本發(fā)明涉及單晶爐，具體涉及一種單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置。

背景技術(shù)：

1、直拉式單晶硅生長(zhǎng)爐是一種高效率制備硅單晶硅的設(shè)備，目前順應(yīng)大尺寸化發(fā)展趨勢(shì)，大尺寸單晶爐已發(fā)展成主流，取棒和加料過程中難度和危險(xiǎn)系數(shù)也隨之遞增，傳統(tǒng)單晶硅生長(zhǎng)爐在取晶棒和加料過程中，在上爐筒上升至一定高度后，通過手動(dòng)旋轉(zhuǎn)，將上爐筒橫向旋轉(zhuǎn)至主爐室另一側(cè)，開始進(jìn)行取棒或加料。但是手動(dòng)旋轉(zhuǎn)，人員作業(yè)難度大，震動(dòng)較大，穩(wěn)定性差，取棒時(shí)有晶棒掉落的風(fēng)險(xiǎn)，存在很大的安全隱患。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，如申請(qǐng)?zhí)枮?01020163749.5的中國實(shí)用新型具體公開了一種單晶爐爐體電動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，并具體公開了通過啟動(dòng)減速馬達(dá)，減速馬達(dá)輸出端的小齒輪帶動(dòng)大齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，大齒輪帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)固定塊、提升架和連接板一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)上爐體轉(zhuǎn)動(dòng)，以解決原手動(dòng)作業(yè)產(chǎn)生的晶棒容易脫落現(xiàn)象。但該專利采用齒輪傳動(dòng)的方式來實(shí)現(xiàn)爐體的轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪之間會(huì)產(chǎn)生一定的間隙，使得齒輪嚙合不到位，從而增加齒輪嚙合時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)和沖擊，影響上爐體轉(zhuǎn)動(dòng)的穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本發(fā)明提供一種單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，以解決現(xiàn)有單晶爐爐體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制上爐筒轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)穩(wěn)定性差的技術(shù)問題。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置在單晶爐的一側(cè)并與上爐筒相連接，其特征在于，包括支撐桿、旋轉(zhuǎn)中軸、鏈條、動(dòng)力齒輪、電機(jī)、第一連接件以及第二連接件；所述旋轉(zhuǎn)中軸通過所述第一連接件與上爐筒固定連接，并通過第二連接件與所述支撐桿固定連接，所述旋轉(zhuǎn)中軸套接有所述動(dòng)力齒輪，所述動(dòng)力齒輪外表面套接有所述鏈條，所述電機(jī)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)中軸的一端且與所述鏈條連接。

4、優(yōu)選地，還包括夾持裝置，所述夾持裝置與所述旋轉(zhuǎn)中軸固定連接，且所述夾持裝置的安裝高度與副室的高度相適應(yīng)。

5、優(yōu)選地，所述夾持裝置包括第一抓夾、第二抓夾、夾持軌道以及固定桿；所述固定桿的一端與所述旋轉(zhuǎn)中軸固定連接，所述固定桿的另一端設(shè)有所述夾持軌道，所述第一抓夾、所述第二抓夾通過滑動(dòng)組件滑動(dòng)安裝于夾持軌道。

6、優(yōu)選地，所述第一抓夾包括第一夾持部及第二夾持部，所述第一夾持部與所述第二夾持部之間呈一定的角度；所述第二抓夾包括第三夾持部及第四夾持部，所述第三夾持部與所述第四夾持部之間呈一定的角度。

7、優(yōu)選地，所述第一夾持部與所述第二夾持部鉸接連接，所述第三夾持部與所述第四夾持部鉸接連接。

8、優(yōu)選地，所述夾持裝置還包括滑動(dòng)電機(jī)，所述滑動(dòng)電機(jī)設(shè)置在所述夾持軌道的一側(cè)，以控制所述第一抓夾、所述第二抓夾滑動(dòng)。

9、優(yōu)選地，所述第一抓夾、所述第二抓夾上均設(shè)有防滑墊。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于：

11、本發(fā)明通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)鏈條轉(zhuǎn)動(dòng)，鏈條帶動(dòng)動(dòng)力齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)力齒輪帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)上爐筒轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制上爐筒旋轉(zhuǎn)。一方面操作簡(jiǎn)單，可以減少人為操作，避免晶棒和加料器晃動(dòng)掉落，規(guī)避風(fēng)險(xiǎn)；另一方面采用鏈條傳動(dòng)的方式代替齒輪傳動(dòng)的方式，可以避免出現(xiàn)齒輪嚙合不到位引起的上爐筒旋轉(zhuǎn)不穩(wěn)定的情況，同時(shí)，鏈條傳動(dòng)采用多齒承載的方式，其承載能力較強(qiáng)，對(duì)于上爐筒這樣較重的設(shè)備，可以提高其轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的整體穩(wěn)定性和耐久性。

技術(shù)特征：

1.一種單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置在單晶爐的一側(cè)并與上爐筒相連接，其特征在于，包括支撐桿、旋轉(zhuǎn)中軸、鏈條、動(dòng)力齒輪、電機(jī)、第一連接件以及第二連接件；所述旋轉(zhuǎn)中軸通過所述第一連接件與上爐筒固定連接，并通過第二連接件與所述支撐桿固定連接，所述旋轉(zhuǎn)中軸套接有所述動(dòng)力齒輪，所述動(dòng)力齒輪外表面套接有所述鏈條，所述電機(jī)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)中軸的一端且與所述鏈條連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，還包括夾持裝置，所述夾持裝置與所述旋轉(zhuǎn)中軸固定連接，且所述夾持裝置的安裝高度與副室的高度相適應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述夾持裝置包括第一抓夾、第二抓夾、夾持軌道以及固定桿；所述固定桿的一端與所述旋轉(zhuǎn)中軸固定連接，所述固定桿的另一端設(shè)有所述夾持軌道，所述第一抓夾、所述第二抓夾通過滑動(dòng)組件滑動(dòng)安裝于夾持軌道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一抓夾包括第一夾持部及第二夾持部，所述第一夾持部與所述第二夾持部之間呈一定的角度；所述第二抓夾包括第三夾持部及第四夾持部，所述第三夾持部與所述第四夾持部之間呈一定的角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一夾持部與所述第二夾持部鉸接連接，所述第三夾持部與所述第四夾持部鉸接連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述夾持裝置還包括滑動(dòng)電機(jī)，所述滑動(dòng)電機(jī)設(shè)置在所述夾持軌道的一側(cè)，以控制所述第一抓夾、所述第二抓夾滑動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一抓夾、所述第二抓夾上均設(shè)有防滑墊。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種單晶爐上爐筒旋轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置在單晶爐的一側(cè)并與上爐筒相連接，屬于單晶爐技術(shù)領(lǐng)域。包括支撐桿、旋轉(zhuǎn)中軸、鏈條、動(dòng)力齒輪、電機(jī)、第一連接件以及第二連接件；所述旋轉(zhuǎn)中軸通過所述第一連接件與上爐筒固定連接，并通過第二連接件與所述支撐桿固定連接，所述旋轉(zhuǎn)中軸套接有所述動(dòng)力齒輪，所述動(dòng)力齒輪外表面套接有所述鏈條，所述電機(jī)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)中軸的一端且與所述鏈條連接。本發(fā)明通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)鏈條轉(zhuǎn)動(dòng)，鏈條帶動(dòng)動(dòng)力齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)力齒輪帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)上爐筒轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制上爐筒旋轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單，可以避免晶棒和加料器晃動(dòng)掉落，并且提高了上爐筒轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的整體穩(wěn)定性和耐久性。

技術(shù)研發(fā)人員：郭一辰,林通,閆霖,康永秀
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧夏申和新材料科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/26