本發(fā)明涉及碳化硅加工，尤其涉及一種碳化硅籽晶粘接工藝及粘接用輔助裝置。

背景技術：

1、籽晶需要通過膠水粘接于承載底座表面，為了滿足后續(xù)生產(chǎn)的需求，在膠粘的過程中需要保證膠水分布的相對均勻，同時應當排出膠水內(nèi)的氣體，避免粘接處出現(xiàn)氣孔缺陷。

2、為了保證膠水分布的相對均勻，部分設計通過刮板結構對膠水表面進行刮平，以保證膠水分布的相對均勻；但是，通過刮板直接對膠水進行接觸，一方面會影響膠水的數(shù)量，導致承載底座表面的膠水填涂量無法達到預期；并且，通過直接接觸的方式對膠水進行刮平，刮板表面會殘留部分膠水，影響最終膠水表面成型的平整度的同時，后續(xù)還需要對刮板進行清理，影響了籽晶粘接的效率。

技術實現(xiàn)思路

1、針對上述問題，本發(fā)明提供一種碳化硅籽晶粘接工藝及粘接用輔助裝置，該發(fā)明解決了碳化硅籽晶粘接膠水均勻平整的技術問題，通過無接觸的方式對膠水流平進行處理，提高了籽晶粘接的效率。

2、為解決上述問題，本發(fā)明所采用的技術方案是：

3、一種碳化硅籽晶粘接工藝，使用粘接輔助設備，所述粘接輔助設備包括輔助筒，所述輔助筒內(nèi)轉動連接有氣吹裝置，輔助筒表面還設置有抽真空管道，包括如下步驟：s1、材料準備：準備需要粘接的承載底座、用于定位的定位工裝以及粘接膠水；s2、膠粘定位：通過定位工裝將承載底座進行定位固定，并且將輔助筒與承載底座上端的粘接區(qū)域定位；s3、膠水噴涂：將粘接膠水噴涂于承載底座上端的粘接區(qū)域內(nèi)；s4、膠水流平：控制輔助筒與承載底座上端相抵緊，控制氣吹裝置朝著粘接膠水表面吹出氣體的同時控制氣吹裝置定向轉動；s5、真空排氣：待膠水流平后，通過抽真空管道對輔助筒內(nèi)抽真空，加速膠水內(nèi)氣泡的排出；s6、籽晶粘接：待膠水內(nèi)氣泡排出后，控制輔助筒與承載底座相脫離，隨后將預先準備的籽晶粘接于承載底座的粘接區(qū)域表面；隨后在真空條件下對承載底座以及籽晶進行熱壓固化，完成籽晶的粘接固定。

4、優(yōu)選地，步驟s1中粘接膠水選擇為流淌型有機硅粘接膠，粘接膠水在25℃時粘度不高于5200mpa.s。

5、優(yōu)選地，步驟s3中所述的粘接膠水噴涂于粘接區(qū)域中心位置。

6、優(yōu)選地，其中氣吹裝置底部還安裝有檢測單元，將粘接區(qū)域分割為多個檢測區(qū)域，通過檢測單元檢測各個檢測區(qū)域內(nèi)膠水流平的高度并且計算各個檢測區(qū)域內(nèi)膠水流平高度的差值，判斷該差值與設定閾值之間的關系；當差值大于設定閾值后朝著氣吹裝置傳輸?shù)谝恍盘柨刂茪獯笛b置繼續(xù)吹氣并且轉動，當差值小于設定閾值后朝著氣吹裝置傳輸?shù)诙盘柨刂茪獯笛b置停止吹氣。

7、優(yōu)選地，所述檢測單元包括至少兩組圖像檢測元件，所述氣吹裝置圍繞預定軸線定向轉動，兩組所述圖像檢測元件安裝于預定軸線外側的位置，并且兩個圖像檢測元件間隔布置。

8、優(yōu)選地，所述粘接輔助設備還包括控制氣吹裝置升降的伸縮裝置，所述伸縮裝置與檢測單元電性連接，當檢測單元朝著氣吹裝置傳輸?shù)谝恍盘枙r控制伸縮裝置伸出，縮小氣吹裝置與粘接區(qū)域之間距離。

9、一種碳化硅籽晶粘接用輔助裝置，用于上述的碳化硅籽晶粘接工藝，包括輔助筒，所述輔助筒內(nèi)部轉動連接有氣吹裝置，所述氣吹裝置包括沿著輔助筒半徑方向延伸的氣吹安裝座，所述氣吹安裝座側壁開有朝著下方傾斜布置的條形氣吹孔，所述條形氣吹孔連通有泵氣設備；所述輔助筒上端還連通有抽真空管道，通過所述抽真空管道控制輔助筒內(nèi)處于負壓狀態(tài)。

10、優(yōu)選地，所述氣吹安裝座下端還安裝有檢測單元，所述檢測單元包括至少兩組圖像檢測元件，所述氣吹裝置圍繞預定軸線定向轉動，兩組所述圖像檢測元件安裝于預定軸線外側的位置，并且兩個圖像檢測元件間隔布置。

11、優(yōu)選地，還包括控制氣吹裝置升降的伸縮裝置，所述伸縮裝置與檢測單元電性連接，所述伸縮裝置內(nèi)部設置有與條形氣吹孔連通的輸氣管道。

12、優(yōu)選地，還包括位控機械手，所述位控機械手與輔助筒上端表面之間通過連接工裝連接。

13、本發(fā)明的有益效果為：

14、與現(xiàn)有技術相比較，通過上述工藝對碳化硅籽晶粘接膠水進行處理，能夠在無接觸的情況下控制粘接膠水的分布處于相對均勻的狀態(tài)，避免碳化硅籽晶粘接過程中在壓力的作用下膠水出現(xiàn)無規(guī)則流動導致分布不均影響后續(xù)加工步驟；同時，通過氣吹的方式能夠避免與粘接膠水直接接觸，不會對粘接膠水的總量產(chǎn)生影響，同時后續(xù)也無需對相關結構進行清理，簡單便捷，提高了粘接膠水處理的效率。

技術特征：

1.一種碳化硅籽晶粘接工藝，其特征在于，使用粘接輔助設備，所述粘接輔助設備包括輔助筒(300)，所述輔助筒(300)內(nèi)轉動連接有氣吹裝置(900)，輔助筒(300)表面還設置有抽真空管道(500)，包括如下步驟：

2.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅籽晶粘接工藝，其特征在于，步驟s1中粘接膠水選擇為流淌型有機硅粘接膠，粘接膠水在25℃時粘度不高于5200mpa.s。

3.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅籽晶粘接工藝，其特征在于，步驟s3中所述的粘接膠水噴涂于粘接區(qū)域(210)中心位置。

4.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅籽晶粘接工藝，其特征在于，其中氣吹裝置(900)底部還安裝有檢測單元(930)，將粘接區(qū)域(210)分割為多個檢測區(qū)域，通過檢測單元(930)檢測各個檢測區(qū)域內(nèi)膠水流平的高度并且計算各個檢測區(qū)域內(nèi)膠水流平高度的差值，判斷該差值與設定閾值之間的關系；當差值大于設定閾值后朝著氣吹裝置(900)傳輸?shù)谝恍盘柨刂茪獯笛b置(900)繼續(xù)吹氣并且轉動，當差值小于設定閾值后朝著氣吹裝置(900)傳輸?shù)诙盘柨刂茪獯笛b置(900)停止吹氣。

5.根據(jù)權利要求4所述的碳化硅籽晶粘接工藝，其特征在于，所述檢測單元(930)包括至少兩組圖像檢測元件，所述氣吹裝置(900)圍繞預定軸線定向轉動，兩組所述圖像檢測元件安裝于預定軸線外側的位置，并且兩個圖像檢測元件間隔布置。

6.根據(jù)權利要求4所述的碳化硅籽晶粘接工藝，其特征在于，所述粘接輔助設備還包括控制氣吹裝置(900)升降的伸縮裝置(800)，所述伸縮裝置(800)與檢測單元(930)電性連接，當檢測單元(930)朝著氣吹裝置(900)傳輸?shù)谝恍盘枙r控制伸縮裝置(800)伸出，縮小氣吹裝置(900)與粘接區(qū)域(210)之間距離。

7.一種碳化硅籽晶粘接用輔助裝置，其特征在于：用于權利要求1-6任意一項所述的碳化硅籽晶粘接工藝，包括輔助筒(300)，所述輔助筒(300)內(nèi)部轉動連接有氣吹裝置(900)，所述氣吹裝置(900)包括沿著輔助筒(300)半徑方向延伸的氣吹安裝座(910)，所述氣吹安裝座(910)側壁開有朝著下方傾斜布置的條形氣吹孔(920)，所述條形氣吹孔(920)連通有泵氣設備；所述輔助筒(300)上端還連通有抽真空管道(500)，通過所述抽真空管道(500)控制輔助筒(300)內(nèi)處于負壓狀態(tài)。

8.根據(jù)權利要求7所述的碳化硅籽晶粘接用輔助裝置，其特征在于，所述氣吹安裝座(910)下端還安裝有檢測單元(930)，所述檢測單元(930)包括至少兩組圖像檢測元件，所述氣吹裝置(900)圍繞預定軸線定向轉動，兩組所述圖像檢測元件安裝于預定軸線外側的位置，并且兩個圖像檢測元件間隔布置。

9.根據(jù)權利要求8所述的碳化硅籽晶粘接用輔助裝置，其特征在于，還包括控制氣吹裝置(900)升降的伸縮裝置(800)，所述伸縮裝置(800)與檢測單元(930)電性連接，所述伸縮裝置(800)內(nèi)部設置有與條形氣吹孔(920)連通的輸氣管道(600)。

10.根據(jù)權利要求7所述的碳化硅籽晶粘接用輔助裝置，其特征在于，還包括位控機械手，所述位控機械手與輔助筒(300)上端表面之間通過連接工裝(400)連接。

技術總結
本發(fā)明提供一種碳化硅籽晶粘接工藝及粘接用輔助裝置，包括如下步驟：S1、材料準備：準備需要粘接的承載底座、用于定位的定位工裝以及粘接膠水；S2、膠粘定位：通過定位工裝將承載底座進行定位固定，并且將輔助筒與承載底座上端的粘接區(qū)域定位；S3、膠水噴涂：將粘接膠水噴涂于承載底座上端的粘接區(qū)域內(nèi)；S4、膠水流平：控制輔助筒與承載底座上端相抵緊，控制氣吹裝置朝著粘接膠水表面吹出氣體的同時控制氣吹裝置定向轉動；S5、真空排氣：待膠水流平后，通過抽真空管道對輔助筒內(nèi)抽真空，加速膠水內(nèi)氣泡的排出；S6、籽晶粘接。該發(fā)明解決了碳化硅籽晶粘接膠水均勻平整的技術問題，通過無接觸的方式對膠水流平進行處理，提高了籽晶粘接的效率。

技術研發(fā)人員：夏振偉,孔海寬,陳建軍,忻雋
受保護的技術使用者：安徽微芯長江半導體材料有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/10