孔和連接塊上的一端圓孔，三者保持同軸的關(guān)系。

7、所述連接板通過(guò)螺釘與連接塊下和連接塊上連接固定，且所述連接板通過(guò)螺釘連接鐘罩。

8、所述升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括三個(gè)導(dǎo)向塊、導(dǎo)向軸、軸環(huán)、導(dǎo)向軸支座和圓形握柄拉手，三個(gè)導(dǎo)向塊通過(guò)螺釘與所述鐘罩連接，所述導(dǎo)向軸安裝在導(dǎo)向軸支座上，并通過(guò)軸環(huán)保持一定的距離。

9、本發(fā)明取消了底盤(pán)上加定位銷(xiāo)進(jìn)行導(dǎo)向的結(jié)構(gòu)，新增一個(gè)圓柱直線(xiàn)導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)，優(yōu)點(diǎn)是鐘罩在升降過(guò)程中沿導(dǎo)向軸方向移動(dòng)，不會(huì)碰觸到腔體內(nèi)部零件，鐘罩沿導(dǎo)向軸降下也能保證與底盤(pán)的良好密封性。

10、所述圓形握柄拉手通過(guò)螺釘與兩個(gè)導(dǎo)向塊側(cè)面連接固定。增加實(shí)用性。

11、所述框架上設(shè)有底盤(pán)，所述鐘罩位于所述底盤(pán)的正上方。保證與底盤(pán)的良好配合。

12、所述升降功能實(shí)現(xiàn)組件設(shè)置在鐘罩的一側(cè)，所述升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)置在鐘罩的另一側(cè)。通過(guò)將兩個(gè)部件分別設(shè)置可以確保鐘罩的升降的穩(wěn)定性。

13、所述螺母座與所述連接塊下之間設(shè)有單向推力球軸承。減小了鐘罩轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的阻力。

14、有益效果：

15、1、將升降結(jié)構(gòu)安裝在框架外部，根據(jù)不同升降行程的需求選擇不同高度的立柱結(jié)構(gòu)進(jìn)行固定，解決了框架高度不變實(shí)現(xiàn)鐘罩不同升降行程的運(yùn)動(dòng)；

16、2、選用適當(dāng)?shù)纳祵?dǎo)向機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)鐘罩沿直線(xiàn)上下升降；

17、3、合理設(shè)計(jì)升降結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)鐘罩平穩(wěn)升降，使鐘罩落下后能與底盤(pán)密封。

技術(shù)特征：

1.一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括升降功能實(shí)現(xiàn)組件、鐘罩連接結(jié)構(gòu)和升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，所述升降功能實(shí)現(xiàn)組件包括支撐固定組件和升降組件，所述支撐固定組件包括升降機(jī)安裝座、下固定座、立柱、軸承座角板、軸承座、光軸、上固定座、壓板，所述升降機(jī)安裝座和立柱通過(guò)螺釘固定在框架上面，所述下固定座和上固定座通過(guò)螺釘固定在立柱側(cè)面；所述上固定座與所述下固定座之間固定有光軸；所述壓板通過(guò)螺釘連接上固定座和光軸，所述軸承座角板通過(guò)螺釘安裝在立柱上，軸承座通過(guò)螺釘固定在軸承座角板上；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述鐘罩連接結(jié)構(gòu)包括連接塊下、連接塊上和連接板，所述光軸分別穿過(guò)連接塊下的一端圓孔和連接塊上的一端圓孔，三者保持同軸的關(guān)系。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接板通過(guò)螺釘與連接塊下和連接塊上連接固定，且所述連接板通過(guò)螺釘連接鐘罩。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括三個(gè)導(dǎo)向塊、導(dǎo)向軸、軸環(huán)、導(dǎo)向軸支座和圓形握柄拉手，三個(gè)導(dǎo)向塊通過(guò)螺釘與所述鐘罩連接，所述導(dǎo)向軸安裝在導(dǎo)向軸支座上，并通過(guò)軸環(huán)保持一定的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圓形握柄拉手通過(guò)螺釘與兩個(gè)導(dǎo)向塊側(cè)面連接固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述框架上設(shè)有底盤(pán)，所述鐘罩位于所述底盤(pán)的正上方。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述升降功能實(shí)現(xiàn)組件設(shè)置在鐘罩的一側(cè)，所述升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)置在鐘罩的另一側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種退火爐用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，包括升降功能實(shí)現(xiàn)組件、鐘罩連接結(jié)構(gòu)和升降導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。升降功能實(shí)現(xiàn)組件包括支撐固定組件和升降組件，支撐固定組件包括升降機(jī)安裝座、下固定座、立柱、軸承座角板、軸承座、光軸、上固定座、壓板。升降機(jī)安裝座和立柱通過(guò)螺釘固定在框架上面，下固定座和上固定座通過(guò)螺釘固定在立柱側(cè)面；上固定座與下固定座之間固定有光軸；壓板通過(guò)螺釘連接上固定座和光軸，軸承座角板通過(guò)螺釘安裝在立柱上，軸承座通過(guò)螺釘固定在軸承座角板上；升降組件包括升降機(jī)、接近開(kāi)關(guān)安裝座、感應(yīng)開(kāi)關(guān)、感應(yīng)塊、連接角板、導(dǎo)軌滑塊、螺母座、單向推力球軸承，升降機(jī)通過(guò)絲桿推動(dòng)螺母座上下移動(dòng)。

技術(shù)研發(fā)人員：李聰,夏孝平,徐淑文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海漢虹精密機(jī)械有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10