本發(fā)明涉及光纖預(yù)制棒制備工藝，特別涉及一種外部氣相沉積設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、光纖預(yù)制棒經(jīng)常采用外部氣相沉積的方法進(jìn)行芯棒的沉積，在這一過程中，外部氣相沉積設(shè)備必不可少。由于外部氣相沉積設(shè)備的沉積腔的頂部常常有粉末體沉積，而粉末體又常常具有腐蝕性并攜帶熱量，導(dǎo)致沉積腔的頂部常有雜質(zhì)堆積。

2、目前，沉積腔頂部的粉塵沉積問題通常在進(jìn)行定期檢查的時候進(jìn)行簡單清理，等到粉塵對腔頂?shù)母g達(dá)到一定程度后，外部氣相沉積設(shè)備即被廢棄處理。這導(dǎo)致外部氣相沉積設(shè)備普遍壽命較短。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種使用壽命較長的外部氣相沉積設(shè)備。

2、為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

3、一種外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括沉積腔，所述沉積腔包括：

4、腔體，構(gòu)造成單面開口的盒狀，所述腔體上與開口處相對的面上形成有連通口；

5、沉積噴頭，設(shè)置于所述腔體上與開口處相對的面，且與所述連通口連通，用于朝向所述腔體內(nèi)部噴射沉積原料；

6、排風(fēng)口，設(shè)置于所述腔體的開口處并與所述沉積噴頭相對設(shè)置，其一端深入所述腔體的開口處，另一端連接于排風(fēng)系統(tǒng)的集風(fēng)口；

7、保護(hù)蓋體，與所述腔體的開口處和所述排風(fēng)口可拆卸連接，使所述腔體的開口處和所述排風(fēng)口間閉合連接；

8、夾持機構(gòu)，用于夾持沉積體，使沉積體定位于所述沉積噴頭和所述排風(fēng)口之間。

9、可選地，所述沉積腔設(shè)置若干組分別相對設(shè)置的所述沉積噴頭和所述排風(fēng)口。

10、可選地，所述腔體的開口處構(gòu)造成矩形，具有兩個相對設(shè)置的第一側(cè)面和兩個相對設(shè)置的第二側(cè)面，所述排風(fēng)口構(gòu)造成矩形桶狀，具有兩個相對設(shè)置的第三側(cè)面和兩個相對設(shè)置的第四側(cè)面，兩個所述排風(fēng)口的所述第三側(cè)面的外壁分別連接于所述腔體的兩個所述第一側(cè)面的內(nèi)壁，所述保護(hù)蓋體包括多個保護(hù)合頁，任一所述排風(fēng)口的兩個所述第四側(cè)面的外壁分別可拆卸連接于兩個相對設(shè)置的所述保護(hù)合頁，任一所述保護(hù)合頁均可拆卸連接于所述排風(fēng)口的所述第四側(cè)面，并同時可拆卸連接于另一所述保護(hù)合頁或所述腔體的所述第二側(cè)面的內(nèi)壁。

11、可選地，所述保護(hù)合頁包括相互連接的第一折頁和第二折頁，所述第一折頁和所述第二折頁間的夾角為鈍角，所述第一折頁遠(yuǎn)離所述第二折頁的一端形成有一組第一安裝孔，所述腔體的所述第二側(cè)面的內(nèi)壁上直接或間接設(shè)置有配合于所述第一安裝孔的一組第一螺孔，一組所述第一安裝孔通過一組第一螺栓與一組所述第一螺孔或另一組所述第一安裝孔可拆卸連接，所述第二折頁遠(yuǎn)離所述第一折頁的一端形成有一組第二安裝孔，所述排風(fēng)口的所述第四側(cè)面的外壁上直接或間接設(shè)置有配合于所述第一安裝孔的一組第二螺孔，一組所述第二安裝孔通過一組第二螺栓與一組所述第二螺孔或另一組所述第二安裝孔可拆卸連接。

12、可選地，全部所述保護(hù)合頁的結(jié)構(gòu)均相同。

13、可選地，所述保護(hù)合頁的所述第一折頁和所述第二折頁均構(gòu)造成平板狀；

14、所述腔體的兩個所述第二側(cè)面的內(nèi)壁上均設(shè)置有第一連接部，兩個所述第一連接部相對設(shè)置，且其延伸方向朝向所述腔體的內(nèi)部上方，一組所述第一螺孔設(shè)置于所述第一連接部靠近所述腔體的位置；

15、所述排風(fēng)口的兩個所述第四側(cè)面的外壁上均設(shè)置有第二連接部，兩個所述第二連接部相對設(shè)置，且其延伸方向朝向所述排風(fēng)口的外部下方，一組所述第二螺孔設(shè)置于所述第二連接部靠近所述排風(fēng)口的位置；

16、所述保護(hù)蓋體還包括中轉(zhuǎn)件，所述中轉(zhuǎn)件具有兩個相互連接的中轉(zhuǎn)頁，兩個所述中轉(zhuǎn)頁上分別設(shè)置一組所述第一螺孔，且兩個所述中轉(zhuǎn)頁間具有夾角，任一所述中轉(zhuǎn)頁同時可拆卸連接于兩個所述保護(hù)合頁的所述第一折頁。

17、可選地，所述保護(hù)合頁的邊緣位置設(shè)置有密封條。

18、可選地，所述第一折頁包括連接于所述第二折頁的第一阻擋區(qū)和遠(yuǎn)離所述第二折頁的第一固定區(qū)，一組所述第一安裝孔形成于所述第一固定區(qū)，且所述第一固定區(qū)與所述第一阻擋區(qū)間具有夾角，所述第一螺孔形成于所述腔體的所述第二側(cè)面的內(nèi)壁上，相鄰所述保護(hù)合頁通過具有兩組第二螺孔的中轉(zhuǎn)間可拆卸連接；

19、和/或

20、所述第二折頁包括連接于所述第一折頁的第二阻擋區(qū)和遠(yuǎn)離所述第一折頁的第二固定區(qū)，一組所述第二安裝孔形成于所述第二固定區(qū)，且所述第二固定區(qū)與所述第二阻擋區(qū)間具有夾角，所述第二螺孔形成于所述排風(fēng)口的所述第四側(cè)面的外壁上。

21、可選地，所述保護(hù)蓋體內(nèi)嵌有介質(zhì)通道，所述介質(zhì)通道用于換熱介質(zhì)的流通，且所述介質(zhì)通道的介質(zhì)入口和介質(zhì)出口均設(shè)置于所述保護(hù)蓋體遠(yuǎn)離所述沉積噴頭的側(cè)面。

22、可選地，所述保護(hù)蓋體內(nèi)嵌有多條相互分離的所述介質(zhì)通道，所述換熱介質(zhì)為壓縮空氣，所述介質(zhì)通道的所述介質(zhì)入口連通所述壓縮空氣的氣源或另一介質(zhì)通道的所述介質(zhì)出口。

23、本發(fā)明的有益效果在于：可將保護(hù)蓋體從固定設(shè)置的腔體和排風(fēng)口上拆卸進(jìn)行深度清理，便于較為徹底地清潔保護(hù)蓋體，從而抑制沉積粉塵對保護(hù)蓋體的腐蝕，進(jìn)而延長外部氣相沉積設(shè)備的使用壽命。

24、上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

技術(shù)特征：

1.一種外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括沉積腔，所述沉積腔包括：

2.如權(quán)利要求1所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述沉積腔設(shè)置若干組分別相對設(shè)置的所述沉積噴頭(2)和所述排風(fēng)口(3)。

3.如權(quán)利要求2所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述腔體(1)的開口處構(gòu)造成矩形，具有兩個相對設(shè)置的第一側(cè)面和兩個相對設(shè)置的第二側(cè)面(11)，所述排風(fēng)口(3)構(gòu)造成矩形桶狀，具有兩個相對設(shè)置的第三側(cè)面和兩個相對設(shè)置的第四側(cè)面(31)，其中，所述第一側(cè)面與所述第三側(cè)面平行，兩個所述排風(fēng)口(3)的所述第三側(cè)面的外壁分別連接于所述腔體(1)的兩個所述第一側(cè)面的內(nèi)壁，所述保護(hù)蓋體(4)包括多個保護(hù)合頁(41)，任一所述排風(fēng)口(3)的兩個所述第四側(cè)面(31)的外壁分別可拆卸連接于兩個相對設(shè)置的所述保護(hù)合頁(41)，任一所述保護(hù)合頁(41)均可拆卸連接于所述排風(fēng)口(3)的所述第四側(cè)面(31)，并同時可拆卸連接于另一所述保護(hù)合頁(41)或所述腔體(1)的所述第二側(cè)面(11)的內(nèi)壁。

4.如權(quán)利要求3所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述保護(hù)合頁(41)包括相互連接的第一折頁(42)和第二折頁(43)，所述第一折頁(42)和所述第二折頁(43)間的夾角為鈍角，所述第一折頁(42)遠(yuǎn)離所述第二折頁(43)的一端形成有一組第一安裝孔(421)，所述腔體(1)的所述第二側(cè)面(11)的內(nèi)壁上直接或間接設(shè)置有配合于所述第一安裝孔(421)的一組第一螺孔(121)，一組所述第一安裝孔(421)通過一組第一螺栓(102)與一組所述第一螺孔(121)或另一組所述第一安裝孔(421)可拆卸連接，所述第二折頁(43)遠(yuǎn)離所述第一折頁(42)的一端形成有一組第二安裝孔(431)，所述排風(fēng)口(3)的所述第四側(cè)面(31)的外壁上直接或間接設(shè)置有配合于所述第一安裝孔(421)的一組第二螺孔(321)，一組所述第二安裝孔(431)通過一組第二螺栓(103)與一組所述第二螺孔(321)或另一組所述第二安裝孔(431)可拆卸連接。

5.如權(quán)利要求4所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，全部所述保護(hù)合頁(41)的結(jié)構(gòu)均相同。

6.如權(quán)利要求5所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述保護(hù)合頁(41)的所述第一折頁(42)和所述第二折頁(43)均構(gòu)造成平板狀；

7.如權(quán)利要求6所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述保護(hù)合頁(41)的邊緣位置設(shè)置有密封條(45)。

8.如權(quán)利要求5所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，

9.如權(quán)利要求1至7任一所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述保護(hù)蓋體(4)內(nèi)嵌有介質(zhì)通道(44)，所述介質(zhì)通道(44)用于換熱介質(zhì)的流通，且所述介質(zhì)通道(44)的介質(zhì)入口(441)和介質(zhì)出口(442)均設(shè)置于所述保護(hù)蓋體(4)遠(yuǎn)離所述沉積噴頭(2)的側(cè)面。

10.如權(quán)利要求9所述的外部氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述保護(hù)蓋體(4)內(nèi)嵌有多條相互分離的所述介質(zhì)通道(44)，所述換熱介質(zhì)為壓縮空氣，所述介質(zhì)通道(44)的所述介質(zhì)入口(441)連通所述壓縮空氣的氣源或另一介質(zhì)通道(44)的所述介質(zhì)出口(442)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光纖預(yù)制棒制備工藝，特別涉及一種外部氣相沉積設(shè)備，包括沉積腔。沉積腔包括腔體、沉積噴頭、排風(fēng)口、保護(hù)蓋體和夾持機構(gòu)。腔體單面開口，且在與開口處相對的側(cè)面設(shè)置連通口。腔體內(nèi)設(shè)置連通口連通且與開口處相對的沉積噴頭，用于噴射沉積原料。排風(fēng)口設(shè)置于腔體的開口處并與沉積噴頭相對設(shè)置，用于沉積腔內(nèi)的氣體排出。保護(hù)蓋體與腔體的開口處和排風(fēng)口可拆卸連接，使腔體的開口處和排風(fēng)口間閉合。夾持機構(gòu)用于夾持沉積體，使沉積體定位于沉積噴頭和排風(fēng)口之間。通過使保護(hù)蓋體便于拆卸和安裝，使保護(hù)蓋體便于清潔，且能夠達(dá)到較高的潔凈度，從而抑制了沉積原料對保護(hù)蓋體的腐蝕，延長外部氣相沉積設(shè)備的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：吉豐君,宋吉泰,王永盛,蒲冬林,呂華珍,衛(wèi)曉明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：青海中利光纖技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/5